磁控溅射镀膜机制造技术

本发明专利技术属于磁控溅射技术领域，尤其涉及一种磁控溅射镀膜机，包括热温镀膜装置、冷温镀膜装置、供料卸料装置和中转搬送装置。该磁控溅射镀膜机可以在‑100～800℃的温度范围内选择任意温度进行磁控溅射，从而极大地提高待镀膜物料磁控溅射的作业温度范围，以及使待镀膜物料多次往返于热温镀膜装置100和冷温镀膜装置200之间进行镀膜作业，这样，极大地丰富了了成膜环境的多样性，有利于企业、大学或科研机构探索、挖掘磁性材料薄膜、超晶格薄膜等的特性。

Magnetron sputtering coater

【技术实现步骤摘要】
磁控溅射镀膜机
本专利技术属于磁控溅射
，尤其涉及一种磁控溅射镀膜机。
技术介绍
近年来，磁性材料薄膜、超晶格薄膜以其在电学、光学、磁学、力学和热学方面展现出优秀的特性，从而在半导体、太阳能、纳米器件、传感器、激光器等方面具有应用前景而备受关注。为挖掘磁性材料薄膜、超晶格薄膜的特性，需要获取在不同成膜环境下的磁性材料薄膜、超晶格薄膜，但目前的磁控溅射镀膜机存在成膜环境单一，不便于挖掘磁性材料薄膜、超晶格薄膜的特性。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服上述现有技术的不足，提供了一种磁控溅射镀膜机，其旨在解决成膜环境单一的问题。本专利技术是这样实现的：一种磁控溅射镀膜机，包括：热温镀膜装置，包括热温料阀、具有热温镀膜腔的热温镀膜室、设于所述热温镀膜腔内并用于固定待镀膜物料的热温固定件、用于加热所述热温固定件且能够将所述热温固定件加热至X～800℃中任一温度的热温温控组件以及至少一个设于所述热温镀膜腔内并与所述热温固定件间隔设置的热温磁控溅射靶，所述热温镀膜室开设有供待镀膜物料进出所述热温镀膜腔的热温进出料口，所述热温料阀用于打开/关闭所述热温进出料口；冷温镀膜装置，包括冷温料阀、具有冷温镀膜腔的冷温镀膜室、设于所述冷温镀膜腔内并用于固定待镀膜物料的冷温固定件、用于冷却所述冷温固定件且能够将所述冷温固定件冷却至-100℃～X中任一温度的冷温温控组件以及至少一个设于所述冷温镀膜腔内并与所述冷温固定件间隔设置的冷温磁控溅射靶，所述冷温镀膜室开设有供待镀膜物料进出所述冷温镀膜腔的冷温进出料口，所述冷温料阀用于打开/关闭所述冷温进出料口；供料卸料装置，用于供应待镀膜物料以及用于将待镀膜物料取离；中转搬送装置，包括具有中转搬送腔的中转搬送室以及设于所述中间搬送腔的中转搬送机械手，所述中转搬送室开设用于供待镀膜物料进出所述中转搬送腔的热端进出料口、冷端进出料口和供料端进出料口，所述热端进出料口与所述热温进出料口对接，所述冷端进出料口与所述冷温进出料口对接，所述中转搬送机械手用于使待镀物料经所述热端进出料口、所述热温进出料口而让待镀物料从所述热温镀膜腔运送至所述中转搬送腔或将待镀物料从所述中转搬送腔运送至所述热温镀膜腔，所述中转搬送机械手用于使待镀物料经所述冷端进出料口、所述冷温进出料口而将待镀物料从所述冷温镀膜腔运送至所述中转搬送腔或让待镀物料从所述中转搬送腔运送至所述冷温镀膜腔，所述中转搬送机械手还用于使待镀物料经供料端进出料口而让待镀物料从所述中转搬送腔运送至供料卸料装置或让待镀物料从所述供料卸料装置运送至中转搬送腔；其中，X为常温。热温镀膜装置能够间接地通过热温固定件对待镀膜物料从常温加热至800℃，而冷温镀膜装置能够间接地通过冷温固定件对待镀膜物料从常温冷却至-100℃，在具体使用过程中，当待镀膜物料需要的工作温度处于常温至800℃的温度范围时，待镀膜物料通过供料卸料装置送至中转搬送机械手后，再由中转搬送机械手将待镀膜物料送至热温镀膜装置，而当待镀膜物料需要的工作温度处于-100℃至常温的温度范围时，待镀膜物料通过供料卸料装置送至中转搬送机械手后，中转搬送机械手则将待镀膜物料送至冷温镀膜装置，这样，该磁控溅射镀膜机可以在-100～800℃的温度范围内选择任意温度进行磁控溅射，从而极大地提高待镀膜物料磁控溅射的作业温度范围，增加了成膜环境的多样性。