The utility model relates to the technical field of wafer chip measurement, and discloses a probe assembly based on wafer chip detection, including a probe base, which is provided with several vertical probe holes, each probe hole is provided with a probe, the gap between the probe and the probe hole is matched, the upper end of the probe base is provided with a first joint, and the upper end of each probe is respectively connected with the first joint. The left side is provided with a through hole, the left side of the probe seat is provided with a pressing plate, and the upper end of the pressing plate is provided with two sliding rods. The probe seat is provided with a sliding hole corresponding to the sliding rod one by one, the right end of the sliding rod is provided with a connecting plate and a reset pressing spring between the connecting plate and the probe seat; the pressing plate is provided with a pin hole, a sliding pin in the pinhole, an end cover in the left end hole and a pressing spring between the end cover and the sliding pin. The outer surface of the probe is positioned at the lower end of the probe hole with a limit convex ring. The utility model has the beneficial effects of quick and convenient replacement of probes and stable positioning.
【技术实现步骤摘要】
一种基于晶元片检测的探针组件
本技术涉及晶元片检测
,尤其涉及一种基于晶元片检测的探针组件。
技术介绍
普通硅砂拉制提炼,经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒,单晶硅棒经过抛光、切片之后,就成为了晶元片。晶元是生产集成电路所用的载体,多指单晶硅圆片,一个圆盘状的晶元片上分布有很多一格格的晶元,晶元呈阵列排布,为了将不良的晶元筛选掉,防止后续制成不良的芯片,晶元在封装制造成芯片之前必须要对所有的晶元进行检测,通常每个晶元片上存在成百上千个晶元,人工检测工作量大,而且容易漏检,目前为了降低成本、提高检测效率,通常采用检测设备进行检测,探针是晶元片检测设备上的重要部件,将晶元片固定后,通过探针依次在晶元片表面移动来检测每个晶元的性能,为了提高检测效率,通常一个检测头上有多根探针,多根探针同时检测,检测效率显著提高;探针后上的任何一根探针损坏后都需要更换,目前更换探针时都需要将整个探针头拆卸下来,然后对损坏的探针进行更换,更换后再装上去,整个更换过程存在较长的等待时间,从而造成停机等待,降低检测效率。
技术实现思路
本技术为了解决现有技术中存在的上述问题,提供了一种基于晶元片检测的探针组件,该种探针组件能快速的对每一根探针进行单独更换,更换时间短,减小换探针时的停机更等待时间。为了实现上述目的,本技术采用如下技术方案:一种基于晶元片检测的探针组件,包括探针座,所述探针座内设有若干竖直的探针孔,每个探针孔内均设有探针,所述探针与探针孔之间间隙配合,所述探针座的上端设有第一接头,每根探针的上端分别与第一接头插接连接,所述探针座的右侧上端设有L形支架,所述L形支架上 ...
【技术保护点】
1.一种基于晶元片检测的探针组件,包括探针座,其特征是,所述探针座内设有若干竖直的探针孔,每个探针孔内均设有探针,所述探针与探针孔之间间隙配合,所述探针座的上端设有第一接头,每根探针的上端分别与第一接头插接连接,所述探针座的右侧上端设有L形支架,所述L形支架上设有连接孔,L形支架的侧面设有总接线座,所述第一接头的外端通过数据线连接有第二接头,每个第二接头分别与总接线座连接;所述探针座的左侧面设有与探针孔垂直贯通的通孔,所述探针座的左侧设有压板,所述压板的上端设有两根滑杆,所述探针座上设有与滑杆一一对应的滑孔,所述滑杆穿过滑孔与滑孔形成滑动连接,所述滑杆的右端之间设有连接板,所述连接板的中间部位与探针座的右侧面之间设有复位压簧;所述压板上设有与连接孔一一同轴对应的销孔,所述的销孔内设有滑销,滑销的前端伸入连接孔内,销孔的左端设有端盖,所述端盖与滑销之间设有压簧,所述探针的外表面位于探针孔的下端处设有限位凸环。
【技术特征摘要】
1.一种基于晶元片检测的探针组件,包括探针座,其特征是,所述探针座内设有若干竖直的探针孔,每个探针孔内均设有探针,所述探针与探针孔之间间隙配合,所述探针座的上端设有第一接头,每根探针的上端分别与第一接头插接连接,所述探针座的右侧上端设有L形支架,所述L形支架上设有连接孔,L形支架的侧面设有总接线座,所述第一接头的外端通过数据线连接有第二接头,每个第二接头分别与总接线座连接;所述探针座的左侧面设有与探针孔垂直贯通的通孔,所述探针座的左侧设有压板,所述压板的上端设有两根滑杆,所述探针座上设有与滑杆一一对应的滑孔,所述滑杆穿过滑孔与滑孔形成滑动连接,所述滑杆的右端之间设有连接板,所述连接板的中间部位与探针座的右侧面之间设...
【专利技术属性】
技术研发人员:周莲国,
申请(专利权)人:普铄电子上海有限公司,
类型:新型
国别省市:上海,31
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