一种用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及半导体制造附属装置的技术领域，特别是涉及一种用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置，方便夹紧；易于控制溶液的速度和量；包括工作台和胶头滴管；还包括第一支撑杆、第二支撑杆、前限位板、后限位板、左挡板、右挡板、推动杆、齿条、后不完整齿轮、前不完整齿轮、后连接杆、前连接杆、前固定杆和后固定杆；还包括第三支撑杆、第四支撑杆、第一转动杆、第二转动杆、第一螺纹杆、上齿轮、下齿轮、第一连接杆、第二连接杆、第三连接杆、第四连接杆、套环、左夹板和右夹板，第一支撑杆右侧壁分别设置有第一放置槽和第二放置槽，第一放置槽和第二放置槽处分别设置有第一滚珠轴承和第二滚珠轴承。

A Control Device for Etching Uniformity in Wafer Production

The utility model relates to the technical field of semiconductor manufacturing accessory devices, in particular to a control device for uniformity of etching in wafer production, which is convenient to clamp, easy to control the speed and quantity of solution, including a worktable and a rubber head dropper, and also includes a first support rod, a second support rod, a front limit plate, a rear limit plate, a left baffle, a right baffle, a driving rod, a rack and a rear baffle. Incomplete gear, front incomplete gear, rear connecting rod, front connecting rod, front fixing rod and rear fixing rod; Including third supporting rod, fourth supporting rod, first rotating rod, second rotating rod, first screw rod, upper gear, lower gear, first connecting rod, second connecting rod, third connecting rod, fourth connecting rod, sleeve ring, left splint and right splint, right side of first supporting rod. The wall is respectively provided with a first placement groove and a second placement groove. The first placement groove and the second placement groove are respectively provided with a first ball bearing and a second ball bearing.

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置
本技术涉及半导体制造附属装置的
，特别是涉及一种用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置。
技术介绍
