浅沟槽隔离结构的制造方法技术

本发明专利技术公开了一种浅沟槽隔离结构的制造方法，包括步骤：步骤一、在半导体衬底上形成浅沟槽；步骤二、涂布聚氮硅烷层；步骤三、进行氧氮置换工艺将聚氮硅烷层转换为二氧化硅层并形成浅沟槽隔离结构；氧氮置换工艺包括两次以上的炉管水汽工艺，两次炉管水汽工艺之间包括一次热退火工艺和一次减薄工艺。本发明专利技术能采用PSZ实现对浅沟槽的良好填充，并能提高对PSZ的氧氮置换效果以及提高转换后的二氧化硅的致密性从而能提高二氧化硅的膜质，同时能减少有源区的热过程。

Manufacturing Method of Shallow Groove Isolation Structure

【技术实现步骤摘要】
浅沟槽隔离结构的制造方法
本专利技术涉及一种半导体集成电路制造方法，特别是涉及一种浅沟槽隔离(STI)结构的制造方法。
技术介绍
20nmNAND闪存(Flash)工艺中的STI的浅沟槽的深宽比大于13，旧有工艺如高密度等离子体(HDP)和高深宽比工艺(HARP)都已不能达到无空洞填充的要求，需要采用填充能力更强的新工艺；当前业界主流Flash生产厂家全部选用聚氮硅烷(PSZ)作为STI填充的膜层，之后再用炉管水汽退火(anneal)工艺使氧替换氮形成二氧化硅来实现在浅沟槽中填充二氧化硅；如图1所示，是PSZ转换为二氧化硅的炉管水汽退火示意图，标记101对应的为PSZ的分子链结构，经过炉管水汽退火工艺的工艺条件包括加温度即图1中的T和水汽即图1中的H2O之后，PSZ的分子链结构中的N都被O替换，从而形成如标记102对应的二氧化硅的分子链结构。在现有的工艺条件下，由于浅沟槽相对平面工艺较深，这会产生如下问题：首先为、浅沟槽底部的PSZ在替换过程中产生的可排除气体无法有效的排除；其次为、疏松的二氧化硅膜在高温下不能有效的使二氧化硅致密。最后会使形成的二氧化硅的膜质较差，在膜质相对差的情况下，无法良好的起到有源区的隔离作用，容易产生漏电和局部区域击穿。对二氧化硅进行高温热处理能有效的提高二氧化硅的膜质，但同时带来较多的热过程(thermal)，过多的热过程会对有源区的性能带来不利影响。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种浅沟槽隔离结构的制造方法，能采用PSZ实现对浅沟槽的良好填充，并能提高对PSZ的氧氮置换效果以及提高转换后的二氧化硅的致密性从而能提高二氧化硅的膜质，同时能减少有源区的热过程。为解决上述技术问题，本专利技术提供的浅沟槽隔离结构的制造方法包括如下步骤：步骤一、在半导体衬底上形成浅沟槽，由所述浅沟槽隔离出有源区。步骤二、涂布聚氮硅烷层，所述聚氮硅烷层将所述浅沟槽完全填充并延伸到所述浅沟槽外的所述半导体衬底表面，所述聚氮硅烷层具有平坦表面。步骤三、进行氧氮置换工艺将所述聚氮硅烷层中的氮置换为氧形成二氧化硅层，由填充于所述浅沟槽中的二氧化硅层组成浅沟槽隔离结构。所述氧氮置换工艺包括两次以上的炉管水汽工艺，通过各所述炉管水汽工艺实现形成所述二氧化硅层的氧氮置换。两次所述炉管水汽工艺之间包括一次热退火工艺和一次减薄工艺。所述热退火工艺实现对所形成的所述二氧化硅层进行致密化，通过降低各次对应的所述热退火工艺的温度减少所述有源区承受的热过程。所述减薄工艺对所述二氧化硅层的厚度进行减薄，结合所述减薄工艺和多次所述炉管水汽工艺增加氧氮置换效果。进一步的改进是，所述半导体衬底为硅衬底。进一步的改进是，步骤一中所述浅沟槽的深宽比大于13。进一步的改进是，所述有源区中用于形成20nm以下工艺节点的NAND闪存工艺。进一步的改进是，所述浅沟槽的深度为进一步的改进是，步骤二中涂布的所述聚氮硅烷层的厚度为进一步的改进是，步骤三中各次所述炉管水汽工艺的温度为400℃～700℃，工艺气体为水汽。进一步的改进是，所述热退火工艺的温度为850℃。进一步的改进是，所述氧氮置换工艺中采用两次所述炉管水汽工艺。进一步的改进是，所述氧氮置换工艺中采用1次所述减薄工艺，所述减薄工艺将所述聚氮硅烷层的厚度减薄为进一步的改进是，所述减薄工艺采用化学机械研磨工艺实现。进一步的改进是，还包括步骤：步骤四、采用研磨工艺将所述半导体衬底表面的所述二氧化硅层全部去除，所述二氧化硅层仅位于所述浅沟槽中并组成所述浅沟槽隔离结构。进一步的改进是，步骤四中的所述研磨工艺采用化学机械研磨工艺。进一步的改进是，步骤二中，在涂布所述聚氮硅烷层之后还包括对所述聚氮硅烷层进行预烘烤的步骤，用于增加所述聚氮硅烷层和所述半导体衬底之间的粘附力。