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本发明公开了一种硅片舟转移机构，包括基板，在所述基板上安装有升降气缸、X轴归正单元和Y轴归正单元，在所述升降气缸底部连接有真空吸盘；所述升降气缸安装在所述基板下方，用于带动所述真空吸盘上升或下降；所述真空吸盘用于吸取硅片舟；所述X轴归正单元...
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