压电振子主动阀式压电泵制造技术

本发明专利技术涉及一种压电振子主动阀式压电泵，属于微机电流体领域。本发明专利技术中使用了三个压电振子，泵体上有进水口、出水口分别与泵腔连通，上压盖、泵体和下压盖固定连接，进、出口阀驱动压电振子边缘通过柔性材质的密封圈与泵体连接，阀口柔性圈固定在阀口周围，泵腔驱动压电振子边缘通过柔性材质的密封圈与泵体固定连接。其优点是改变以往传统压电泵进出口阀被动开启和关闭的方式，采用主动方式控制压电泵泵阀的开启和关闭，减少了泵阀开启和关闭的滞后性，从而改善和提高了压电泵的输出性能，同时通过调整控制信号的相位，还可实现对泵送方向的改变。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种压电振子式主动阀压电泵，其特征在于：泵体上有进水口（１０）、出水口（１１）分别与泵腔连通，上压盖（４）、泵体（５）和下压盖（６）固定连接，进口阀驱动压电振子（１）边缘通过柔性材质的密封圈（７）与泵体连接，出口阀驱动压电振子（２）边缘通过柔性材质的密封圈（７’）与泵体连接，阀口柔性圈（９）固定在阀口周围，泵腔驱动压电振子（３）边缘通过柔性材质的密封圈（８）与泵体固定连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：程光明，李鹏，董景石，吴迪，曾平，赵建林，田萃，吕刚，
申请(专利权)人：吉林大学，
类型：发明
国别省市：82[中国|长春]