【技术实现步骤摘要】
硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉钟罩纳米硅粉清除装置
本技术属于多晶硅生产
，具体涉及硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉钟罩纳米硅粉清除装置。
技术介绍
在生产多晶硅的过程中，在多晶硅热分解炉的夹套和钟罩内壁，会出现一些纳米硅粉的副产物，在纳米材料
内，高纯度的纳米硅分颗粒是制备锂电池负极材料和电子元器件的主要原料，因此，这些副产物的价格相对于多晶硅的价格，要高昂的多，因此，需要对这些纳米硅粉进行有效收集，现在的收集方式多采用吸尘器，但是由于钟罩的体积较大，在收集时需要行车吊着，工人在钟罩内部使用吸尘器，既不安全，也不利于工人的操作，并且还很容易漏掉，造成钟罩的清理不干净，同时，由于钟罩在不使用时，往往通过吊车将其吊至某一处地面，这很容易造成钟罩与地面接触的面的污染，给后续的生产造成不良的影响；为解决上述问题，开发一种使用简单、收集安全方便的硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉钟罩纳米硅粉清除装置很有必要。
技术实现思路
本技术的目的是为了克服现有技术的不足，而提供一种使用简单、收集安全方便的硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉钟罩纳米硅粉清除装置。本技术的目的是这样实现的：硅...
【技术保护点】
1.硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉钟罩纳米硅粉清除装置，包括钟罩（1）、支撑架体（2），其特征在于：所述钟罩（1）为多晶硅热分解炉的钟罩，所述钟罩（1）的下部设置有支撑架体（2），所述支撑架体（2）包括架体（21）和支撑环（22），所述架体（21）采用管型材通过焊接的方式成型，所述架体（21）的上部通过焊接的方式固定设置有支撑环（22），所述支撑环（22）的内部设置有倾斜面（201），所述支撑环（22）的外部水平面上设置有定位柱（202），所述架体（21）的下部通过螺栓固定设置有旋转装置（3），所述旋转装置（3）包括电机（31）、旋转轴（32）、旋转支架（33）和防尘盒（3...
【技术特征摘要】
1.硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉钟罩纳米硅粉清除装置，包括钟罩（1）、支撑架体（2），其特征在于：所述钟罩（1）为多晶硅热分解炉的钟罩，所述钟罩（1）的下部设置有支撑架体（2），所述支撑架体（2）包括架体（21）和支撑环（22），所述架体（21）采用管型材通过焊接的方式成型，所述架体（21）的上部通过焊接的方式固定设置有支撑环（22），所述支撑环（22）的内部设置有倾斜面（201），所述支撑环（22）的外部水平面上设置有定位柱（202），所述架体（21）的下部通过螺栓固定设置有旋转装置（3），所述旋转装置（3）包括电机（31）、旋转轴（32）、旋转支架（33）和防尘盒（34），所述电机（31）固定在架体（21）的下部，所述电机（31）的上部通过键连接设置有旋转轴（32），所述旋转轴（32）上固定设置有旋转支架（33），所述旋转支架（33）的前后面通过压条分别设置有橡胶板层（301）和毛刷层（302），所述旋转支架（33）的下部固定设置有防尘盒（34），所述防尘盒（34）的下部设置有法兰（3401），所述支撑环（22）的下底面固定设置有锥形盒（4），所述锥形盒（4）的下部设置有收集盒（5），所述收集盒（5）挂置在法兰（3401）上，所述收集盒（5）包括左收集盒（51）和右收集盒（52），所述收集盒（5）的后部通过铰链连接在一起，所述收集盒（5）的前部通过锁扣连接，所述左收集盒（51）呈半环形，所述左收集盒（51）的内部固定设置有连接法兰（501），所述收集盒（5）的底部设置有气管接头（502），所述气管接头（502）的上部与过滤器相连，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：李红彬，王爱琴，张旭，
申请(专利权)人：河南硅烷科技发展股份有限公司，
类型：新型
国别省市：河南,41
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