此外，中转搬运机械手能够将待镀膜物料在热温镀膜装置和冷温镀膜装置之间往复搬运，具体就是，中转搬运机械手能够将镀膜物料从热温镀膜装置搬运至冷温镀膜装置，也能够将镀膜物料从冷温镀膜装置搬运至热温镀膜装置，这样，该磁控溅射镀膜机能够在待镀膜物料完成一次常温至800℃温度范围内的镀膜之后，再进行一次-100℃至常温温度范围内的镀膜，或者在待镀膜物料完成一次-100℃至常温温度范围内的镀膜之后，再进行一次常温至800℃温度范围内的镀膜，或使待镀膜物料多次往返于热温镀膜装置和冷温镀膜装置之间进行镀膜作业，这样，进一步增加了成膜环境的多样性。由上可知，该磁控溅射镀膜机极大地增加了成膜环境的多样性，这样，有利于企业、大学或科研机构探索、挖掘磁性材料薄膜、超晶格薄膜等的特性。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本专利技术实施例提供的磁控溅射镀膜机的俯视结构示意图；图2是本专利技术实施例提供的磁控溅射镀膜机的侧视结构透视图；图3是本专利技术实施例提供的磁控溅射镀膜机中的热温镀膜装置的侧视结构透视图；图4是本专利技术实施例提供的磁控溅射镀膜机中的中转搬送装置的侧视结构透视图；图5是本专利技术实施例提供的磁控溅射镀膜机中的冷温镀膜装置的侧视结构透视图。附图标号说明：标号名称标号名称100热温镀膜装置110热温镀膜室1101热温镀膜腔1102热温进出料口120热温固定件130热温温控组件140热温料阀150热温磁控溅射靶160热温遮蔽组件170热温修正组件200冷温镀膜装置210冷温镀膜室2101冷温镀膜腔2102冷温进出料口220冷温固定件230冷温温控组件240冷温料阀250冷温磁控溅射靶260冷温遮蔽组件270冷温修正组件300供料卸料装置400中转搬送装置410中转搬送室4101中转搬送腔4102热端进出料口4103冷端进出料口420中转搬送机械手421抓料机构422伸缩驱动器423旋转驱动器500中转贮料装置510中转贮料室520中转贮料阀具体实施方式为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。本专利技术实施例提供一种磁控溅射镀膜机，用于给待镀膜物料镀本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种磁控溅射镀膜机，其特征在于，包括：/n热温镀膜装置，包括热温料阀、具有热温镀膜腔的热温镀膜室、设于所述热温镀膜腔内并用于固定待镀膜物料的热温固定件、用于加热所述热温固定件且能够将所述热温固定件加热至X～800℃中任一温度的热温温控组件以及至少一个设于所述热温镀膜腔内并与所述热温固定件间隔设置的热温磁控溅射靶，所述热温镀膜室开设有供待镀膜物料进出所述热温镀膜腔的热温进出料口，所述热温料阀用于打开/关闭所述热温进出料口；/n冷温镀膜装置，包括冷温料阀、具有冷温镀膜腔的冷温镀膜室、设于所述冷温镀膜腔内并用于固定待镀膜物料的冷温固定件、用于冷却所述冷温固定件且能够将所述冷温固定件冷却至-100℃～X中任一温度的冷温温控组件以及至少一个设于所述冷温镀膜腔内并与所述冷温固定件间隔设置的冷温磁控溅射靶，所述冷温镀膜室开设有供待镀膜物料进出所述冷温镀膜腔的冷温进出料口，所述冷温料阀用于打开/关闭所述冷温进出料口；/n供料卸料装置，用于供应待镀膜物料以及用于将待镀膜物料取离；/n中转搬送装置，包括具有中转搬送腔的中转搬送室以及设于所述中间搬送腔的中转搬送机械手，所述中转搬送室开设经用于供待镀膜物料进出所述中转搬送腔的热端进出料口、冷端进出料口和供料端进出料口，所述热端进出料口与所述热温进出料口对接，所述冷端进出料口与所述冷温进出料口对接，所述中转搬送机械手用于使待镀物料经所述热端进出料口、所述热温进出料口而让待镀物料从所述热温镀膜腔运送至所述中转搬送腔或将待镀物料从所述中转搬送腔运送至所述热温镀膜腔，所述中转搬送机械手用于使待镀物料经所述冷端进出料口、所述冷温进出料口而将待镀物料从所述冷温镀膜腔运送至所述中转搬送腔或让待镀物料从所述中转搬送腔运送至所述冷温镀膜腔，所述中转搬送机械手还用于使待镀物料经供料端进出料口而让待镀物料从所述中转搬送腔运送至供料卸料装置或让待镀物料从所述供料卸料装置运送至中转搬送腔；/n其中，X为常温。/n...

