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本发明涉及一种压电振子主动阀式压电泵，属于微机电流体领域。本发明中使用了三个压电振子，泵体上有进水口、出水口分别与泵腔连通，上压盖、泵体和下压盖固定连接，进、出口阀驱动压电振子边缘通过柔性材质的密封圈与泵体连接，阀口柔性圈固定在阀口周围，泵...
该专利属于吉林大学所有，仅供学习研究参考，未经过吉林大学授权不得商用。

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