接合灌装布置膜及具有其的靶材粘合工装制造技术

本实用新型专利技术公开了一种接合灌装布置膜及具有其的靶材粘合工装，接合灌装布置膜包括用于埋在靶材粘合材料内的布置膜基材，所述布置膜基材上具有能够供液态的所述靶材粘合材料通过的通孔。本实用新型专利技术提供的接合灌装布置膜，能够方便地去除氧化膜，而且不会出现溅射靶材及基材的靶材粘合材料被剥离的情况，有效提高了靶材与基材的接合效率，也提高了靶材与基材在接合操作中的生产效率。

【技术实现步骤摘要】
接合灌装布置膜及具有其的靶材粘合工装
本技术涉及溅射靶材加工设备
，特别涉及一种接合灌装布置膜及具有其的靶材粘合工装。
技术介绍
集电路成制造过程中用到溅射(Sputtering)靶材。溅射靶材需要安装在溅射机台内完成溅射过程。目前，溅射设备将靶材和基板放置在真空室中。陶瓷靶材是具有大离子电流的电极，并且当向靶材和电极供电时，真空室由惰性气体填满，在供电和电极时进行离子化。当阳极带正电的惰性气体例子与靶碰撞时，原子尺寸的粒子从靶材释放，当这些颗粒具有衬底台时并且在表面上沉积为薄膜。由于上述电器配置，靶材被加热到非常高的温，此必须直接在背衬管中冷却。目前，在陶瓷靶材的加工过程中，将陶瓷靶材粘合到基板的材料为靶材粘合材料，靶材粘合材料可以为铟或氧化铟等。由于空气中的氧反应在靶材粘合材料的表面上形成氧化膜，需要将其除去。由于氧化膜在高温组装前的状态下是可见的，因此，可以用金属刮刀或刮水器轻松去除氧化膜。之后，在陶瓷靶材和基座之间没有氧化膜的情况下完成粘合。近年来，旋转阴极溅射组件用作施加高压的电极，旋转阴极溅射组件包括圆柱形的背衬管(基材)和连接到背衬管的外圆周表面的圆弧形(瓦片形)陶瓷靶材，以便于使得陶瓷靶材在背衬管周围围成圆柱形结构。通过靶材粘合材料的熔融粘合，将陶瓷靶材粘合在背衬管的外圆周表面上。但是，在高温填充氧化铟过程中会生成氧化膜，在陶瓷靶材向背衬管粘贴的过程中，由于氧化膜的存在，使得压力不均，会出现靶材粘合材料(如铟)剥离的情况，导致陶瓷靶材与背衬管接合不均匀的情况，达不到最大化的接合效率；并且，陶瓷靶材与背衬管的组合结构稳定性较差的情况，出现的热膨胀情况会容易造成陶瓷靶材产生裂缝或破裂，生产效率低。采用真空填充方法来去除氧化膜时，由于陶瓷靶材的数量越多，背衬管的高度越长，无法保证完全的真空效果，不了避免的会存在真空漏洞，导致陶瓷靶材的破损，无法满足质量需求而需要从新加工，同样会降低生产效率。因此，如何便于去除氧化膜，提高靶材与基材的接合效率及生产效率，是本
人员亟待解决的问题。
技术实现思路
有鉴于此，本技术提供了一种接合灌装布置膜，以便于去除氧化膜，提高靶材与基材的接合效率及生产效率。本技术还提供了一种具有上述接合灌装布置膜的靶材粘合工装。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种接合灌装布置膜，包括用于埋在靶材粘合材料内的布置膜基材，所述布置膜基材上具有能够供液态的所述靶材粘合材料通过的通孔。可选地，上述接合灌装布置膜中，所述布置膜基材为由丝状结构编制而成的网状结构，所述通孔为所述网状结构的网孔。可选地，上述接合灌装布置膜中，所述丝状结构的丝径为0.10～0.65μm。可选地，上述接合灌装布置膜中，所述布置膜基材为由丝状结构呈平纹或斜纹编制而成的网状结构。可选地，上述接合灌装布置膜中，所述布置膜基材为由丝状结构编制而成的网状结构，所述通孔为所述网状结构的网孔，所述网孔的尺寸为0.01～0.10μm；或，所述布置膜基材为实体结构，所述通孔为加工于所述布置膜基材上的平孔，所述平孔的尺寸0.1～0.5μm。可选地，上述接合灌装布置膜中，所述布置膜基材的抗拉强度大于500Pa；和/或，所述布置膜基材的耐受温度大于260℃；和/或，所述撕裂强度大于0.7KN/m。可选地，上述接合灌装布置膜中，所述布置膜基材为玻璃纤维布、特氟龙、PI膜或金属网。可选地，上述接合灌装布置膜中，所述布置膜基材的材料中包括：包括：氧化铝、硅、钼、钛及铬。本技术还提供了一种靶材粘合工装，包括如上述任一项所述的接合灌装布置膜。