一种半导体测试设备制造技术

本实用新型专利技术实施例公开了一种半导体测试设备，包括：测试机台，用于放置被测试半导体；半导体类型检测装置，包括测试探头、控制电路和报警电路，其中，测试探头用于检测被测试半导体的半导体类型；控制电路的第一输入端与测试探头的输出端电连接，控制电路的第一输出端与报警电路电连接，控制电路用于若检测到的被测试半导体的半导体类型与期望半导体类型不相同，则控制报警电路进行报警。本实用新型专利技术实施例的技术方案可以及时发现半导体类型不合格的被测试半导体，进而提高产品的合格率。

A Semiconductor Testing Equipment

【技术实现步骤摘要】
一种半导体测试设备
本技术涉及半导体测试
，尤其涉及一种半导体测试设备。
技术介绍
由于半导体具有掺杂性可控导电特性的物理效应，使其具有热敏性、光敏性、磁敏性及电子放大、突变能力等特点，因此在非电量电测信息电子技术、电子光学成像技术、通信、固体信息储存器等具有很高的实用价值。现有的半导体测试设备通常用于对同一批半导体类型相同的半导体进行厚度和表面平整度的测试，但是偶尔会由于工作人员的大意或其他设备问题，导致该同一批半导体中会混有少量不同类型的半导体，使得半导体测试设备不能及时发现，造成产品的合格率下降。
技术实现思路
本技术实施例提供一种半导体测试设备，以及时发现半导体类型不合格的被测试半导体，进而提高产品的合格率。本技术实施例提供了一种半导体测试设备，包括：测试机台，用于放置被测试半导体；半导体类型检测装置，包括测试探头、控制电路和报警电路，其中，测试探头用于检测被测试半导体的半导体类型；控制电路的第一输入端与测试探头的输出端电连接，控制电路的第一输出端与报警电路电连接，控制电路用于若检测到的被测试半导体的半导体类型与期望半导体类型不相同，则控制报警电路进行报警。进一步地，还包括：至少两个回收台；传送机构，与半导体类型检测装置电连接，用于传送被测试半导体至与其半导体类型对应的回收台。进一步地，半导体类型检测装置还包括类型设置电路，类型设置电路的输出端与控制电路的第二输入端电连接，类型设置电路用于设置期望半导体类型。进一步地，类型设置电路包括开关，开关的一端与类型设置电路的输出端电连接，开关的另一端与电源电连接或接地。进一步地，报警电路包括下述至少一种：蜂鸣器和发光二极管。进一步地，还包括固定支架和螺栓，其中，固定支架的一端设置有螺纹孔，螺栓穿过螺纹孔，螺栓的一端与测试机台螺纹连接，固定支架的另一端与测试探头连接。进一步地，还包括两个螺帽，其中，固定支架的另一端设置有预设长度的开口槽，开口槽的延伸方向平行于测试机台，测试探头沿垂直于测试机台的方向穿过开口槽，测试探头位于开口槽外侧的两端与两个螺帽螺纹连接，两个螺帽的外径大于开口槽的口径。进一步地，半导体类型包括电子型和空穴型。进一步地，还包括半导体厚度测试装置和/或半导体表面平整度测试装置。进一步地，传送机构包括机械手臂，机械手臂与半导体类型检测装置通过通信线路电连接；半导体类型检测装置还包括多个指示灯，与控制电路电连接，多个指示灯包括下述至少一种：类型设置指示灯、正常运行指示灯、故障指示灯、当前被测试半导体的半导体类型指示灯和通信指示灯。本技术实施例的技术方案通过在半导体测试设备中设置半导体类型检测装置，其中，该半导体类型检测装置包括测试探头、控制电路和报警电路，测试探头用于检测被测试半导体的半导体类型；控制电路的第一输入端与测试探头的输出端电连接，控制电路的第一输出端与报警电路电连接，控制电路用于若检测到的被测试半导体的半导体类型与期望半导体类型不相同，则控制报警电路进行报警，以及时发现半导体类型不合格的被测试半导体，进而提高产品的合格率。附图说明图1为本技术实施例提供的一种半导体测试设备的结构示意图；图2为本技术实施例提供的又一种半导体测试设备的结构示意图；图3为本技术实施例提供的又一种半导体测试设备的结构示意图。具体实施方式下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本技术，而非对本技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本技术相关的部分而非全部结构。本技术实施例提供一种半导体测试设备。图1为本技术实施例提供的一种半导体测试设备的结构示意图。该半导体测试设备包括：测试机台100和半导体类型检测装置200。其中，测试机台100用于放置被测试半导体101；半导体类型检测装置200包括测试探头210、控制电路220和报警电路230，其中，测试探头210用于检测被测试半导体101的半导体类型；控制电路220的第一输入端In1与测试探头210的输出端Out1电连接，控制电路220的第一输出端Out2与报警电路230电连接，控制电路220用于若检测到的被测试半导体101的半导体类型与期望半导体类型不相同，则控制报警电路230进行报警。其中，半导体类型可包括电子型(N型)和空穴型(P型)。N型半导体为自由电子浓度远大于空穴浓度的杂质半导体。N型半导体可以是在锗或硅等纯净的本征半导体中掺杂适量五价元素砷、磷、锑等形成的，还可以是在Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体(如砷化镓)中掺杂Ⅳ族元素或Ⅵ族元素的氧化物(如ZnO(氧化锌)、Ta2O5(五氧化二钽))形成的。P型半导体为空穴浓度远大于自由电子浓度的杂质半导体。P型半导体可以是在锗或硅等纯净的本征半导体中掺杂适量三价元素硼、铟、镓等形成的，还可以是在Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体(如砷化镓)中掺杂II族元素或II族元素的氧化物(如Cu2O(氧化铜)、NiO(氧化镍)、VO2(二氧化钒))形成的。该被测试半导体101可为片状。其中，该测试探头210内可设置有红外激光器和感应电极片。红外激光器发射一定频率的脉冲光穿过感应电极片上的开孔，垂直照射在放置于测试机台100上的被测试半导体101上。测试探头210与被测试半导体101不接触，沿竖直方向间隔预设距离。感应电极片用于采集在脉冲光激发下被测试半导体101表面上的光电压引起的静电荷，即光生电荷，感应电极片采集到光生电荷并生成相应的电荷信号。根据N型半导体为电子型载流子，表面受光的激发下产生相反电势的表面本征态，因此感应电极片生成一个脉动正电荷信号；而P型半导体为空穴型载流子，表面受光的激发下产生相反电势的表面本征态，因此感应电极片生成一个脉动负电荷信号。控制电路220用于根据电荷信号，判断被测试半导体101的半导体类型，并将检测的半导体类型与期望半导体类型比较，若检测的半导体类型与期望半导体类型相同，则说明当前被测试半导体合格；若检测的半导体类型与期望半导体类型不相同，则说明当前被测试半导体不合格，并控制报警电路230进行报警，以提醒测试人员，进而提高产品的合格率。可选的，报警电路230包括下述至少一种：蜂鸣器和发光二极管，以实现声光报警。可选的，报警电路230还包括继电器，其中，控制电路的第一输出端与继电器的线圈电连接，蜂鸣器或发光二极管经继电器的触点开关与电源电连接。控制电路的第一输出端可输出高电平信号或低电平信号，以控制继电器的触点开关的闭合或断开，进而控制蜂鸣器或发光二极管的工作状态。本实施例的技术方案通过在半导体测试设备中设置半导体类型检测装置，其中，该半导体类型检测装置包括测试探头、控制电路和报警电路，测试探头用于检测被测试半导体的半导体类型；控制电路的第一输入端与测试探头的输出端电连接，控制电路的第一输出端与报警电路电连接，控制电路用于若检测到的被测试半导体的半导体类型与期望半导体类型不相同，则控制报警电路进行报警，以及时发现半导体类型不合格的被测试半导体，进而提高产品的合格率，避免同批次同种半导体类型的半导体中混入少量的其他半导体类型的不合格品，造成合格率降低的情况。本技术实施例提供又一种半导体测试设备。图2为本技术实施本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体测试设备，其特征在于，包括：测试机台，用于放置被测试半导体；半导体类型检测装置，包括测试探头、控制电路和报警电路，其中，所述测试探头用于检测所述被测试半导体的半导体类型；所述控制电路的第一输入端与所述测试探头的输出端电连接，所述控制电路的第一输出端与所述报警电路电连接，所述控制电路用于若检测到的所述被测试半导体的半导体类型与期望半导体类型不相同，则控制所述报警电路进行报警。