众所周知，用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置是一种用于半导体制作过程中，利用溶液与预刻蚀材料之间的化学反应来去除未被掩蔽膜材料掩蔽的部分的装置，其在半导体制造的领域中得到了广泛的使用；现有的用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置包括工作台和胶头滴管，胶头滴管位于工作台上方；现有的用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置使用时，使用者将预刻蚀材料放置于工作台上，用胶头滴管吸取溶液，然后通过胶头滴管将溶液滴到预刻蚀材料上即可；现有的用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置使用中发现，不方便进行夹紧，使用便捷性较差；不方便控制溶液的速度和量，使用可靠性较低。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术提供一种方便夹紧，提高使用便捷性；易于控制溶液的速度和量，提高使用可靠性的用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置。本技术的一种用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置，包括工作台和胶头滴管，胶头滴管位于工作台上方；还包括第一支撑杆、第二支撑杆、前限位板、后限位板、左挡板、右挡板、推动杆、齿条、后不完整齿轮、前不完整齿轮、后连接杆、前连接杆、前固定杆和后固定杆，所述第一支撑杆顶端与工作台顶端连接，所述第二支撑杆左端与第一支撑杆右侧壁中央区域连接，所述前限位板和后限位板底侧壁分别与第二支撑杆顶侧壁前半区域和后半区域连接，所述右挡板底侧壁与第二支撑杆顶侧壁连接，所述左挡板底侧壁与第二支撑杆顶侧壁接触，左挡板和右挡板中央区域分别横向设置有第一固定孔和第二固定孔，所述弹簧左端和右端分别与左挡板右侧壁和右挡板左侧壁连接，所述推动杆右端穿过第一固定孔、第二固定孔和弹簧与所述齿条左端连接，并且推动杆与左挡板固定连接，齿条前侧壁和后侧壁分别设置有上齿状结构和下齿状结构，所述前不完整齿轮圆周外侧壁后半区域和后不完整齿轮圆周外侧壁前半区域分别设置有与上齿状结构和下齿状结构相对应的前齿状结构和后齿状结构，前不完整齿轮和后不完整齿轮分别与齿条前侧壁和后侧壁咬合，前不完整齿轮和后不完整齿轮中央区域分别纵向设置有第三固定孔和第四固定孔，第二支撑杆顶侧壁右半区域的前半区域和后半区域分别设置有前放置槽和后放置槽，前放置槽处和后放置槽处分别设置有前滚珠轴承和后滚珠轴承，所述前固定杆和后固定杆分别穿过第三固定孔和第四固定孔并且与前不完整齿轮和后不完整齿轮固定连接，前固定杆和后固定杆底端分别插入前滚珠轴承和后滚珠轴承内部并且分别与前滚珠轴承和后滚珠轴承键连接，所述前连接杆和后连接杆左端分别与前不完整齿轮前端和后不完整齿轮后端连接，前连接杆和后连接杆上分别设置有前夹持机构和后夹持机构；还包括第三支撑杆、第四支撑杆、第一转动杆、第二转动杆、第一螺纹杆、上齿轮、下齿轮、第一连接杆、第二连接杆、第三连接杆、第四连接杆、套环、左夹板和右夹板，所述第一支撑杆右侧壁分别设置有第一放置槽和第二放置槽，第一放置槽和第二放置槽处分别设置有第一滚珠轴承和第二滚珠轴承，所述第三支撑杆和第四支撑杆左端分别插入第一滚珠轴承和第二滚珠轴承内并且与第一滚珠轴承和第二滚珠轴承键连接，所述上齿轮圆周外壁设置有第一齿状结构，所述下齿轮圆周外壁设置有与第一齿状结构相对应的第二齿状结构，上齿轮和下齿轮中央区域分别横向设置有第一连接孔和第二连接孔，第三支撑杆和第四支撑杆右端分别穿过上齿轮和下齿轮并且分别与上齿轮和下齿轮固定连接，上齿轮和下齿轮咬合，所述第一连接杆前端和后端分别与第三连接杆前侧壁左端和第四连接杆后侧壁左端连接，第一连接杆中央区域设置有贯穿孔，第四支撑杆右端穿过贯穿孔与所述第一螺纹杆左端连接，第三支撑杆穿过所述套环，第二连接杆底端和顶端分别第一连接杆顶侧壁中央区域和套环底端连接，所述右夹板顶侧壁前端和后端分别与第四连接杆顶侧壁右端和第三连接杆顶侧壁右端连接，所述左夹板前半区域、中央区域和后半区域分别横向设置有第三连接孔、第四连接孔和第五连接孔，第三连接杆和第四连接杆分别穿过第五连接孔和第三连接孔，第四连接孔内侧壁上设置有与所述第一螺纹杆外螺纹相对应的内螺纹，第一螺纹杆左端螺装穿过第四连接孔，右夹板左侧壁底端与所述胶头滴管右侧壁顶端接触，所述第一转动杆底端与第三支撑杆顶端连接，所述第二转动杆左端与第一转动杆右侧壁顶端连接。