采用钛镍铜合金膜驱动的弦锥结构微驱动器及制备方法技术

采用三元钛镍铜形状记忆合金膜驱动的弦锥结构微驱动器及其制备方法，形状记忆合金驱动薄膜采用溅射方式沉积，并应用ＭＥＭＳ工艺完成条形化电阻设计。微驱动器的上、下体结构采用Ｓｉ刻蚀工艺制备，并实现键合焊接，其组成包括：能起到压力泵作用的上体（２）及阀体作用的下体（３），所述的上体（２）及下体（３）加工成具有压力泵作用的驱动腔（４）；所述的下体（３）在加工驱动腔（４）的同时，制成具有单流向阀的阀体扩张管（５）和收缩管（６）；所述的阀体扩张管和收缩管分别与进水管道（７）和出水管道（８）相对准连接，所述的弦锥结构微驱动器上装有三元ＴｉＮｉＣｕ／Ｓｉ形状记忆合金驱动薄膜（１）。本发明专利技术可广泛应用于流体微量传送、集成系统冷却及微量化学分析等领域。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种采用三元钛镍铜形状记忆合金膜驱动的弦锥结构微驱动器，其组成包括：能起到压力泵作用的上体及阀体作用的下体，其特征是：所述的上体及下体加工成具有压力泵作用的驱动腔；所述的下体在加工驱动腔的同时，制成具有单流向阀的阀体扩张管和收缩管；所述的阀体扩张管和收缩管分别与进水管道和出水管道相对准连接，所述的弦锥结构微驱动器上装有三元ＴｉＮｉＣｕ／Ｓｉ形状记忆合金驱动薄膜。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：张辉军，邱成军，杨长生，
申请(专利权)人：黑龙江大学，
类型：发明
国别省市：93[中国|哈尔滨]