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本实用新型公开了硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉钟罩纳米硅粉清除装置，包括钟罩、支撑架体，钟罩为多晶硅热分解炉的钟罩，钟罩的下部设置有支撑架体，支撑架体包括架体和支撑环，架体的上部固定设置有支撑环，支撑环的外部设置有定位柱，架体的下部通过螺栓...
该专利属于河南硅烷科技发展股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河南硅烷科技发展股份有限公司授权不得商用。

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