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本发明涉及一种将压缩空气导入压力缸室内使活塞变位至目标位置附近之后，以马达的驱动力使滚珠螺丝轴回转从而使活塞微小变位，当活塞到达目标位置时用制动机构停止滚珠螺丝轴的回转，以高精密度使活塞停止于目标位置的伺服压力缸装置；此装置将马达与滚珠螺丝...
该专利属于SMC株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过SMC株式会社授权不得商用。

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