本技术的一种用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置，所述前夹持机构包括前螺纹杆、前夹持块、前插入杆、前锁紧螺母和前把手，所述前连接杆右半区域设置有前螺纹孔，前螺纹孔内侧壁上设置有与所述前螺纹杆外螺纹相对应的内螺纹，前螺纹杆后端螺装穿过前连接杆，前螺纹杆前端和后端分别与所述前把手后侧壁左端和所述前插入杆前端连接，所述前夹持块前侧壁设置有前卡装槽，前卡装槽处设置有第三滚珠轴承，前插入杆后端插入第三滚珠轴承内并且与第三滚珠轴承键连接，前夹持块后侧壁设置有前夹持槽，前夹持槽与前夹持块顶侧壁和底侧壁连通，所述前锁紧螺母螺装至前螺纹杆上，所述后夹持机构包括后螺纹杆、后夹持块、后插入杆、后锁紧螺母和后把手，所述后连接杆右半区域设置有后螺纹孔，后螺纹孔内侧壁上设置有与所述后螺纹杆外螺纹相对应的内螺纹，后螺纹杆前端螺装穿过后连接杆，后螺纹杆后端和前端分别与所述后把手前侧壁左端和所述后插入杆前端连接，所述后夹持块后侧壁设置有后卡装槽，后卡装槽处设置有第四滚珠轴承，后插入杆前端插入第四滚珠轴承内并且与第四滚珠轴承键连接，后夹持块前侧壁设置有后夹持槽，后夹持槽与后夹持块顶侧壁和底侧壁连通，所述后锁紧螺母螺装至后螺纹杆上。本技术的一种用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置，还包括第一过渡杆和第二过渡杆，所述第二过渡杆前端和后端分别与第四连接杆后侧壁右端和第三连接杆前侧壁右端连接，第二过渡杆左侧壁中央区域设置有第三放置槽，第三放置槽处设置有第五滚珠轴承，所述第一过渡杆左端第一螺纹杆右端连接，第一过渡杆右端插入第五滚珠轴承内部并且与第五滚珠轴承键连接。本技术的一种用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置，还包括U形杆，所述U形杆底侧壁左端和右端均与推动杆顶侧壁连接。本技术的一种用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置，还包括第五支撑杆，所述第五支撑杆底端与工作台顶侧壁连接，第五支撑杆横向设置有第一平衡孔、第二平衡孔和第三平衡孔，所述第三支撑杆、第四支撑杆和第二支撑杆左端分别穿过第一平衡孔、第二平衡孔和第三平衡孔。本技术的一种用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置，还包括左卡环、右卡环和旋转环，所述第二转动杆穿过左卡环、旋转环和右卡环并且与左卡环和右卡环固定连接。本技术的一种用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置，还包括多组上滚珠和多组下滚珠，所述第三连接杆前端和后端分别设置有两组第一盛放槽，所述第四连接杆前端和后端分别设置有两组第二盛放槽，所述第五连接孔前端和后端分别设置有两组第三盛放槽，所述第三连接孔前端和后端分别设置有两组第四盛放槽，所述多组上滚珠分别位于两组第一盛放槽和两组第三盛放槽内，所述多组下滚珠分别位于两组第二盛放槽和两组第四盛放槽内。