基板搬出装置制造方法及图纸

提供能够高效地从基板载置部去除基板的端材的基板搬出装置。基板搬出装置(1)具有：基板载置部(2)，其载置有在规定方向上被分割的基板；驱动部(400)，其使基板载置部(2)在水平位置与从水平位置向下方倾斜的倾斜位置之间移动；以及搬出部(300)，其按照每个分割单元搬出基板(F)。另外，基板搬出装置(1)的特征在于，其具有控制部(40)，控制部(40)在通过搬出部(300)搬出基板(F)的全部分割单元后，通过驱动部(400)使基板载置部在倾斜位置倾斜，使基板(F)的端材(R)从基板载置部(2)落下。

Baseboard Removal Device

A substrate removal device capable of efficiently removing the end plate of the substrate from the substrate carrier is provided. The substrate removal device (1) has: a substrate mounting part (2), which is mounted on a partitioned substrate in a specified direction; a drive part (400), which moves the substrate mounting part (2) between a horizontal position and an inclined position inclined downward from the horizontal position; and a removal part (300), which removes the substrate (F) according to each partitioning unit. In addition, the substrate removal device (1) is characterized in that it has a control unit (40), which, after removing all the cutting units of the substrate (F) through the removal part (300), tilts the substrate carrier at an inclined position through the drive part (400) so that the end material (R) of the substrate (F) falls from the substrate carrier part (2).

