【技术实现步骤摘要】
一种晶圆切割道结构
本技术涉及芯片制造领域,尤其涉及一种晶圆切割道结构。
技术介绍
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,由于其形状为圆形,故称为晶圆;在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构,而成为有特定电性功能的集成电路产品。晶圆的原始材料是硅,而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。晶圆在刻蚀之后需要进行切割,切割所用的刀具材料为金刚石,转数往往在数万转每分钟,在切割过程中,为了避免晶圆损坏,需要确定芯片的位置,之后决定切割道的位置进行切割,由于晶圆很脆,非常容易崩片,且因为崩片而导致芯片损坏,导致良品率下降。现有防损坏是在晶圆底部设置固定装置,防止晶圆崩坏,且切割时没有参照物,切伤只能在切割完成时进行检查,导致效率下降。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种晶圆切割道结构。为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:一种晶圆切割道结构,包括硅片,所述硅片的顶部粘接有覆膜,所述硅片的底部粘接有绷片,所述绷片的底部固定连接有支架。进一步地,所述绷片的直径远远大于硅片的直径。进一步地,所述覆膜被多个缺口分割成多个。进一步地,所述硅片之间纵横设置有多个刀路,所述硅片被多个刀路分割成多个。进一步地,所述绷片设置在硅片与支架之间,所述绷片胶接固定设置在支架的内部中心处,所述支架的中心处设置有与绷片对应的凹槽。进一步地,所述硅片粘接在绷片的中心位置。进一步地,所述支架的材料为金属材料。本技术具有如下有益效果: ...
【技术保护点】
1.一种晶圆切割道结构,包括硅片(5),其特征在于:所述硅片(5)的顶部粘接有覆膜(1),所述硅片(5)的底部粘接有绷片(4),所述绷片(4)的底部固定连接有支架(6)。/n
【技术特征摘要】
1.一种晶圆切割道结构,包括硅片(5),其特征在于:所述硅片(5)的顶部粘接有覆膜(1),所述硅片(5)的底部粘接有绷片(4),所述绷片(4)的底部固定连接有支架(6)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆切割道结构,其特征在于:所述绷片(4)的直径大于硅片(5)的直径。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆切割道结构,其特征在于:所述覆膜(1)的之间纵横设置有多个缺口(2),所述覆膜(1)被多个缺口(2)分割成多个。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆切割道结构,其特征在于:所述硅...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈晓静,段勇,
申请(专利权)人:江苏英锐半导体有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。