本技术的一种用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置，还包括两组防护盖，所述两组防护盖分别安装在第一滚珠轴承和第二滚珠本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置，包括工作台（1）和胶头滴管（2），胶头滴管（2）位于工作台（1）上方；其特征在于，还包括第一支撑杆（3）、第二支撑杆（4）、前限位板（5）、后限位板、左挡板（6）、右挡板（7）、推动杆（8）、齿条（9）、后不完整齿轮、前不完整齿轮（10）、后连接杆、弹簧（11）、前连接杆（12）、前固定杆（13）和后固定杆，所述第一支撑杆（3）顶端与工作台（1）顶端连接，所述第二支撑杆（4）左端与第一支撑杆（3）右侧壁中央区域连接，所述前限位板（5）和后限位板底侧壁分别与第二支撑杆（4）顶侧壁前半区域和后半区域连接，所述右挡板（7）底侧壁与第二支撑杆（4）顶侧壁连接，所述左挡板（6）底侧壁与第二支撑杆（4）顶侧壁接触，左挡板（6）和右挡板（7）中央区域分别横向设置有第一固定孔和第二固定孔，所述弹簧（11）左端和右端分别与左挡板（6）右侧壁和右挡板（7）左侧壁连接，所述推动杆（8）右端穿过第一固定孔、第二固定孔和弹簧（11）与所述齿条（9）左端连接，并且推动杆（8）与左挡板（6）固定连接，齿条（9）前侧壁和后侧壁分别设置有上齿状结构和下齿状结构，所述前不完整齿轮（10）圆周外侧壁后半区域和后不完整齿轮圆周外侧壁前半区域分别设置有与上齿状结构和下齿状结构相对应的前齿状结构和后齿状结构，前不完整齿轮（10）和后不完整齿轮分别与齿条（9）前侧壁和后侧壁咬合，前不完整齿轮（10）和后不完整齿轮中央区域分别纵向设置有第三固定孔和第四固定孔，第二支撑杆（4）顶侧壁右半区域的前半区域和后半区域分别设置有前放置槽和后放置槽，前放置槽处和后放置槽处分别设置有前滚珠轴承（15）和后滚珠轴承，所述前固定杆（13）和后固定杆分别穿过第三固定孔和第四固定孔并且与前不完整齿轮（10）和后不完整齿轮固定连接，前固定杆（13）和后固定杆底端分别插入前滚珠轴承（15）和后滚珠轴承内部并且分别与前滚珠轴承（15）和后滚珠轴承键连接，所述前连接杆（12）和后连接杆左端分别与前不完整齿轮（10）前端和后不完整齿轮后端连接，前连接杆（12）和后连接杆上分别设置有前夹持机构和后夹持机构；还包括第三支撑杆（16）、第四支撑杆（17）、第一转动杆（18）、第二转动杆（19）、第一螺纹杆（20）、上齿轮（21）、下齿轮（22）、第一连接杆（23）、第二连接杆（24）、第三连接杆（25）、第四连接杆（26）、套环（27）、左夹板（28）和右夹板（29），所述第一支撑杆（3）右侧壁分别设置有第一放置槽和第二放置槽，第一放置槽和第二放置槽处分别设置有第一滚珠轴承（30）和第二滚珠轴承，所述第三支撑杆（16）和第四支撑杆（17）左端分别插入第一滚珠轴承（30）和第二滚珠轴承内并且与第一滚珠轴承（30）和第二滚珠轴承键连接，所述上齿轮（21）圆周外壁设置有第一齿状结构，所述下齿轮（22）圆周外壁设置有与第一齿状结构相对应的第二齿状结构，上齿轮（21）和下齿轮（22）中央区域分别横向设置有第一连接孔和第二连接孔，第三支撑杆（16）和第四支撑杆（17）右端分别穿过上齿轮（21）和下齿轮（22）并且分别与上齿轮（21）和下齿轮（22）固定连接，上齿轮（21）和下齿轮（22）咬合，所述第一连接杆（23）前端和后端分别与第三连接杆（25）前侧壁左端和第四连接杆（26）后侧壁左端连接，第一连接杆（23）中央区域设置有贯穿孔，第四支撑杆（17）右端穿过贯穿孔与所述第一螺纹杆（20）左端连接，第三支撑杆（16）穿过所述套环（27），第二连接杆（24）底端和顶端分别第一连接杆（23）顶侧壁中央区域和套环（27）底端连接，所述右夹板（29）顶侧壁前端和后端分别与第四连接杆（26）顶侧壁右端和第三连接杆（25）顶侧壁右端连接，所述左夹板（28）前半区域、中央区域和后半区域分别横向设置有第三连接孔、第四连接孔和第五连接孔，第三连接杆（25）和第四连接杆（26）分别穿过第五连接孔和第三连接孔，第四连接孔内侧壁上设置有与所述第一螺纹杆（20）外螺纹相对应的内螺纹，第一螺纹杆（20）左端螺装穿过第四连接孔，右夹板（29）左侧壁底端与所述胶头滴管（2）右侧壁顶端接触，所述第一转动杆（18）底端与第三支撑杆（16）顶端连接，所述第二转动杆（19）左端与第一转动杆（18）右侧壁顶端连接。...

