硅片舟转移机构及转移方法技术

本发明专利技术公开了一种硅片舟转移机构，包括基板，在所述基板上安装有升降气缸、X轴归正单元和Y轴归正单元，在所述升降气缸底部连接有真空吸盘；所述升降气缸安装在所述基板下方，用于带动所述真空吸盘上升或下降；所述真空吸盘用于吸取硅片舟；所述X轴归正单元用于沿X轴方向归正真空吸盘所吸取的硅片舟，所述Y轴归正单元用于沿Y轴方向归正真空吸盘所吸取的硅片舟。所述硅片舟转移机构，提高了将硅片舟搬运至输送小车上的效率和效果，进而提高太阳能电池硅片的加工效率，可实现晶体硅太阳能电池加工生产的自动化，降低生产成本。本发明专利技术还提供了一种应用所述硅片舟转移机构的硅片舟转移方法。

Silicon wafer boat transfer mechanism and transfer method

The invention discloses a silicon wafer boat transfer mechanism, which comprises a substrate on which a lifting cylinder, an X-axis aligning unit and a Y-axis aligning unit are installed, and a vacuum sucker is connected at the bottom of the lifting cylinder; the lifting cylinder is installed under the substrate to drive the vacuum sucker to rise or fall; the vacuum sucker is used to absorb the silicon wafer boat; and the X-axis aligning unit is installed at the bottom of the lifting cylinder. The unit is used for rectifying the silicon wafer boat absorbed by the vacuum chuck along the X-axis direction, and the Y-axis rectifying unit is used for rectifying the silicon wafer boat absorbed by the vacuum chuck along the Y-axis direction. The transfer mechanism of the silicon wafer boat improves the efficiency and effect of transporting the silicon wafer boat to the conveyor trolley, thereby improving the processing efficiency of the silicon wafer of the solar cell, realizing the automation of the processing and production of the crystal silicon solar cell, and reducing the production cost. The invention also provides a silicon wafer boat transfer method applying the silicon wafer boat transfer mechanism.

【技术实现步骤摘要】
硅片舟转移机构及转移方法
本专利技术涉及晶体硅太阳能电池加工领域，具体涉及一种硅片舟转移机构及转移方法。
技术介绍
在晶体硅太阳能电池的加工生产中，硅片在由花篮装入至硅片舟（如金属舟）以后，需要将装满硅片的硅片舟搬运到工艺炉中进行相应的工艺处理。现有技术中，硅片舟在装满硅片后竖直放置在待取位置，由人工将搬运至输送小车中，再推送该输送小车进入工艺炉中进行相应的工艺处理。由于硅片舟装载硅片后较重，人工搬运劳动强度大，效率低下，且操作不当容易出现硅片舟放置位置不准确、硅片舟损坏等问题，降低了太阳能电池的加工效率。随着自动化生产的日益完善，实现晶体硅太阳能电池加工生产自动化、提高生产效率是大势所趋。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术提供了一种硅片舟转移机构及应用该硅片舟转移机构的硅片舟转移方法。本专利技术采用的一个技术方案是：提供一种硅片舟转移机构，包括基板，在所述基板上安装有升降气缸、X轴归正单元和Y轴归正单元，在所述升降气缸底部连接有真空吸盘，其中，升降气缸：安装在所述基板下方，用于带动所述真空吸盘上升或下降；真空吸盘：用于吸取硅片舟；X轴归正单元：用于沿X轴方向归正真空吸盘所吸取的硅片舟本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片舟转移机构，其特征在于，包括基板，在所述基板上安装有升降气缸、X轴归正单元和Y轴归正单元，在所述升降气缸底部连接有真空吸盘，其中，升降气缸：安装在所述基板下方，用于带动所述真空吸盘上升或下降；真空吸盘：用于吸取硅片舟；X轴归正单元：用于沿X轴方向归正真空吸盘所吸取的硅片舟，包括安装在所述基板上的X轴归正气缸及连接在所述X轴归正气缸上的X轴归正板，所述X轴归正气缸可带动X轴归正板沿X轴方向移动；Y轴归正单元：用于沿Y轴方向归正真空吸盘所吸取的硅片舟，包括安装在所述X轴归正板上的Y轴归正气缸及连接在所述Y轴归正气缸上的Y轴归正板，所述Y轴归正气缸可带动Y轴归正板沿Y轴方向移动。

【技术特征摘要】
1.一种硅片舟转移机构，其特征在于，包括基板，在所述基板上安装有升降气缸、X轴归正单元和Y轴归正单元，在所述升降气缸底部连接有真空吸盘，其中，升降气缸：安装在所述基板下方，用于带动所述真空吸盘上升或下降；真空吸盘：用于吸取硅片舟；X轴归正单元：用于沿X轴方向归正真空吸盘所吸取的硅片舟，包括安装在所述基板上的X轴归正气缸及连接在所述X轴归正气缸上的X轴归正板，所述X轴归正气缸可带动X轴归正板沿X轴方向移动；Y轴归正单元：用于沿Y轴方向归正真空吸盘所吸取的硅片舟，包括安装在所述X轴归正板上的Y轴归正气缸及连接在所述Y轴归正气缸上的Y轴归正板，所述Y轴归正气缸可带动Y轴归正板沿Y轴方向移动。2.根据权利要求1所述的硅片舟转移机构，其特征在于，在所述真空吸盘处设置有一水平限位板，所述水平限位板用于定位真空吸盘所吸取的硅片舟的顶部。3.根据权利要求2所述的硅片舟转移机构，其特征在于，所述水平限位板套设于所述真空吸盘外侧，所述水平限位板的面积大于所述真空吸盘的面积。4.根据权利要求1所述的硅片舟转移机构，其特征在于，在所述Y轴归正板上固定安装有滚轮组，所述滚轮组包括至少两个并排设置的滚轮，所述滚轮可绕其中轴转动，所述中轴平行于所述Y轴归正板。5.根据权利要求1所述的硅片舟转移机构，其特征在于，所述真空吸盘包括抽真空装置和风琴式吸盘，所述风琴式吸盘连接在所述升降气缸底部，所述抽真空装置和风琴式吸盘通过管道连接。6.根据权利要求1-5中任意一项所述的硅片舟转移机构，其特征在于，该硅片舟转移机构还包括自动对中单元，所述自动对中单元连接在所述基板与所述升降气缸之间；所述自动对中单元包括浮动气缸，当所述浮动气缸通气时，所述升降气缸的水平位置固定；当所述浮动气缸闭气时，所述升降气缸的水平位置可变。7.根据权利要求6所述的硅片舟转移机构，其特征在于，所述浮动气缸包括固定连接在所述基板上的缸体部及连接于所述缸体部上方、可相对于所述缸体部...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘昊泽，戴秋喜，潘加永，
申请(专利权)人：苏州映真智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32