旋转装置制造方法及图纸

本申请涉及真空镀膜技术领域，尤其是涉及一种旋转装置，包括：驱动装置、传动机构、第一支撑构件、第二支撑构件、第三支撑构件以及驱动机构；其中，所述第二支撑构件设置于所述第一支撑构件，且所述驱动装置能够驱动所述第一支撑构件连同所述第二支撑构件同步旋转，所述驱动装置还能够通过所述传动机构驱动所述第二支撑构件相对所述第一支撑构件旋转；所述第三支撑构件设置于所述第二支撑构件，且在所述驱动装置通过所述传动机构驱动所述第二支撑构件相对所述第一支撑构件旋转的同时，所述第三支撑构件在所述驱动机构的驱动下相对所述第二支撑构件旋转。本旋转装置的用途广泛，适用于不同大小的工件的均匀镀膜。用于不同大小的工件的均匀镀膜。用于不同大小的工件的均匀镀膜。

【技术实现步骤摘要】
旋转装置


[0001]本申请涉及真空镀膜
，尤其是涉及一种旋转装置。

技术介绍

[0002]目前，真空镀膜工艺中，缺少一种实现对工件均匀镀膜的旋转装置。

技术实现思路

[0003]本申请的目的在于提供一种旋转装置，以在一定程度上解决现有技术中存在的缺少一种实现对工件均匀镀膜的旋转装置的技术问题。
[0004]本申请提供了一种旋转装置，包括：驱动装置、传动机构、第一支撑构件、第二支撑构件、第三支撑构件以及驱动机构；其中，所述第二支撑构件设置于所述第一支撑构件，且所述驱动装置能够驱动所述第一支撑构件连同所述第二支撑构件同步旋转，所述驱动装置还能够通过所述传动机构驱动所述第二支撑构件相对所述第一支撑构件公转以及所述第二支撑构件自行旋转；
[0005]所述第三支撑构件设置于所述第二支撑构件，且在所述驱动装置通过所述传动机构驱动所述第二支撑构件相对所述第一支撑构件公转以及所述第二支撑构件自行旋转的同时，所述第三支撑构件在所述驱动机构的驱动下自行旋转。
[0006]在上述技术方案中，进一步地，所述传动机构包括第一传动齿轮以及第二传动齿轮；其中，所述第一传动齿轮与所述驱动装置的输出端相连接；所述第二传动齿轮与所述第一传动齿轮相啮合；所述第二支撑构件与所述第二传动齿轮的中心轴相连接。
[0007]在上述任一技术方案中，进一步地，所述驱动装置还包括第四支撑构件，所述第四支撑构件与所述第一支撑构件相连接；
[0008]所述驱动机构包括固定构件、锁紧构件以及弹性拨动构件；其中，所述固定构件形成具有开口的安装腔；所述第四支撑构件设置于所述固定构件的安装腔内；
[0009]所述锁紧构件可移动地穿设于所述固定构件，并且其端部能够伸入所述安装腔以将所述第四支撑构件压紧于所述安装腔内；
[0010]所述弹性拨动构件的一端与所述固定构件相连接，所述弹性拨动构件的相对的另一端能够延伸至搭设于所述第三支撑构件，用于在所述第三支撑构件跟随所述第二支撑构件旋转的同时拨动所述第三支撑构件自转。
[0011]在上述任一技术方案中，进一步地，所述锁紧构件包括相连接的限位部以及抵接部，所述抵接部可移动地穿设于所述固定构件，所述抵接部能够将所述第四支撑构件压紧于所述安装腔内，并且所述限位部抵靠于所述固定构件的外壁面以限位。
[0012]在上述任一技术方案中，进一步地，所述驱动机构包括第三传动齿轮、第四传动齿轮、拨动构件以及阻挡构件；其中，所述第三传动齿轮以及所述第四传动齿轮均与所述第二支撑构件相连接，且所述第四传动齿轮与所述第三传动齿轮相啮合；所述第三支撑构件与所述第四传动齿轮的中心轴相连接；
[0013]所述阻挡构件与所述第一支撑构件相连接；所述拨动构件的一端与所述第三传动齿轮相连接，所述拨动构件的相对的另一端延伸至所述阻挡构件处，并且能够与所述阻挡构件相干涉。
[0014]在上述任一技术方案中，进一步地，所述驱动机构还包括相组装在一起的安装槽体、安装环以及保护盖；其中，所述第四传动齿轮可转动地设置于所述安装环；所述第三传动齿轮可转动地设置于所述安装槽体的底壁；
[0015]所述安装槽体的底壁形成有位于所述第三传动齿轮的侧部的避让孔，所述第三传动齿轮穿过所述避让孔与所述第四传动齿轮相啮合；所述第二支撑构件穿设于所述安装槽体并且与所述安装槽体相连接；所述拨动构件也与所述安装槽体相连接；
[0016]所述保护盖扣设于所述安装槽体的开口端，所述保护盖形成有过孔，所述第四传动齿轮的中心轴穿过所述保护盖的过孔位于所述安装槽体的外部。
[0017]在上述任一技术方案中，进一步地，所述第一支撑构件包括防护壳部、屏蔽罩以及支撑部；其中，所述防护壳部罩设于所述传动机构的外部，且所述第二传动齿轮的中心轴的一端穿过所述防护壳部与所述支撑部转动连接；所述屏蔽罩罩设于所述传动机构的第二传动齿轮的外部。
[0018]在上述任一技术方案中，进一步地，所述第二支撑构件具有柱体的结构。
[0019]在上述任一技术方案中，进一步地，所述第三支撑构件具有用于安装工件的安装部。