【技术特征摘要】
1.一种磁控溅射镀膜机，其特征在于，包括：
热温镀膜装置，包括热温料阀、具有热温镀膜腔的热温镀膜室、设于所述热温镀膜腔内并用于固定待镀膜物料的热温固定件、用于加热所述热温固定件且能够将所述热温固定件加热至X～800℃中任一温度的热温温控组件以及至少一个设于所述热温镀膜腔内并与所述热温固定件间隔设置的热温磁控溅射靶，所述热温镀膜室开设有供待镀膜物料进出所述热温镀膜腔的热温进出料口，所述热温料阀用于打开/关闭所述热温进出料口；
冷温镀膜装置，包括冷温料阀、具有冷温镀膜腔的冷温镀膜室、设于所述冷温镀膜腔内并用于固定待镀膜物料的冷温固定件、用于冷却所述冷温固定件且能够将所述冷温固定件冷却至-100℃～X中任一温度的冷温温控组件以及至少一个设于所述冷温镀膜腔内并与所述冷温固定件间隔设置的冷温磁控溅射靶，所述冷温镀膜室开设有供待镀膜物料进出所述冷温镀膜腔的冷温进出料口，所述冷温料阀用于打开/关闭所述冷温进出料口；
供料卸料装置，用于供应待镀膜物料以及用于将待镀膜物料取离；
中转搬送装置，包括具有中转搬送腔的中转搬送室以及设于所述中间搬送腔的中转搬送机械手，所述中转搬送室开设经用于供待镀膜物料进出所述中转搬送腔的热端进出料口、冷端进出料口和供料端进出料口，所述热端进出料口与所述热温进出料口对接，所述冷端进出料口与所述冷温进出料口对接，所述中转搬送机械手用于使待镀物料经所述热端进出料口、所述热温进出料口而让待镀物料从所述热温镀膜腔运送至所述中转搬送腔或将待镀物料从所述中转搬送腔运送至所述热温镀膜腔，所述中转搬送机械手用于使待镀物料经所述冷端进出料口、所述冷温进出料口而将待镀物料从所述冷温镀膜腔运送至所述中转搬送腔或让待镀物料从所述中转搬送腔运送至所述冷温镀膜腔，所述中转搬送机械手还用于使待镀物料经供料端进出料口而让待镀物料从所述中转搬送腔运送至供料卸料装置或让待镀物料从所述供料卸料装置运送至中转搬送腔；
其中，X为常温。


2.如权利要求1所述的磁控溅射镀膜机，其特征在于，所述磁控溅射镀膜机还包括中转贮料装置，所述中转贮料装置包括中转贮料阀...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐旻生，庄炳河，王应斌，龚文志，张亮，李永杰，
申请(专利权)人：爱发科豪威光电薄膜科技深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44