可选地，上述靶材粘合工装中，还包括O形圈；所述接合灌装布置膜能够固定于所述O形圈上形成桶状结构。从上述的技术方案可以看出，本技术提供的接合灌装布置膜，这种类型的布置膜通常用于分离流体(液体或气体)获得层之间的良好粘接、并获得流体分离，适用于溅射靶材及基材的组合操作，尤其适用于将溅射旋转靶材及支撑衬底组合的操作中。在组合操作中，溅射靶材及基材之间需要填充靶材粘合材料，接合灌装布置膜埋在靶材粘合材料内，接合灌装布置膜与填充靶材粘合材料之间具有良好的流体分离作用，从而去除氧化膜，实现溅射靶材及基材之间良好的粘接。由于布置膜基材上具有能够供液态的靶材粘合材料通过的通孔，因此，溅射靶材及基材之间的液态的靶材粘合材料会通过通孔保留在溅射靶材及基材之间，完成二者的粘合；而靶材粘合材料形成的氧化膜会被接合灌装布置膜带着由溅射靶材及基材之间去除。本技术提供的接合灌装布置膜，能够方便地去除氧化膜，而且不会出现溅射靶材及基材的靶材粘合材料被剥离的情况，有效提高了靶材与基材的接合效率，也提高了靶材与基材在接合操作中的生产效率。本技术还提供了一种靶材粘合工装。由于上述接合灌装布置膜具有上述技术效果，具有上述接合灌装布置膜的靶材粘合工装也应具有同样地技术性效果，在此不再一一累述。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术实施例提供的基材与溅射靶材的组合结构示意图；图2为本技术实施例提供的接合灌装布置膜的比例结构图。具体实施方式本技术公开了一种接合灌装布置膜，以便于去除氧化膜，提高靶材与基材的接合效率及生产效率。本技术还提供了一种具有上述接合灌装布置膜的靶材粘合工装。下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参考图1，本技术实施例提供了一种接合灌装布置膜，包括用于埋在靶材粘合材料内的布置膜基材，布置膜基材上具有能够供液态的靶材粘合材料通过的通孔。本技术实施例提供的接合灌装布置膜，适用于溅射靶材及基材的组合操作，尤其适用于将溅射旋转靶材及背衬管组合的操作中。在组合操作中，溅射靶材及基材之间需要填充靶材粘合材料，接合灌装布置膜埋在靶材粘合材料内，接合灌装布置膜与填充靶材粘合材料之间具有良好的流体分离作用，从而去除氧化膜，实现溅射靶材及基材之间良好的粘接。由于布置膜基材上具有能够供液态的靶材粘合材料通过的通孔，因此，溅射靶材及基材之间的液态的靶材粘合材料会通过通孔保留在溅射靶材及基材之间，完成二者的粘合；而靶材粘合材料形成的氧化膜会被接合灌装布置膜带着由溅射靶材及基材之间去除。本技术实施例提供的接合灌装布置膜，能够方便地去除氧化膜，而且不会出现溅射靶材及基材本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种接合灌装布置膜，其特征在于，包括用于埋在靶材粘合材料内的布置膜基材，所述布置膜基材上具有能够供液态的所述靶材粘合材料通过的通孔；/n所述布置膜基材为由丝状结构编制而成的网状结构，所述通孔为所述网状结构的网孔，所述网孔的尺寸为0.01～0.10μm；或，所述布置膜基材为实体结构，所述通孔为加工于所述布置膜基材上的平孔，所述平孔的尺寸0.1～0.5μm。/n

【技术特征摘要】
1.一种接合灌装布置膜，其特征在于，包括用于埋在靶材粘合材料内的布置膜基材，所述布置膜基材上具有能够供液态的所述靶材粘合材料通过的通孔；
所述布置膜基材为由丝状结构编制而成的网状结构，所述通孔为所述网状结构的网孔，所述网孔的尺寸为0.01～0.10μm；或，所述布置膜基材为实体结构，所述通孔为加工于所述布置膜基材上的平孔，所述平孔的尺寸0.1～0.5μm。


2.如权利要求1所述的接合灌装布置膜，其特征在于，所述布置膜基材为由丝状结构编制而成的网状结构，所述通孔为所述网状结构的网孔。


3.如权利要求2所述的接合灌装布置膜，其特征在于，所述丝状结构的丝径为0.10～0.65μm。


4.如权利要求2所述的接合灌装布置膜，...

【专利技术属性】
技术研发人员：林晶玉，林东光，
申请(专利权)人：林晶玉，
类型：新型
国别省市：辽宁;21