[0020]在上述任一技术方案中，进一步地，沿着所述第一支撑构件的周向顺次设置有多个所述第二支撑构件，并且沿着所述第一支撑构件的高度方向顺次设置有多个所述第二支撑构件；和/或
[0021]沿着所述第二支撑构件的周向顺次设置有多个所述第三支撑构件；所述驱动机构与所述第三支撑构件的数量相同且相一一对应。
[0022]与现有技术相比，本申请的有益效果为：
[0023]本申请提供的旋转装置适用于大、小型工件的镀膜工艺中，对于大型工件：沿着第一支撑构件的周向在多个第二支撑构件4上顺次安装待镀膜的大型工件，多个第二支撑构件均能够相对第一支撑构件3的中心公转，使得安装于多个第二支撑构件上的待镀膜的大型工件逐个陆续地面向多弧离子源，并且每一待镀膜的大型工件均能够跟随着第二支撑构件自转，使每一待镀膜的大型工件的整个周面均可陆续地面向多弧离子源，从而实现了对大工件的均匀镀膜。
[0024]对于小型工件：沿着第一支撑构件的周向在多个第二支撑构件上顺次安装多组待镀膜的小型工件，多个第二支撑构件均能够相对第一支撑构件的中心公转，继而使得多组待镀膜的小型工件逐组陆续地面向多弧离子源，并且每一组中沿着第二支撑构件的周向设置的多个待镀膜的小型工件均能够跟随着第二支撑构件的自转，逐个陆续地面向多弧离子源，而且每个待镀膜的小型工件还能够跟随着第三支撑构件的自转，使每个待镀膜的小型工件的整个周面均可陆续地面向多弧离子源，从而实现了大批量、小工件的均匀镀膜。
[0025]基于以上描述可知，本旋转装置的用途广泛，适用于不同大小的工件的均匀镀膜。
附图说明
[0026]为了更清楚地说明本申请具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0027]图1为本申请实施例提供的旋转装置的结构示意图；
[0028]图2为图1提供的旋转装置在A处的放大结构示意图；
[0029]图3为本申请实施例提供的旋转装置的另一结构示意图；
[0030]图4为本申请实施例提供的旋转装置的又一结构示意图；
[0031]图5为图4提供的旋转装置在B处的放大结构示意图；
[0032]图6为本申请实施例提供的驱动机构的部分结构示意图；
[0033]图7为本申请实施例提供的驱动机构的又一部分结构示意图。
[0034]附图标记：
[0035]1‑
驱动装置，2
‑
传动机构，21
‑
第一传动齿轮，22
‑
第二传动齿轮，221
‑
第二传动齿轮的中心轴，3
‑
第一支撑构件，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种旋转装置，其特征在于，包括：驱动装置、传动机构、第一支撑构件、第二支撑构件、第三支撑构件以及驱动机构；其中，所述第二支撑构件设置于所述第一支撑构件，且所述驱动装置能够驱动所述第一支撑构件连同所述第二支撑构件同步旋转，所述驱动装置还能够通过所述传动机构驱动所述第二支撑构件相对所述第一支撑构件公转以及所述第二支撑构件自行旋转；所述第三支撑构件设置于所述第二支撑构件，且在所述驱动装置通过所述传动机构驱动所述第二支撑构件相对所述第一支撑构件公转以及所述第二支撑构件自行旋转的同时，所述第三支撑构件在所述驱动机构的驱动下自行旋转。2.根据权利要求1所述的旋转装置，其特征在于，所述传动机构包括第一传动齿轮以及第二传动齿轮；其中，所述第一传动齿轮与所述驱动装置的输出端相连接；所述第二传动齿轮与所述第一传动齿轮相啮合；所述第二支撑构件与所述第二传动齿轮的中心轴相连接。3.根据权利要求1所述的旋转装置，其特征在于，所述驱动装置还包括第四支撑构件，所述第四支撑构件与所述第一支撑构件相连接；所述驱动机构包括固定构件、锁紧构件以及弹性拨动构件；其中，所述固定构件形成具有开口的安装腔；所述第四支撑构件设置于所述固定构件的安装腔内；所述锁紧构件可移动地穿设于所述固定构件，并且其端部能够伸入所述安装腔以将所述第四支撑构件压紧于所述安装腔内；所述弹性拨动构件的一端与所述固定构件相连接，所述弹性拨动构件的相对的另一端能够延伸至搭设于所述第三支撑构件，用于在所述第三支撑构件跟随所述第二支撑构件旋转的同时拨动所述第三支撑构件自转。4.根据权利要求3所述的旋转装置，其特征在于，所述锁紧构件包括相连接的限位部以及抵接部，所述抵接部可移动地穿设于所述固定构件，所述抵接部能够将所述第四支撑构件压紧于所述安装腔内，并且所述限位部抵靠于所述固定构件的外壁面以限位。5.根据权利要求1所述的旋转装置，其特征在于，所述驱动机构包括第三传动齿轮、...

【专利技术属性】
技术研发人员：王君，闫超颖，李昌华，王思航，依君，梁惠朋，
申请(专利权)人：辽宁卓越真空设备有限公司辽宁荣耀科技有限公司，
类型：发明
国别省市：