【技术实现步骤摘要】
粗抽机械泵及其节能装置、注入机
[0001]本技术涉及注入机领域,具体而言,涉及一种粗抽机械泵及其节能装置、注入机。
技术介绍
[0002]注入机的粗抽机械泵是在大气压下开始抽气,并将ES真空系统压力抽到一定值时关闭粗抽气动阀同时打开冷泵高阀打开,将ES真空系统建立高真空状态。目前注入机的粗抽机械泵只有在大盘建立高真空前的粗抽工作、束线腔建立高真空前的粗抽工作以及冷泵再生降温前的粗抽工作。而当上述真空系统完成粗抽建立高真空后,粗抽机械泵粗抽任务完成,系统管路粗抽阀关闭,但粗抽机械泵仍然满负荷运行,做无用功,浪费大量电能。
技术实现思路
[0003]本技术的目的包括,例如,提供一种粗抽机械泵及其节能装置、注入机,其可以节能降耗,节约电能,延长机械泵使用寿命。
[0004]本技术的实施例可以这样实现:
[0005]第一方面,本技术实施例提供一种粗抽机械泵的节能装置,用于粗抽机械泵,所述粗抽机械泵包括第一真空泵和机械泵启动控制器,所述机械泵启动控制器与所述第一真空泵电连接并用于控制所述第一真空泵的工作状 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种粗抽机械泵的节能装置,用于粗抽机械泵,所述粗抽机械泵包括第一真空泵和机械泵启动控制器,所述机械泵启动控制器与所述第一真空泵电连接并用于控制所述第一真空泵的工作状态,其特征在于,所述节能装置包括真空检测热偶规和热偶规信号采集转换装置;所述真空检测热偶规设置于所述第一真空泵并用于获取表征所述第一真空泵的运行情况的热偶规信号,所述热偶规信号采集转换装置分别与所述真空检测热偶规和所述机械泵启动控制器电连接,用于采集所述热偶规信号并根据所述热偶规信号生成机械泵控制信号,所述机械泵启动控制器还用于根据所述机械泵控制信号控制所述第一真空泵的工作状态。2.根据权利要求1所述的粗抽机械泵的节能装置,其特征在于,所述热偶规信号采集转换装置包括:信号采集单元,所述信号采集单元与所述真空检测热偶规电连接,用于采集所述真空检测热偶规的输出信号并对所述真空检测热偶规的输出信号进行前级预放;信号放大单元,所述信号放大单元与所述信号采集单元电连接,用于对预放后的输入信号进行放大处理;信号分析处理单元,所述信号分析处理单元与所述信号放大单元电连接,用于对放大处理后的信号转换为线性模拟信号;信号运算单元,所述信号运算单元与所述信号分析处理单元电连接,用于根据所述线性模拟信号设定信号变化有效范围;标准化信号转换单元,所述标准化信号转换单元与所述信号运算单元电连接,用于将所述信号变化有效范围转换为对应的高低电平信号;控制信号输出单元,所述控制信号输出单元与所述标准化信号转换单元和所述机械泵启动控制器电连接,用于将所述高低电平信号转换为与所述机械泵启动控制器对应的标准控制信号。3.根据权利要求2所述的粗抽机械泵的节能装置,其特征在于,所述信号采集单元包括第一电阻、第二电阻、第三电阻、第四电阻、第五电阻、第六电阻、第七电阻、第一信号采集运算放大器、第二信号采集运算放大器、信号采集滑动变阻器以及信号采集二极管;所述第一电阻的第一端和所述第四电阻的第一端均与所述真空检测热偶规电连接,所述第一信号采集运算放大器的负极与所述第一电阻的第二端和所述第二电阻的第一端电连接,所述第一信号采集运算放大器的正极接地,所述第一信号采集运算放大器的第三端与所述第二电阻的第二端和所述第三电阻的第一端电连接;所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:朱秀奇,
申请(专利权)人:吉林麦吉柯半导体有限公司,
类型:新型
国别省市:
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