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本发明为一种含氢废气中氯硅烷的回收方法。一种含氢废气中氯硅烷的回收方法，包括：(1)收集各单元排放的含氢废气后，加压、降温，再采用活性炭吸附塔对氯硅烷进行吸附；(2)活性炭吸附塔氯硅烷吸附饱和后，对活性炭吸附柱加热、减压，由顶部通入氮气进行...
该专利属于新疆大全新能源股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过新疆大全新能源股份有限公司授权不得商用。

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