自动排风装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种自动排风装置，涉及排风装置的技术领域，包括：排风管道和第一调节模块；其中，第一调节模块包括：旋转气缸、气缸安装架、第一挡片和第一转轴；排风管道内安装有第一转轴，且第一转轴的顶端与安装于排风管道外的旋转气缸连接，气缸安装架安装在排风管道上，用于固定旋转气缸，在第一转轴上固定有第一挡片，通过旋转气缸的通气转动带动第一转轴和第一挡片的旋转，以控制排风的开关动作。本发明专利技术通过旋转气缸的通气转动带动第一转轴和第一挡片的旋转的方式，能够控制排风的开关动作，从而实现排风装置进行自动排风的技术效果。

Automatic exhaust device

【技术实现步骤摘要】
自动排风装置
本专利技术涉及排风装置的
，尤其是涉及一种自动排风装置。
技术介绍
在半导体单片工艺里，晶圆在清洗过程中往往要使用HF、H2SO4、HNO3、KOH等强腐蚀性气体，强腐蚀性气体经过加热后挥发在设备空间内，严重危害着人体健康。由于工艺及环境的不同要求，技术人员对排风量的大小往往需要控制，排风量过大，则易将晶圆表面喷洒的药液吸走，排风量过小则有害气体会在单片清洗腔内存留，危害身体健康。而传统的排风装置，往往只是直通管道式引出，并不具备调节风量的功能，甚至需要人为开启或者关闭。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种自动排风装置，以实现自动控制排风的开关动作。本专利技术提供的一种自动排风装置，其中，包括：排风管道和第一调节模块；其中，所述第一调节模块包括：旋转气缸、气缸安装架、第一挡片和第一转轴；所述排风管道内安装有所述第一转轴，且所述第一转轴的顶端与安装于所述排风管道外的所述旋转气缸连接，所述气缸安装架安装在所述排风管道上，用于固定所述旋转气缸，在所述第一转轴上固定有所述第一挡片，通过所述旋转气缸的通气转动带动所述第一转轴和所述第一挡片的旋转，以控制排风的开关动作。进一步的，所述自动排风装置还包括：第二调节模块，所述第二调节模块包括：转动手柄、第二转轴、蝶形螺母和第二挡片：所述排风管道内安装有所述第二转轴，且所述第二转轴的顶端与安装于所述排风管道外的所述转动手柄连接，所述第二转轴的底部与所述蝶形螺母连接，在所述第二转轴上固定有所述第二挡片，其中，通过转动所述转动手柄和所述蝶形螺母，带动所述第二转轴和所述第二挡片的旋转，以调节排风量。进一步的，所述排风管道包括：90度的弯头和排风管，所述90度的弯头的一侧和所述排风管焊接为一体。进一步的，所述90度的弯头和所述排风管的材质为不锈钢镜面管。进一步的，所述第一调节模块和所述第二调节模块均安装在排风管上，且所述第二调节模块设置于所述第一调节模块和所述90度的弯头之间。进一步的，所述自动排风装置包括法兰，所述法兰与所述90度的弯头的另一侧焊接为一体，通过所述法兰将所述90度的弯头与待通风腔体连接。进一步的，所述第一调节模块还包括：焊接栽钉，所述焊接栽钉用于将所述气缸安装架固定在所述排风管上。进一步的，所述第一调节模块还包括：垫片，所述垫片安装在所述第一转轴与所述排风管的相对运动位置处，防止相对运动位置处有废气泄漏。进一步的，所述第一调节模块还包括：第一转轴限位垫，所述第一转轴限位垫设置于所述第一转轴与所述排风管外表面之间，将所述第一转轴的底部固定在所述排风管上。进一步的，所述第二调节模块还包括：第二转轴垫圈，所述第二转轴垫圈设置于所述蝶形螺母与所述排风管外表面之间，保护所述蝶形螺母和所述排风管外表面不受磨损。本专利技术提供的一种自动排风装置，包括：排风管道和第一调节模块；其中，第一调节模块包括：旋转气缸、气缸安装架、第一挡片和第一转轴；排风管道内安装有第一转轴，且第一转轴的顶端与安装于排风管道外的旋转气缸连接，气缸安装架安装在排风管道上，用于固定旋转气缸，在第一转轴上固定有第一挡片，通过旋转气缸的通气转动带动第一转轴和第一挡片的旋转，以控制排风的开关动作。本专利技术通过旋转气缸的通气转动带动第一转轴和第一挡片的旋转的方式，能够控制排风的开关动作，从而实现排风装置进行自动排风的技术效果。附图说明为了更清楚地说明本专利技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术实施例提供的自动排风装置的主视图；图2为本专利技术实施例提供的自动排风装置的侧视图；图3为本专利技术实施例提供的自动排风装置的剖视图；图4为本专利技术实施例提供的自动排风装置的轴测图；图5为本专利技术实施例提供的自动排风装置与待通风腔体的连接图。图标：1-法兰；2-90度的弯头；3-排风管；4-焊接栽钉；6-旋转气缸；7-第二挡片；8-垫片；9-气缸安装架；10-第一挡片；11-第一转轴；12-第一转轴限位垫；13-转动手柄；14-第二转轴；15-第二转轴垫圈；16-蝶形螺母。具体实施方式下面将结合实施例对本专利技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。目前，传统的排风装置，往往只是直通管道式引出，并不具备调节风量的功能，甚至需要人为开启或者关闭。基于此，本专利技术实施例提供一种自动排风装置，通过旋转气缸的通气转动带动第一转轴和第一挡片的旋转的方式，能够控制排风的开关动作，从而实现排风装置进行自动排风的技术效果。为便于对本实施例进行理解，首先对本专利技术实施例所公开的一种自动排风装置进行详细介绍。实施例一：参照图1至图5，本专利技术实施例提供一种自动排风装置，上述自动排风装置包括：排风管道和第一调节模块；其中，第一调节模块包括：旋转气缸6、气缸安装架9、第一挡片10和第一转轴11。排风管道内安装有第一转轴11，且第一转轴11的顶端与安装于排风管道外的旋转气缸6连接，气缸安装架9安装在排风管道上，用于固定旋转气缸6，在第一转轴11上固定有第一挡片10，通过旋转气缸6的通气转动带动第一转轴11和第一挡片10的旋转，以控制排风的开关动作。在本专利技术实施例中，旋转气缸6是气缸中的一种类型，它自身可以在小于360度角范围内作往复旋转的气缸。旋转气缸6是一种将压缩空气的压力能转换成机械能的装置，利用压缩空气驱动第一转轴11在0度至90度内作往复回转运动的气动执行元件。旋转气缸6可以用于带动第一转轴11和第一挡片10的旋转，相当于阀门的开闭。第一转轴11可以为一字型转轴或者其他结构的转轴。需要注意的是，旋转气缸6的摆动角度为90度，可以控制带动第一挡片10进行90度的转动，进而实现排风的开启和关闭动作。第一挡片10为圆形挡片，第一挡片10的外径大小要略小于排风管3的内径，而本专利技术实施例对第一挡片10的厚度不做任何要求。若旋转气缸6带动第一挡片10旋转90度后与排风管3的横截面垂直，则是开启动作；若旋转气缸6带动第一挡片10旋转90度后与排风管3的横截面平行，则是关闭动作。需要注意的是，旋转气缸6不能直接固定在排风管3上，而是需要气缸安装架9将旋转气缸6固定在排风管道上。本专利技术实施例提供的一种自动排风装置，包括：排风管道和第一调节模块；其中，第一调节模块包括：旋转气缸6、气缸安装架9、第一挡片10和第一转轴11；排风管道内安装有第一转轴11，且第一转轴11的顶端与安装于排风管道外的旋转气缸6连接，气缸安装架9安装在排风管道上，用于固定旋转气缸6，在第一转轴11上固定有第一挡片10，通过旋转气缸6的通气转动带动第一转轴11和第一挡片10的旋转，以控制排风的开关动作。本专利技术通过旋转气缸6的通气转动带动第一转轴11和第一挡片10的旋转的方式，能够控制排风的开关动作，从而实现排风装置进行自动排风的技术效果。进一步的，自动排风装置还包括：第二调节模块，第二调节模块包括：转动手柄13、本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种自动排风装置，其特征在于，包括：排风管道和第一调节模块；其中，所述第一调节模块包括：旋转气缸、气缸安装架、第一挡片和第一转轴；所述排风管道内安装有所述第一转轴，且所述第一转轴的顶端与安装于所述排风管道外的所述旋转气缸连接，所述气缸安装架安装在所述排风管道上，用于固定所述旋转气缸，在所述第一转轴上固定有所述第一挡片，通过所述旋转气缸的通气转动带动所述第一转轴和所述第一挡片的旋转，以控制排风的开关动作。

