一种晶圆显影承载机构及显影机制造技术

本实用新型专利技术提供一种晶圆显影承载机构及显影机，属于显影技术领域。其包括活动组件；用于支撑活动组件的固定组件，活动组件可移动地安装在固定组件上；用于驱动活动组件在固定组件上进行移动的驱动组件，驱动组件与活动组件传动连接。该装置用于晶圆的自动机械化清洗，结构简单且使用便捷。

A Wafer Development Bearing Mechanism and Developer

The utility model provides a wafer development bearing mechanism and a developer, which belongs to the development technology field. It includes active components; fixed components used to support active components, which can be movably mounted on fixed components; driving components used to drive active components to move on fixed components, and driving components connected with active components. The device is used for automatic mechanical cleaning of wafers, with simple structure and convenient use.

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆显影承载机构及显影机
本技术涉及显影
，尤其涉及一种晶圆显影承载机构及显影机。
技术介绍
槽式显影机是将晶圆放置于显影液体中，利用显影液与光刻胶的化学反应将经过曝光的晶圆表面图形去除或存留的设备，显影过程中需将晶圆上下小幅度移动，以达到更好的显影效果。目前，使用得较多槽式显影机多为手动，其设计结构存在缺陷人员手动提拉显影，增加员工工作量、工作强度；同时，频繁以手动提拉显影容易疲劳操作，不仅影响产品质量，还存在一定的安全隐患。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种晶圆显影承载机构及显影机，旨在解决现有技术中的显影机中手动提拉显影费时费力的问题。为实现上述目的，本技术的技术方案是：一种晶圆显影承载机构，所述晶圆显影承载机构包括：活动组件；用于支撑所述活动组件的固定组件，所述活动组件可移动地安装在所述固定组件上；用于驱动所述活动组件在所述固定组件上进行移动的驱动组件，所述驱动组件与所述活动组件传动连接。作为本技术的一种技术方案，所述固定组件包括：用于支撑所述活动组件的限位支架，所述活动组件可移动地安装在所述限位支架上；用于支撑所述限位支架的定位支架，所述限位支架和所述驱动组件分别间隔地安装在所述定位支架上。根据本技术实施例的晶圆显影承载机构，其通过驱动组件中的电机带动偏心轮与挡片推动活动组件中的吊篮、吊架、固定块、支撑支架、横梁、立柱、连接块、直线运动轴承以及轴承座所在整体的活动架和连接架实现在限位支架中的光杠上进行上下往复运动。同时，电机带动偏心轮与挡片所在的驱动组件与吊篮、吊架、固定块、支撑支架、横梁、立柱、连接块、直线运动轴承、轴承座所在整体的活动架和连接架均放置于底板、支撑板、横向板、纵向板、光杠、侧板、光杠固定板所在整体的限位支架上，从而保证了此机械装置的整体的稳定性。此外，电机以螺栓固定的方式安装于槽式显影机的主体上，双重保证了整个机构的稳定性；其次，晶圆清洗的自动旋转机械吊篮所在的所有零部件均采用焊接与螺栓的固定方式，确保整体安装以及拆卸操作方便快捷，省时省力。同时，该装置使得槽式显影机中的晶圆显影提拉实现机械自动化运动，将显影液体中的晶圆进行机械自动化的上下小幅度移动，能够达到更好的显影效果；该种设计结构通过机械自动化提拉显影，减少了员工工作量以及工作强度，不仅提高了显影质量，而且操作便捷和安全。另外，根据本技术实施例的用于晶圆显影承载机构，还具有如下附加的技术特征：作为本技术的一种技术方案，所述定位支架包括底板和支撑板，所述支撑板、所述限位支架以及所述驱动组件分别间隔地安装在所述底板上。根据该定位支架结构，能够实现支撑整个限位组件和活动组件的效果，使得此机械装置的稳定性更强更坚固。作为本技术的一种技术方案，所述限位支架包括光杠、侧板以及光杠固定板，所述光杠和所述侧板分别平行间隔地安装在所述底板上，所述光杠的两端分别与所述底板、所述光杠固定板连接。根据该限位支架的整体结构，其能够对电机、偏心轮以及挡片起到一定的限位和定位的作用，并且使得直线轴承座能够在光杠上进行上下往复运动，进而实现整个吊篮、吊架的移动，使得槽式显影机中的晶圆显影提拉实现机械自动化运动，将显影液体中的晶圆进行机械自动化的上下小幅度移动，能够达到更好的显影效果；该种设计结构通过机械自动化提拉显影，减少了员工工作量以及工作强度，不仅提高了显影质量，而且操作便捷和安全。作为本技术的一种技术方案，所述驱动组件包括电机、偏心轮以及挡片，所述电机的一端与所述偏心轮传动连接，所述挡片安装在所述偏心轮上，所述偏心轮与所述活动组件传动连接。通过该电机的运转，带动偏心轮以及挡片的转动，进而驱动直线轴承座在光杠上进行上下往复运动，从而带动整个吊篮和吊架进行运动，实现机械自动化提拉显影的效果。作为本技术的一种技术方案，所述驱动组件还包括横向板和纵向板，所述横向板平行地安装在所述底板上，并与所述纵向板的一侧连接；所述纵向板垂直地安装在所述底板上，并处于所述支撑板和所述限位支架之间；所述电机安装在所述纵向板上，并与所述偏心轮传动连接。该横向板和纵向板用于支撑整个电机结构，进而使得整个装置更加的稳定和牢固。作为本技术的一种技术方案，所述活动组件包括活动架和连接架，所述活动架可移动地安装在所述限位支架上，并与所述驱动组件传动连接，所述连接架与所述活动架连接。作为本技术的一种技术方案，所述活动架包括连接块、轴承座以及直线运动轴承；所述轴承座可移动地安装在所述限位支架上，并与所述连接块连接；所述连接块与所述连接架连接；所述直线运动轴承安装在所述轴承座上。通过将该连接块与偏心轮、挡片抵接，进而当电机运转时，通过驱动偏心轮转动而带动连接块运动，从而驱动与连接块连接着的直线轴承座在光杠上进行上下往复运动，进而带动吊篮运动。作为本技术的一种技术方案，所述连接架包括吊架、固定块、支撑支架、横梁、立柱以及用于晶圆自动清洗的吊篮；所述立柱与所述连接块连接；所述横梁的两端分别与所述立柱、所述吊架连接，所述支撑支架的两端分别与所述立柱、所述吊架连接；所述固定块安装在所述吊架上，并分别与所述支撑支架、所述横梁焊接；所述吊篮与所述吊架连接；所述支撑支架与所述横梁平行间隔设置，所述立柱与所述吊架平行间隔设置。该吊篮结构为晶圆清洗的自动旋转机械，通过吊篮的运动来实现槽式显影机中的晶圆显影提拉实现机械自动化运动，将显影液体中的晶圆进行机械自动化的上下小幅度移动，能够达到更好的显影效果；该种设计结构通过机械自动化提拉显影，减少了员工工作量以及工作强度，不仅提高了显影质量，而且操作便捷和安全。一种显影机，所述显影机包括以上所述的晶圆显影承载机构。具有上述的晶圆显影承载机构的显影机，使用起来更加的方便，操作也更加的便捷。本技术的有益效果是：本装置提供了一种晶圆显影承载机构，用于机械自动化的清洗晶圆，其包括活动组件；用于支撑所述活动组件的固定组件，所述活动组件可移动地安装在所述固定组件上；用于驱动所述活动组件在所述固定组件上进行移动的驱动组件，所述驱动组件与所述活动组件传动连接。该晶圆显影承载机构，其通过驱动组件中的电机带动偏心轮与挡片推动活动组件中的吊篮、吊架、固定块、支撑支架、横梁、立柱、连接块、直线运动轴承以及轴承座所在整体的活动架和连接架实现在限位支架中的光杠上进行上下往复运动。同时，电机带动偏心轮与挡片所在的驱动组件与吊篮、吊架、固定块、支撑支架、横梁、立柱、连接块、直线运动轴承、轴承座所在整体的活动架和连接架均放置于底板、支撑板、横向板、纵向板、光杠、侧板、光杠固定板所在整体的限位支架上，从而保证了此机械装置的整体的稳定性。此外，电机以螺栓固定的方式安装于槽式显影机的主体上，双重保证了整个机构的稳定性；其次，晶圆清洗的自动旋转机械吊篮所在的所有零部件均采用焊接与螺栓的固定方式，确保整体安装以及拆卸操作方便快捷，省时省力。同时，该装置使得槽式显影机中的晶圆显影提拉实现机械自动化运动，将显影液体中的晶圆进行机械自动化的上下小幅度移动，能够达到更好的显影效果；该种设计结构通过机械自动化提拉显影，减少了员工工作量以及工作强度，不仅提高了显影质量，而且操作便捷和安全。本技术通过上述设计提供一种显影机，该显本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆显影承载机构，其特征在于，所述晶圆显影承载机构包括：活动组件；用于支撑所述活动组件的固定组件，所述活动组件可移动地安装在所述固定组件上；用于驱动所述活动组件在所述固定组件上进行移动的驱动组件，所述驱动组件与所述活动组件传动连接。

