【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及由压力流体及马达使活塞变位，以便用小型马达正确且精密地使活塞停止于规定位置的压力缸，更具体地说，即涉及将阀一体地安装于前述压力缸由此可以高精密度控制活塞的伺服压力缸装置。以前，在以固定于杆前端的台架等变位工件的致动器(actuater)中，有将前述杆扣合于压力缸内的活塞上，用空气压力使该活塞变位的方法，及将该杆固定于滚珠螺丝轴(ballscrew)上，经由该滚珠螺丝轴而用马达等变位的方法。用空气压力使活塞变位的方法，因输出功率大，可使负荷大的工件变位，但由于空气本身为压缩流体，实质上很难以高精密度确定该工件的位置。另一方面，用马达使工件变位的方法则由于以电力控制的关系，可使工件正确且精密地停止在所规定的停止位置，但当要移送重量大的工件而定位时，则势必要选择输出功率大的马达，其结果造成马达本身大型化的缺点。因此，有了关于一种利用空气压力，用压力缸移送工件至停止位置附近，然后，从该停止位置附近，用马达将该工件移送并且正确且高精密度地使工件停止于所希望位置的致动器的提议。采用上述构成时，可使用小型的马达，可在使致动器全体小型化的同时，将工件正确且高精...
【技术保护点】
一种伺服压力缸装置（１０），具备有设在形成于压力缸本体（１６）内的压力缸室（６４）内成为变位自如的活塞（２０），及一端部连结于前述活塞，而另一端部露出于压力缸室外部的活塞杆（１８），及向前述压力缸室供给流体压力的压力缸赋压装置，及扣合于前述活塞的滚珠螺丝轴（２２），及连结于前述滚珠螺丝轴的马达（２６），及停止前述滚珠螺丝轴的旋转借以固定前述活塞于所定位置的制动装置；而且， 以供给于前述压力缸室的流体压力使活塞变位至目标位置附近，之后，用马达回转滚珠螺丝轴从而使活塞微小变位至目标位置，到达目标位置时，用前述制动装置停止滚珠螺丝轴的回转从而使活塞停止于目标位置的伺服压力缸...
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：寺尾行雄，梶川博通，铃木熏，
申请(专利权)人：SMC株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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