【技术特征摘要】
1.一种半导体测试设备，其特征在于，包括：测试机台，用于放置被测试半导体；半导体类型检测装置，包括测试探头、控制电路和报警电路，其中，所述测试探头用于检测所述被测试半导体的半导体类型；所述控制电路的第一输入端与所述测试探头的输出端电连接，所述控制电路的第一输出端与所述报警电路电连接，所述控制电路用于若检测到的所述被测试半导体的半导体类型与期望半导体类型不相同，则控制所述报警电路进行报警。2.根据权利要求1所述的半导体测试设备，其特征在于，还包括：至少两个回收台；传送机构，与所述半导体类型检测装置电连接，用于传送所述被测试半导体至与其半导体类型对应的回收台。3.根据权利要求1所述的半导体测试设备，其特征在于，所述半导体类型检测装置还包括类型设置电路，所述类型设置电路的输出端与所述控制电路的第二输入端电连接，所述类型设置电路用于设置期望半导体类型。4.根据权利要求3所述的半导体测试设备，其特征在于，所述类型设置电路包括开关，所述开关的一端与所述类型设置电路的输出端电连接，所述开关的另一端与电源电连接或接地。5.根据权利要求1所述的半导体测试设备，其特征在于，所述报警电路包括下述至少一种：蜂鸣器和发光二极管。6.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚俊俊，沈思情，姚钉丁，张俊宝，陈猛，
申请(专利权)人：上海超硅半导体有限公司，重庆超硅半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31