【技术特征摘要】
1.一种晶圆显影承载机构，其特征在于，所述晶圆显影承载机构包括：活动组件；用于支撑所述活动组件的固定组件，所述活动组件可移动地安装在所述固定组件上；用于驱动所述活动组件在所述固定组件上进行移动的驱动组件，所述驱动组件与所述活动组件传动连接。2.根据权利要求1所述的晶圆显影承载机构，其特征在于：所述固定组件包括：用于支撑所述活动组件的限位支架，所述活动组件可移动地安装在所述限位支架上；用于支撑所述限位支架的定位支架，所述限位支架和所述驱动组件分别间隔地安装在所述定位支架上。3.根据权利要求2所述的晶圆显影承载机构，其特征在于：所述定位支架包括底板和支撑板，所述支撑板、所述限位支架以及所述驱动组件分别间隔地安装在所述底板上。4.根据权利要求3所述的晶圆显影承载机构，其特征在于：所述限位支架包括光杠、侧板以及光杠固定板，所述光杠和所述侧板分别平行间隔地安装在所述底板上，所述光杠的两端分别与所述底板、所述光杠固定板连接。5.根据权利要求3所述的晶圆显影承载机构，其特征在于：所述驱动组件包括电机、偏心轮以及挡片，所述电机的一端与所述偏心轮传动连接，所述挡片安装在所述偏心轮上，所述偏心轮与所述活动组件传动连接。6.根据权利要求5所述的晶圆显影承载机构，其特征在于：所述驱动组件还包括横向...

【专利技术属性】
技术研发人员：张昊，
申请(专利权)人：吉林麦吉柯半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：吉林,22