一种含氢废气中氯硅烷的回收方法技术

本发明专利技术为一种含氢废气中氯硅烷的回收方法。一种含氢废气中氯硅烷的回收方法，包括：(1)收集各单元排放的含氢废气后，加压、降温，再采用活性炭吸附塔对氯硅烷进行吸附；(2)活性炭吸附塔氯硅烷吸附饱和后，对活性炭吸附柱加热、减压，由顶部通入氮气进行吹扫，将吸附在活性炭氯硅烷再生出来；(3)再生出来的氯硅烷降温冷凝到‑40℃后，进行气液分离，气相氯硅烷经升温后，返回到步骤(1)的加压过程；(4)分离出来的液态氯硅烷采用树脂吸附塔除杂后，可并入系统使用。本发明专利技术所述的一种含氢废气中氯硅烷的回收方法，将含有微量氯硅烷的含氢废气，通过加压、吸附浓缩、升温减压、冷却降温，树脂吸附等工序，进行回收利用，可以变废为宝。

A Recovery Method of Chlorosilane from Hydrogen-Containing Waste Gas

【技术实现步骤摘要】
一种含氢废气中氯硅烷的回收方法
本专利技术属于多晶硅
，具体涉及一种含氢废气中氯硅烷的回收方法。
技术介绍
多晶硅生产过程中，各单元泄放的含氢废气中含有微量的氯硅烷，如果不对这部分氯硅烷进行回收利用，将导致多晶硅的制造成本增加。传统工艺对此部分含氯硅烷的气体的处理方式为，各单元产生的含氢废气先进入一级水洗塔，用工厂水喷淋水解，产生二氧化硅和氯化氢后，尾气再进入二级洗涤塔，尾气中的氯化氢吸收被水吸收变成盐酸，用PH为11-13的稀碱液，将盐酸中和，反应尾气经水封罐吸收后，在高点排入大气。其原理为先水解成氯化氢和二氧化硅后，用碱液对盐酸进行中和反应。因此，传统工艺存在以下问题：(1)需消耗大量的工厂水和32％液碱，增加原材料消耗，增加固废物的产生量。(2)水解产生大量的二氧化硅，需通过压滤机压滤后，作为固废填埋，增加环保处置费用。(3)二氧化硅的粒径很小，常用的压滤机不能有效去除，导致出水中的悬浮物较高，不能达标排放，造成环境影响，增加处理难度。(4)氯硅烷作为废弃物进行处理，得不到有效的利用。有鉴于此，本专利技术提出一种含氢废气中氯硅烷的回收方法。
技术实现思路
本专利技术的目的在于本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种含氢废气中氯硅烷的回收方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)收集各单元排放的含氢废气后，加压、降温，再采用活性炭吸附塔对氯硅烷进行吸附；(2)活性炭吸附塔氯硅烷吸附饱和后，对活性炭吸附柱加热、减压，由顶部通入氮气进行吹扫，将吸附在活性炭氯硅烷再生出来；(3)再生出来的氯硅烷降温冷凝到‑40℃后，进行气液分离，气相氯硅烷经升温后，返回到步骤(1)的加压过程；(4)分离出来的液态氯硅烷采用树脂吸附塔除杂后，可并入系统使用。

【技术特征摘要】
1.一种含氢废气中氯硅烷的回收方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)收集各单元排放的含氢废气后，加压、降温，再采用活性炭吸附塔对氯硅烷进行吸附；(2)活性炭吸附塔氯硅烷吸附饱和后，对活性炭吸附柱加热、减压，由顶部通入氮气进行吹扫，将吸附在活性炭氯硅烷再生出来；(3)再生出来的氯硅烷降温冷凝到-40℃后，进行气液分离，气相氯硅烷经升温后，返回到步骤(1)的加压过程；(4)分离出来的液态氯硅烷采用树脂吸附塔除杂后，可并入系统使用。2.根据权利要求1所述的回收方法，其特征在于，所述的步骤(1)中，采用氢气压缩机加压到0.3-0.5MPa。3.根据权利要求1所述的回收方法，其特征在于，所述的步骤(1)中，采用乙二醇降温至5-10℃。4.根据权利要求1所述的回收方法，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈洪建，
申请(专利权)人：新疆大全新能源股份有限公司，
类型：发明
国别省市：新疆,65