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置，包括工作台（1）和胶头滴管（2），胶头滴管（2）位于工作台（1）上方；其特征在于，还包括第一支撑杆（3）、第二支撑杆（4）、前限位板（5）、后限位板、左挡板（6）、右挡板（7）、推动杆（8）、齿条（9）、后不完整齿轮、前不完整齿轮（10）、后连接杆、弹簧（11）、前连接杆（12）、前固定杆（13）和后固定杆，所述第一支撑杆（3）顶端与工作台（1）顶端连接，所述第二支撑杆（4）左端与第一支撑杆（3）右侧壁中央区域连接，所述前限位板（5）和后限位板底侧壁分别与第二支撑杆（4）顶侧壁前半区域和后半区域连接，所述右挡板（7）底侧壁与第二支撑杆（4）顶侧壁连接，所述左挡板（6）底侧壁与第二支撑杆（4）顶侧壁接触，左挡板（6）和右挡板（7）中央区域分别横向设置有第一固定孔和第二固定孔，所述弹簧（11）左端和右端分别与左挡板（6）右侧壁和右挡板（7）左侧壁连接，所述推动杆（8）右端穿过第一固定孔、第二固定孔和弹簧（11）与所述齿条（9）左端连接，并且推动杆（8）与左挡板（6）固定连接，齿条（9）前侧壁和后侧壁分别设置有上齿状结构和下齿状结构，所述前不完整齿轮（10）圆周外侧壁后半区域和后不完整齿轮圆周外侧壁前半区域分别设置有与上齿状结构和下齿状结构相对应的前齿状结构和后齿状结构，前不完整齿轮（10）和后不完整齿轮分别与齿条（9）前侧壁和后侧壁咬合，前不完整齿轮（10）和后不完整齿轮中央区域分别纵向设置有第三固定孔和第四固定孔，第二支撑杆（4）顶侧壁右半区域的前半区域和后半区域分别设置有前放置槽和后放置槽，前放置槽处和后放置槽处分别设置有前滚珠轴承（15）和后滚珠轴承，所述前固定杆（13）和后固定杆分别穿过第三固定孔和第四固定孔并且与前不完整齿轮（10）和后不完整齿轮固定连接，前固定杆（13）和后固定杆底端分别插入前滚珠轴承（15）和后滚珠轴承内部并且分别与前滚珠轴承（15）和后滚珠轴承键连接，所述前连接杆（12）和后连接杆左端分别与前不完整齿轮（10）前端和后不完整齿轮后端连接，前连接杆（12）和后连接杆上分别设置有前夹持机构和后夹持机构；还包括第三支撑杆（16）、第四支撑杆（17）、第一转动杆（18）、第二转动杆（19）、第一螺纹杆（20）、上齿轮（21）、下齿轮（22）、第一连接杆（23）、第二连接杆（24）、第三连接杆（25）、第四连接杆（26）、套环（27）、左夹板（28）和右夹板（29），所述第一支撑杆（3）右侧壁分别设置有第一放置槽和第二放置槽，第一放置槽和第二放置槽处分别设置有第一滚珠轴承（30）和第二滚珠轴承，所述第三支撑杆（16）和第四支撑杆（17）左端分别插入第一滚珠轴承（30）和第二滚珠轴承内并且与第一滚珠轴承（30）和第二滚珠轴承键连接，所述上齿轮（21）圆周外壁设置有第一齿状结构，所述下齿轮（22）圆周外壁设置有与第一齿状结构相对应的第二齿状结构，上齿轮（21）和下齿轮（22）中央区域分别横向设置有第一连接孔和第二连接孔，第三支撑杆（16）和第四支撑杆（17）右端分别穿过上齿轮（21）和下齿轮（22）并且分别与上齿轮（21）和下齿轮（22）固定连接，上齿轮（21）和下齿轮（22）咬合，所述第一连接杆（23）前端和后端分别与第三连接杆（25）前侧壁左端和第四连接杆（26）后侧壁左端连接，第一连接杆（23）中央区域设置有贯穿孔，第四支撑杆（17）右端穿过贯穿孔与所述第一螺纹杆（20）左端连接，第三支撑杆（16）穿过所述套环（27），第二连接杆（24）底端和顶端分别第一连接杆（23）顶侧壁中央区域和套环（27）底端连接，所述右夹板（29）顶侧壁前端和后端分别与第四连接杆（26）顶侧壁右端和第三连接杆（25）顶侧壁右端连接，所述左夹板（28）前半区域、中央区域和后半区域分别横向设置有第三连接孔、第四连接孔和第五连接孔，第三连接杆（25）和第四连接杆（26）分别穿过第五连接孔和第三连接孔，第四连接孔内侧壁上设置有与所述第一螺纹杆（20）外螺纹相对应的内螺纹，第一螺纹杆（...

【专利技术属性】
技术研发人员：王昌华，
申请(专利权)人：江苏英锐半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32