进一步的改进是，所述预烘烤的工艺条件包括：温度为280℃，压强为400torr，时间为30分钟。本专利技术采用涂布PSZ的方法来实现对浅沟槽的填充，从而能实现对浅沟槽的良好填充，能适用于先进工艺如20nm以下的NAND闪存工艺所需的深宽比较大的浅沟槽隔离结构的制造工艺中。本专利技术在氧氮置换工艺中将炉管水汽工艺分成多步即包括两次以上的炉管水汽工艺，且在两次炉管水汽工艺之间设置一次热退火工艺和一次减薄工艺，相对于现有采用单次炉管水汽工艺来实现氧氮置换工艺的情形，本专利技术的热退火工艺也分成了多次，能够提高二氧化硅层的致密性；本专利技术能够采用较低温度的热退火工艺，较低的热退火工艺温度能减少对有源区的热过程，从而提高有源区的质量。本专利技术结合减薄工艺和多次炉管水汽工艺，由于减薄后的二氧化硅层的厚度变薄，这样会使得后续的炉管水汽工艺的水汽更加容易进入到浅沟槽的底部，从而能提高二氧化硅层的各厚度范围内的氧氮置换效果，减少二氧化硅层中的氮含量。。通过提高二氧化硅层的致密性和氧氮置换效果，能提高二氧化硅层的膜质，这样有利于增加对有源区的隔离作用，从而能防止漏电和局部击穿的发生。附图说明下面结合附图和具体实施方式对本专利技术作进一步详细的说明：图1是PSZ转换为二氧化硅的炉管水汽退火示意图；图2是本专利技术实施例浅沟槽隔离结构的制造方法的流程图。具体实施方式如图2所示，是本专利技术实施例浅沟槽隔离结构的制造方法的流程图，本专利技术实施例浅沟槽隔离结构的制造方法包括如下步骤：步骤一、在半导体衬底上形成浅沟槽，由所述浅沟槽隔离出有源区。本专利技术实施例中，所述半导体衬底为硅衬底。所述浅沟槽的深宽比大于13。较佳为，所述浅沟槽的深度为所述有源区中用于形成20nm以下工艺节点的NAND闪存工艺。步骤二、涂布聚氮硅烷层，所述聚氮硅烷层将所述浅沟槽完全填充并延伸到所述浅沟槽外的所述半导体衬底表面，所述聚氮硅烷层具有平坦表面。所述聚氮硅烷层的厚度为本专利技术实施例中，在涂布所述聚氮硅烷层之后还包括对所述聚氮硅烷层进行预烘烤的步骤，用于增加所述聚氮硅烷层和所述半导体衬底之间的粘附力。所述预烘烤的工艺条件包括：温度为280℃，压强为400torr，时间为30分钟。步骤三、进行氧氮置换工艺将所述聚氮硅烷层中的氮置换为氧形成二氧化硅层，由填充于所述浅沟槽中的二氧化硅层组成浅沟槽隔离结构。所述氧氮置换工艺包括两次以上的炉管水汽工艺，通过各所述炉管水汽工艺实现形成所述二氧化硅层的氧氮置换。各次所述炉管水汽工艺的温度为400℃～700℃，工艺气体为水汽。两次所述炉管水汽工艺之间包括一次热退火工艺和一次减薄工艺。所述热退火工艺实现对所形成的所述二氧化硅层进行致密化，通过降低各次对应的所述热退火工艺的温度减少所述有源区承受的热过程。所述热退火工艺的温度为850℃。所述减薄工艺对所述二氧化硅层的厚度进行减薄，结合所述减薄工艺和多次所述炉管水汽工艺增加氧氮置换效果。所述减薄工艺采用化学机械研磨工艺实现。例如：所述氧氮置换工艺中采用两次所述炉管水汽工艺。所述氧氮置换工艺中采用1次所述减薄工艺，所述减薄工艺将所述聚氮硅烷层的厚度减薄为还包括步骤：步骤四、采用研磨工艺将所述半导体衬底表面的所述二氧化硅层全部去除，所述二氧化硅层仅位于所述浅沟槽中并组成所述浅沟槽隔离结构。步骤四中的所述研磨工艺采用化学机械研磨工艺。本专利技术实施例采用涂布PSZ的方法来实现对浅沟槽的填充，从而能实现对浅沟槽的良好填充，能适用于先进工艺如20本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种浅沟槽隔离结构的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤一、在半导体衬底上形成浅沟槽，由所述浅沟槽隔离出有源区；步骤二、涂布聚氮硅烷层，所述聚氮硅烷层将所述浅沟槽完全填充并延伸到所述浅沟槽外的所述半导体衬底表面，所述聚氮硅烷层具有平坦表面；步骤三、进行氧氮置换工艺将所述聚氮硅烷层中的氮置换为氧形成二氧化硅层，由填充于所述浅沟槽中的二氧化硅层组成浅沟槽隔离结构；所述氧氮置换工艺包括两次以上的炉管水汽工艺，通过各所述炉管水汽工艺实现形成所述二氧化硅层的氧氮置换；两次所述炉管水汽工艺之间包括一次热退火工艺和一次减薄工艺；所述热退火工艺实现对所形成的所述二氧化硅层进行致密化，通过降低各次对应的所述热退火工艺的温度减少所述有源区承受的热过程；所述减薄工艺对所述二氧化硅层的厚度进行减薄，结合所述减薄工艺和多次所述炉管水汽工艺增加氧氮置换效果。

