一种探针台使用的探针卡装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种探针台使用的探针卡装置，包括探针工作台，所述探针工作台的顶部开设有放置槽，放置槽内放置有探针卡装置本体，放置槽的底部内壁上开设有第一滑槽，探针卡装置本体的底部固定安装有第一滑块，且第一滑块与第一滑槽滑动连接，第一滑槽的一侧内壁上开设有转动槽，第一滑块上开设有螺纹通孔，探针工作台的一侧开设有第一通孔，且第一通孔、第一滑槽和转动槽内转动安装有同一个丝杆，且丝杆的一端贯穿螺纹通孔并与螺纹通孔螺纹连接。本实用新型专利技术结构简单，操作方便，可以快速方便的对探针卡装置本体进行移动，提升了其检测效率，使其检测更全面，满足了人们的需求。

A Probe Card Device for Probe Station

The utility model discloses a probe card device used for a probe table, which comprises a probe table. A placement groove is arranged at the top of the probe table, a probe card device body is placed in the groove, a first slide groove is arranged on the bottom inner wall of the placement groove, a first slide block is fixed at the bottom of the probe card device body, and the first slide block is sliding connected with the first slide groove. A rotating groove is arranged on the inner wall of one side of the slide groove, a threaded through hole is arranged on the first slide block, and a first through hole is arranged on the side of the probe workbench. The first through hole, the first slide groove and the rotating groove are rotated and installed with the same screw rod, and one end of the screw rod penetrates through the threaded through hole and is connected with the threaded through hole thread. The utility model has the advantages of simple structure, convenient operation, fast and convenient movement of the probe card device body, improved its detection efficiency, made its detection more comprehensive, and met people's needs.

【技术实现步骤摘要】
一种探针台使用的探针卡装置
本技术涉及探针卡装置
，尤其涉及一种探针台使用的探针卡装置。
技术介绍
探针卡装置是集成电路工艺领域的重要测试装置，应用于在集成电路尚未封装之前，针对半导体衬底用探针卡做功能测试，探针卡负责测试系统与集成电路芯片之间的电气连接，探针卡上有很多探针，在测试时，探针卡上的探针与半导体衬底上的焊垫接触，对半导体衬底输出信号或者测试半导体衬底信号的输出值，现有的探针卡装置通常包括探针卡和探针卡平台的缺陷是，由于探针卡刚好放入探针卡平台中，使得探针卡的移动和测试不够方便，所以不能满足人们的需求。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种探针台使用的探针卡装置。