【技术特征摘要】
1.一种自动排风装置，其特征在于，包括：排风管道和第一调节模块；其中，所述第一调节模块包括：旋转气缸、气缸安装架、第一挡片和第一转轴；所述排风管道内安装有所述第一转轴，且所述第一转轴的顶端与安装于所述排风管道外的所述旋转气缸连接，所述气缸安装架安装在所述排风管道上，用于固定所述旋转气缸，在所述第一转轴上固定有所述第一挡片，通过所述旋转气缸的通气转动带动所述第一转轴和所述第一挡片的旋转，以控制排风的开关动作。2.根据权利要求1所述的自动排风装置，其特征在于，所述自动排风装置还包括：第二调节模块，所述第二调节模块包括：转动手柄、第二转轴、蝶形螺母和第二挡片：所述排风管道内安装有所述第二转轴，且所述第二转轴的顶端与安装于所述排风管道外的所述转动手柄连接，所述第二转轴的底部与所述蝶形螺母连接，在所述第二转轴上固定有所述第二挡片，其中，通过转动所述转动手柄和所述蝶形螺母，带动所述第二转轴和所述第二挡片的旋转，以调节排风量。3.根据权利要求2所述的自动排风装置，其特征在于，所述排风管道包括：90度的弯头和排风管，所述90度的弯头的一侧和所述排风管焊接为一体。4.根据权利要求3所述的自动排风装置，其特征在于，所述90度的弯头和所述排风管的...

【专利技术属性】
技术研发人员：王文丽，祝福生，郭立刚，周立庆，亢喆，肖钰，
申请(专利权)人：北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：北京,11