【技术特征摘要】
1.一种浅沟槽隔离结构的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤一、在半导体衬底上形成浅沟槽，由所述浅沟槽隔离出有源区；步骤二、涂布聚氮硅烷层，所述聚氮硅烷层将所述浅沟槽完全填充并延伸到所述浅沟槽外的所述半导体衬底表面，所述聚氮硅烷层具有平坦表面；步骤三、进行氧氮置换工艺将所述聚氮硅烷层中的氮置换为氧形成二氧化硅层，由填充于所述浅沟槽中的二氧化硅层组成浅沟槽隔离结构；所述氧氮置换工艺包括两次以上的炉管水汽工艺，通过各所述炉管水汽工艺实现形成所述二氧化硅层的氧氮置换；两次所述炉管水汽工艺之间包括一次热退火工艺和一次减薄工艺；所述热退火工艺实现对所形成的所述二氧化硅层进行致密化，通过降低各次对应的所述热退火工艺的温度减少所述有源区承受的热过程；所述减薄工艺对所述二氧化硅层的厚度进行减薄，结合所述减薄工艺和多次所述炉管水汽工艺增加氧氮置换效果。2.如权利要求1所述的浅沟槽隔离结构的制造方法，其特征在于：所述半导体衬底为硅衬底。3.如权利要求2所述的浅沟槽隔离结构的制造方法，其特征在于：步骤一中所述浅沟槽的深宽比大于13。4.如权利要求3所述的浅沟槽隔离结构的制造方法，其特征在于：所述有源区中用于形成20nm以下工艺节点的NAND闪存工艺。5.如权利要求3所述的浅沟槽隔离结构的制造方法，其特征在于：所述浅沟槽的深度为6.如权利要求5所述的浅沟槽隔离结构的制造方法，其特征在于：步骤二中涂布的所述聚氮硅烷层...

【专利技术属性】
技术研发人员：郁赛华，孙勤，
申请(专利权)人：上海华力集成电路制造有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31