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种探针台使用的探针卡装置，包括探针工作台，所述探针工作台的顶部开设有放置槽，放置槽内放置有探针卡装置本体，放置槽的底部内壁上开设有第一滑槽，探针卡装置本体的底部固定安装有第一滑块，且第一滑块与第一滑槽滑动连接，第一滑槽的一侧内壁上开设有转动槽，第一滑块上开设有螺纹通孔，探针工作台的一侧开设有第一通孔，且第一通孔、第一滑槽和转动槽内转动安装有同一个丝杆，且丝杆的一端贯穿螺纹通孔并与螺纹通孔螺纹连接，丝杆的另一端贯穿第一通孔并延伸至探针工作台的外侧并固定安装有把手，探针工作台的一侧固定安装有固定块，固定块上开设有第二通孔，第二通孔内滑动安装有滑动杆，丝杆的顶部开设有卡槽，且滑动杆的底端与卡槽相卡装，第二通孔的两侧内壁上均开设有第二滑槽，滑动杆的两侧均固定安装有第二滑块，且两个第二滑块分别与相对应的第二滑槽滑动连接，第二滑块的顶部固定安装有限位弹簧，限位弹簧远离第二滑块的一端固定安装于第二滑槽的顶部内壁上。优选的，所述转动槽内固定安装有第一轴承的外圈，且丝杆与第一轴承的内圈固定连接。优选的，所述第一通孔内固定安装有第二轴承的外圈，且丝杆与第二轴承的内圈固定连接。优选的，所述卡槽的数量为多个，且多个卡槽环形等距离开设在丝杆上。优选的，所述第一滑块的底端嵌装有多个第一滚珠，且多个第一滚珠与第一滑槽滚动连接。优选的，两个第二滑块相互远离的一端均嵌装有多个第二滚珠，且多个第二滚珠分别与相对应的第二滑槽滚动连接。本技术的有益效果：通过探针工作台、放置槽、探针卡装置本体、第一滑槽、第一滑块、转动槽、螺纹通孔、第一通孔、丝杆和把手的相互配合下，能够快速方便的对探针卡装置本体进行移动，提升了其检测效率，使其检测更全面，转动把手，把手带动丝杆进行转动，丝杆带动第一滑块进行移动，第一滑块带动探针卡装置本体进行移动，通过固定块、第二通孔、滑动杆、卡槽、第二滑槽、第二滑块和限位弹簧的相互配合下，能够快速方便的对把手进行固定，拉动滑动杆，滑动杆带动第二滑块进行移动，第二滑块压缩限位弹簧，限位弹簧吸能，使滑动杆移出卡槽内，然后松开滑动杆，通过限位弹簧的弹簧回弹作用力下，使滑动杆卡入卡槽内，本技术结构简单，操作方便，可以快速方便的对探针卡装置本体进行移动，提升了其检测效率，使其检测更全面，满足了人们的需求。附图说明图1为本技术提出的一种探针台使用的探针卡装置的主视结构示意图；图2为本技术提出的一种探针台使用的探针卡装置的A部分结构示意图。图中：1探针工作台、2放置槽、3探针卡装置本体、4第一滑槽、5第一滑块、6转动槽、7螺纹通孔、8第一通孔、9丝杆、10把手、11固定块、12第二通孔、13滑动杆、14卡槽、15第二滑槽、16第二滑块、17限位弹簧。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。参照图1-2，一种探针台使用的探针卡装置，包括探针工作台1，探针工作台1的顶部开设有放置槽2，放置槽2内放置有探针卡装置本体3，放置槽2的底部内壁上开设有第一滑槽4，探针卡装置本体3的底部固定安装有第一滑块5，且第一滑块5与第一滑槽4滑动连接，第一滑槽4的一侧内壁上开设有转动槽6，第一滑块5上开设有螺纹通孔7，探针工作台1的一侧开设有第一通孔8，且第一通孔8、第一滑槽4和转动槽6内转动安装有同一个丝杆9，且丝杆9的一端贯穿螺纹通孔7并与螺纹通孔7螺纹连接，丝杆9的另一端贯穿第一通孔8并延伸至探针工作台1的外侧并固定安装有把手10，探针工作台1的一侧固定安装有固定块11，固定块11上开设有第二通孔12，第二通孔12内滑动安装有滑动杆13，丝杆9的顶部开设有卡槽14，且滑动杆13的底端与卡槽14相卡装，第二通孔12的两侧内壁上均开设有第二滑槽15，滑动杆13的两侧均固定安装有第二滑块16，且两个第二滑块16分别与相对应的第二滑槽15滑动连接，第二滑块16的顶部固定安装有限位弹簧17，限位弹簧17远离第二滑块16的一端固定安装于第二滑槽15的顶部内壁上，通过探针工作台1、放置槽2、探针卡装置本体3、第一滑槽4、第一滑块5、转动槽6、螺纹通孔7、第一通孔8、丝杆9和把手10的相互配合下，能够快速方便的对探针卡装置本体3进行移动，提升了其检测效率，使其检测更全面，转动把手10，把手10带动丝杆9进行转动，丝杆9带动第一滑块5进行移动，第一滑块5带动探针卡装置本体3进行移动，通过固定块11、第二通孔12、滑动杆13、卡槽14、第二滑槽15、第二滑块16和限位弹簧17的相互配合下，能够快速方便的对把手10进行固定，拉动滑动杆13，滑动杆13带动第二滑块16进行移动，第二滑块16压缩限位弹簧17，限位弹簧17吸能，使滑动杆13移出卡槽14内，然后松开滑动杆13，通过限位弹簧17的弹簧回弹作用力下，使滑动杆13卡入卡槽14内，本技术结构简单，操作方便，可以快速方便的对探针卡装置本体3进行移动，提升了其检测效率，使其检测更全面，满足了人们的需求。本技术中，转动槽6内固定安装有第一轴承的外圈，且丝杆9与第一轴承的内圈固定连接，第一通孔8内固定安装有第二轴承的外圈，且丝杆9与第二轴承的内圈固定连接，卡槽14的数量为多个，且多个卡槽14环形等距离开设在丝杆9上，第一滑块5的底端嵌装有多个第一滚珠，且多个第一滚珠与第一滑槽4滚动连接，两个第二滑块16相互远离的一端均嵌装有多个第二滚珠，且多个第二滚珠分别与相对应的第二滑槽15滚动连接，通过探针工作台1、放置槽2、探针卡装置本体3、第一滑槽4、第一滑块5、转动槽6、螺纹通孔7、第一通孔8、丝杆9和把手10的相互配合下，能够快速方便的对探针卡装置本体3进行移动，提升了其检测效率，使其检测更全面，转动把手10，把手10带动丝杆9进行转动，丝杆9带动第一滑块5进行移动，第一滑块5带动探针卡装置本体3进行移动，通过固定块11、第二通孔12、滑动杆13、卡槽14、第二滑槽15、第二滑块16和限位弹簧17的相互配合下，能够快速方便的对把手10进行固定，拉动滑动杆13，滑动杆13带动第二滑块16进行移动，第二滑块16压缩限位弹簧17，限位弹簧17吸能，使滑动杆13移出卡槽14内，然后松开滑动杆13，通过限位弹簧17的弹簧回弹作用力下，使滑动杆13卡入卡槽14内，本技术结构简单，操作方便，可以快速方便的对探针卡装置本本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种探针台使用的探针卡装置，包括探针工作台（1），其特征在于，所述探针工作台（1）的顶部开设有放置槽（2），放置槽（2）内放置有探针卡装置本体（3），放置槽（2）的底部内壁上开设有第一滑槽（4），探针卡装置本体（3）的底部固定安装有第一滑块（5），且第一滑块（5）与第一滑槽（4）滑动连接，第一滑槽（4）的一侧内壁上开设有转动槽（6），第一滑块（5）上开设有螺纹通孔（7），探针工作台（1）的一侧开设有第一通孔（8），且第一通孔（8）、第一滑槽（4）和转动槽（6）内转动安装有同一个丝杆（9），且丝杆（9）的一端贯穿螺纹通孔（7）并与螺纹通孔（7）螺纹连接；丝杆（9）的另一端贯穿第一通孔（8）并延伸至探针工作台（1）的外侧并固定安装有把手（10），探针工作台（1）的一侧固定安装有固定块（11），固定块（11）上开设有第二通孔（12），第二通孔（12）内滑动安装有滑动杆（13），丝杆（9）的顶部开设有卡槽（14），且滑动杆（13）的底端与卡槽（14）相卡装，第二通孔（12）的两侧内壁上均开设有第二滑槽（15），滑动杆（13）的两侧均固定安装有第二滑块（16），且两个第二滑块（16）分别与相对应的第二滑槽（15）滑动连接，第二滑块（16）的顶部固定安装有限位弹簧（17），限位弹簧（17）远离第二滑块（16）的一端固定安装于第二滑槽（15）的顶部内壁上。...

【技术特征摘要】
1.一种探针台使用的探针卡装置，包括探针工作台（1），其特征在于，所述探针工作台（1）的顶部开设有放置槽（2），放置槽（2）内放置有探针卡装置本体（3），放置槽（2）的底部内壁上开设有第一滑槽（4），探针卡装置本体（3）的底部固定安装有第一滑块（5），且第一滑块（5）与第一滑槽（4）滑动连接，第一滑槽（4）的一侧内壁上开设有转动槽（6），第一滑块（5）上开设有螺纹通孔（7），探针工作台（1）的一侧开设有第一通孔（8），且第一通孔（8）、第一滑槽（4）和转动槽（6）内转动安装有同一个丝杆（9），且丝杆（9）的一端贯穿螺纹通孔（7）并与螺纹通孔（7）螺纹连接；丝杆（9）的另一端贯穿第一通孔（8）并延伸至探针工作台（1）的外侧并固定安装有把手（10），探针工作台（1）的一侧固定安装有固定块（11），固定块（11）上开设有第二通孔（12），第二通孔（12）内滑动安装有滑动杆（13），丝杆（9）的顶部开设有卡槽（14），且滑动杆（13）的底端与卡槽（14）相卡装，第二通孔（12）的两侧内壁上均开设有第二滑槽（15），滑动杆（13）的两侧均固定安装有第二滑块...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱丽华，杨宏民，
申请(专利权)人：深圳台达创新半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44