The utility model relates to the technical field of wafer measurement, and discloses a combined detection head for wafer detection, including a base, which is provided with several vertical through holes, each through hole is provided with a probe positioning sleeve, a probe hole is arranged in the probe positioning sleeve, a probe hole is arranged in the probe hole, a connecting plate is arranged on one side of the top surface of the base, and two ends of the connecting plate are arranged. A connecting hole is arranged on the side of the base, and a threaded hole vertically connected with the positioning through hole is arranged in each threaded hole, and a locking bolt is arranged in each threaded hole; the upper end of the probe positioning sleeve is provided with a first joint connected with the probe, the first joint is connected with a second joint through a data line, and the side of the connecting plate is provided with a general joint seat, and each second joint is connected with the general joint seat. The side of the line is provided with a line arrangement, and the outer end of the line arrangement is connected with a line arrangement connector. The utility model has the beneficial effects of quick and convenient replacement of probes and stable positioning.
【技术实现步骤摘要】
一种晶元片检测用组合式检测头
本技术涉及晶元片检测
,尤其涉及一种晶元片检测用组合式检测头。
技术介绍
普通硅砂拉制提炼,经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒,单晶硅棒经过抛光、切片之后,就成为了晶元片。晶元是生产集成电路所用的载体,多指单晶硅圆片,一个圆盘状的晶元片上分布有很多一格格的晶元,晶元呈阵列排布,为了将不良的晶元筛选掉,防止后续制成不良的芯片,晶元在封装制造成芯片之前必须要对所有的晶元进行检测,通常每个晶元片上存在成百上千个晶元,人工检测工作量大,而且容易漏检,目前为了降低成本、提高检测效率,通常采用检测设备进行检测,探针是晶元片检测设备上的重要部件,将晶元片固定后,通过探针依次在晶元片表面移动来检测每个晶元的性能,为了提高检测效率,通常一个检测头上有多根探针,多根探针同时检测,检测效率显著提高;探针后上的任何一根探针损坏后都需要更换,目前更换探针时都需要将整个探针头拆卸下来,然后对损坏的探针进行更换,更换后再装上去,整个更换过程存在较长的等待时间,从而造成停机等待,降低检测效率。
技术实现思路
本技术为了解决现有技术中存在的上述问题,提供了一种晶元片检测用组合式检测头,该种组合式检测头在不拆卸的情况下能快速的对每一根探针进行单独更换,更换时间短,减小换探针时的停机更等待时间。为了实现上述目的,本技术采用如下技术方案:一种晶元片检测用组合式检测头,包括基座,所述基座内设有若干竖直的定位通孔,每个定位通孔内均设有探针定位套,探针定位套内设有探针孔,探针孔内设有探针,所述基座的顶面一侧设有连接板,连接板的两端设有连接孔,基座的侧面设有与定位通孔 ...
【技术保护点】
1.一种晶元片检测用组合式检测头,包括基座,其特征是,所述基座内设有若干竖直的定位通孔,每个定位通孔内均设有探针定位套,探针定位套内设有探针孔,探针孔内设有探针,所述基座的顶面一侧设有连接板,连接板的两端设有连接孔,基座的侧面设有与定位通孔垂直连通的螺纹孔,每个螺纹孔内均设有锁止螺栓;所述探针定位套的上端设有与探针连接的第一接头,第一接头上通过数据线连接有第二接头,所述连接板的侧面设有总接头座,每个第二接头均与总接头座插接,所述总接头座的侧面设有排线,排线的外端连接有排线接头。
【技术特征摘要】
1.一种晶元片检测用组合式检测头,包括基座,其特征是,所述基座内设有若干竖直的定位通孔,每个定位通孔内均设有探针定位套,探针定位套内设有探针孔,探针孔内设有探针,所述基座的顶面一侧设有连接板,连接板的两端设有连接孔,基座的侧面设有与定位通孔垂直连通的螺纹孔,每个螺纹孔内均设有锁止螺栓;所述探针定位套的上端设有与探针连接的第一接头,第一接头上通过数据线连接有第二接头,所述连接板的侧面设有总接头座,每个第二接头均与总接头座插接,所述总接头座的侧面设有排线,排线的外端连接有排线接头。2.根据权利要求1所述的一种晶元片检测用组合式检测头,其特征是,所述定位通孔的内壁设有锥形下阶梯面,所述探针定位套侧面设有与锥形下阶梯面配合的锥形上阶梯面;所述探针定位套的...
【专利技术属性】
技术研发人员:洪家萍,鹿时领,
申请(专利权)人:普铄电子上海有限公司,
类型:新型
国别省市:上海,31
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