【技术实现步骤摘要】
基板搬出装置
本专利技术涉及用于搬出基板的基板搬出装置。
技术介绍
玻璃基板等脆性材料基板根据最终产品的形态被切断成规定数量的分割单元。此时，与分割单元不同，还产生端材。在以下的专利文献1中记载了如下结构：在切断端材时预先利用卡盘构件捆住端材，在端材切断后，利用卡盘构件向弹射器的开口部移送端材并将其投入弹射器中。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2012-250871号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题在从基板生成分割单元的系统中，能够使用将被分割成各个分割单元的状态的基板暂时载置在基板载置部上、然后以规定数量向下游侧的装置搬出分割单元的装置。这里，在载置于基板载置部上的基板中，上游侧的分割工序中产生的端材有时未被去除而残留。因此，在全部分割单元被搬运到下游侧的装置的状态下，这些端材可能分散存在于基板载置部上。需要在下一个基板搬入前去除这种端材。在专利文献1所公开的结构中，在基板的分断动作时去除端材，因此，如上所述，无法直接应用于分割状态的基板暂时载置在基板载置部上的结构的装置。鉴于该课题，本专利技术的目的在于，提供能够高效地从基板载置部去除基板的端材的基板搬出装置。用于解决课题的手段本专利技术的方式涉及基板搬出装置。该方式的基板搬出装置具有：基板载置部，其载置有基板；驱动部，其使所述基板载置部在水平位置与从所述水平位置向下方倾斜的倾斜位置之间移动；以及搬出部，其搬出所述基板。在从基板载置部搬出基板后，新的基板被搬入基板载置部，但是，此时，需要成为在基板载置部上未放置任何内容的状态。根据本方式的基板搬出装置，如果通过驱动部使基板载置部在水平位置与倾斜位置之间移动，则能够使残留在基板载置部上的、例如切断基板时产生的端材沿着倾斜的基板载置部上落下。这样，能够去除残留在基板载置部上的内容。在本方式的基板搬出装置中，能够构成为所述基板被分割成搬出对象和非搬出对象，所述基板搬出装置还具有控制部，该控制部在通过所述搬出部搬出所述搬出对象后，通过所述驱动部使所述基板载置部在所述倾斜位置倾斜，使所述非搬出对象从所述基板载置部落下。根据该结构，在搬出基板后，通过使基板载置部倾斜，使残留在基板载置部上的非搬出对象落下，能够从基板载置部去除。“非搬出对象”例如意味着在将基板切断成多个部分时产生的端材。由此，能够高效地从基板载置部去除非搬出对象即端材(以下，“非搬出对象”称为“端材”。)。另外，如果在基板载置部的下方设置回收用的容器等，则还能够高效地回收端材。在本方式的基板搬出装置中，能够构成为所述基板载置部构成为能够对载置在所述基板载置部上的基板的下表面赋予压力，所述基板搬出装置还具有压力赋予部，该压力赋予部用于对载置在所述基板载置部上的基板的下表面赋予压力，所述控制部以在使所述端材从所述基板载置部落下时对所述非搬出对象的下表面赋予正压的方式对压力赋予部进行控制。这样，通过对端材的下表面赋予正压，端材容易从基板载置部分离，因此，当使基板载置部倾斜时，端材更加容易落下。由此，更加可靠且顺畅地使端材从基板载置部落下，能够高效地去除。在本方式的基板搬出装置中，能够构成为所述基板载置部在水平方向上被分割成多个部分，所述驱动部以使所述多个部分分别在所述水平位置与所述倾斜位置之间移动的方式进行驱动。为了从基板载置部去除端材，需要以端材能够可靠落下的程度使基板载置部倾斜。因此，必须在基板载置部的下方确保用于接纳基板载置部的倾斜的空间。关于这点，在本方式的基板搬出装置中，基板载置部被分割成多个部分，因此，与使单一的基板载置部倾斜的情况相比，能够减小使各部分以规定角度倾斜所需要的下方的空间。由此，能够抑制基板搬出装置的大型化、特别是高度方向上的大型化。另外，能够使各部分大幅转动，因此，顺畅地使位于各部分上的端材落下，能够高效地去除。在本方式的基板搬出装置中，能够构成为所述基板载置部在所述水平方向上被分割成两个部分。根据该结构，适当确保基板载置部的下方的空间，并且能够使两个部分大幅转动，因此，更加顺畅地使非搬出对象从基板载置部落下，能够高效地去除。在本方式的基板搬出装置中，能够构成为所述驱动部以使所述两个部分的边界侧的端部向下方移动的方式使所述两个部分倾斜，使所述两个部分定位在所述倾斜位置。由此，非搬出对象在从两个部分分别处于水平状态时的各部分的边界位置附近到两个部分在倾斜位置倾斜时的各个部分的端部的位置附近的范围内落下。由此，通过在该范围内设置用于回收端材的容器，使端材从两个部分落下，能够落下到容器中。由此，容易将端材从各个部分集中回收到容器中，因此，端材的回收效率提高。在本方式的基板搬出装置中，能够构成为所述驱动部具有驱动机构，该驱动机构将所述基板载置部支承为能够向铅垂方向转动，并且，使所述基板载置部在所述水平位置与所述倾斜位置之间转动。根据该结构，基板载置部顺畅地从水平位置向倾斜位置移动。由此，端材能够可靠地从基板载置部落下并去除。专利技术效果如上所述，根据本专利技术，能够提供能够高效地从基板载置部去除基板的端材的基板搬出装置。本专利技术的效果或意义能够通过以下所示的实施方式的说明而更加清楚。但是，以下所示的实施方式只不过是实施本专利技术时的一个例示，本专利技术完全不受限于以下实施方式所记载的内容。附图说明图1是示出实施方式的基板搬出装置的外观结构的立体图。图2是从图1的基板搬出装置中省略了基板、压力赋予部和搬出装置的立体图。图3是用于说明实施方式的基板搬出装置的片材移送部的结构的立体图。图4是用于说明实施方式的基板搬出装置的片材引导部的结构的分解立体图。图5是用于说明实施方式的基板搬出装置的驱动部的结构的分解立体图。图6是示出实施方式的基板搬出装置的结构的框图。图7是示出实施方式的基板搬出装置的动作的流程图。图8(a)～(d)分别是示意地示出实施方式的基板搬出装置的动作的主视图。图9(a)和(b)分别是示意地示出实施方式的基板搬出装置的动作的主视图。图10(a)～(c)分别是示意地示出实施方式的基板搬出装置的动作的侧视图。图11是示出实施方式的变更例的基板搬出装置的动作的流程图。符号说明1…基板搬出装置2…基板载置部2a、2b…基板载置部3…片材4…压力赋予部300…搬出部400…驱动部410…驱动机构F…基板R…端材具体实施方式下面，参照附图对本专利技术的实施方式进行说明。需要说明的是，在各图中，为了简便而附记了相互正交的X轴、Y轴和Z轴。X-Y平面与水平面平行，Z轴方向是铅垂方向。Z轴正侧是上方，Z轴负侧是下方。<实施方式>玻璃基板和陶瓷基板等脆性材料基板、PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂)基板和聚酰亚胺树脂基板等树脂基板等(以下简称为“基板”。)经由各种处理成为最终产品。作为这种处理，例如存在将基板切断成规定数量的分割单元的处理、去除切断基板时产生的端材的处理、清洗基板的表面的处理等。基板按照每个处理被搬运到规定的工作台，当处理结束后，为了进行下一个处理而被搬出到其他工作台。特别地，本实施方式的基板搬出装置1是用于多次划分并搬出至少在规定方向上被分割成多个分割单元的状态的基板F的装置。在本实施方式中，规定方向是X轴的正方向，与分割单元的搬出方向一致。另外，在本实施方式的基板搬出装置1中搬入包含切断处理中产生的端材R的状态的基板F。这种本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板搬出装置，其特征在于，所述基板搬出装置具有：基板载置部，其载置有基板；驱动部，其使所述基板载置部在水平位置与从所述水平位置向下方倾斜的倾斜位置之间移动；以及搬出部，其搬出所述基板。

【技术特征摘要】
2017.11.29 JP 2017-2293911.一种基板搬出装置，其特征在于，所述基板搬出装置具有：基板载置部，其载置有基板；驱动部，其使所述基板载置部在水平位置与从所述水平位置向下方倾斜的倾斜位置之间移动；以及搬出部，其搬出所述基板。2.根据权利要求1所述的基板搬出装置，其特征在于，所述基板被分割成搬出对象和非搬出对象，所述基板搬出装置还具有控制部，该控制部在通过所述搬出部搬出所述搬出对象后，通过所述驱动部使所述基板载置部在所述倾斜位置倾斜，使所述非搬出对象从所述基板载置部落下。3.根据权利要求2所述的基板搬出装置，其特征在于，所述基板载置部构成为能够对载置在所述基板载置部上的基板的下表面赋予压力，所述基板搬出装置还具有压力赋予部，该压力赋予部用于对载置在所述基板载置部上的基板的下表面赋予压力，所述控制...

【专利技术属性】
技术研发人员：西尾仁孝，高松生芳，上野勉，
申请(专利权)人：三星钻石工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP