The embodiment of the present disclosure provides an integrated circuit device with a sidewall spacer and a method for forming an integrated circuit device with such spacer. In some examples, this method includes a receiving workpiece that contains a base and a grid stack located on the base. A spacer is formed on the side surface of the grid stack, and the spacer comprises a spacer layer of a low dielectric constant dielectric material. The source/drain region is formed in the base and the source/drain junction is coupled to the source/drain region, so that the spacer interval layer is located between the source/drain junction and the gate stack.
【技术实现步骤摘要】
集成电路装置及其形成方法
本公开实施例涉及集成电路制造,且特别涉及具有侧壁间隔物的集成电路装置及其形成方法。
技术介绍
半导体集成电路(integratedcircuit,IC)工业已经历快速的成长,在集成电路发展的过程中,随着几何尺寸(例如利用制造过程可以产生的最小元件或线)缩减的同时,功能密度(例如每一个芯片面积内互相连接的装置数量)通常也在增加。尺寸缩减工艺通常由增加生产效率和降低伴随的成本而提供好处。然而,这样的尺寸缩减也伴随着增加集成电路中的装置的设计和制造上的复杂度。在制造上并行的发展已经使得复杂度增加的设计以精准和可靠的方式制造。举例而言,制造的发展已经不仅是缩减电路部件的尺寸,还缩减了部件之间的间隔。然而,即使这样的电路可以被制造出来,由于部件之间的间隔缩减可能会引发其他问题。在一例子中,紧密邻接的电路部件可能对另一个电路部件表现出电性效应,像是电容和杂讯,随着间隔缩减这些效应更恶化。低功率装置可能表现出对这些效应增加的敏感度,于是可能会限制其最小功率和最大效能。
技术实现思路
根据本公开的一些实施例,提供集成电路装置的形成方法,此方法包含接收工件(workpiece),其包含基底和位于基底上的栅极堆叠;形成间隔物于栅极堆叠的侧面上,其中间隔物包含的间隔层具有低介电常数介电材料;形成源极/漏极区于基底内;以及形成源极/漏极接点耦接至源极/漏极区,其中间隔物的间隔层位于源极/漏极接点与栅极堆叠之间。根据本公开的另一些实施例,提供集成电路装置的形成方法,此方法包含接收基底和位于基底上的栅极堆叠;形成侧壁间隔物于栅极堆叠的垂直侧面上,其中侧壁间隔物包 ...
【技术保护点】
1.一种集成电路装置的形成方法,包括:接收一工件,其包含一基底和一栅极堆叠位于该基底上;形成一间隔物于该栅极堆叠的一侧面上,其中该间隔物包含一间隔层具有一低介电常数介电材料;形成一源极/漏极区于该基底内;以及形成一源极/漏极接点耦接至该源极/漏极区,其中该间隔物的该间隔层位于该源极/漏极接点与该栅极堆叠之间。
【技术特征摘要】
2017.11.15 US 15/813,7421.一种集成电路装置的形成方法,包括:接收一工件,其包含一基底和一栅极堆叠位于该基底上;形成一间隔物于该栅极堆叠的一侧面上,其中该间隔物包含一间隔层具有一低介电常数介电材料;形成一源极/漏极区于该基底内;以及形成一源极/漏极接点耦接至该源极/漏极区,其中该间隔物的该间隔层位于该源极/漏极接点与该栅极堆叠之间。2.如权利要求1所述的集成电路装置的形成方法,其中该低介电常数介电材料包含一多孔低介电常数介电材料。3.如权利要求2所述的集成电路装置的形成方法,其中该间隔物的该形成包含:沉积一低介电常数介电材料前驱物和一成孔剂;以及固化该低介电常数介电材料前驱物,以形成该间隔层的该低介电常数介电材料;且该固化使得该成孔剂产生孔隙在该多孔低介电常数介电材料内。4.如权利要求1所述的集成电路装置的形成方法,其中该低介电常数介电材料包含一介电材料和一掺质,该掺质来自于由一n型掺质和一p型掺质所组成的群组。5.如权利要求4所述的集成电路装置的形成方法,其中该间隔物的该形成包含:沉积该介电材料于该栅极堆叠上;以及在该介电材料的该沉积期间,原位注入该掺质。6.如权利要求4所述的集成电路装置的形成方法,其中该间隔物的该形成包含:沉积...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈彦廷,李威养,杨丰诚,陈燕铭,
申请(专利权)人:台湾积体电路制造股份有限公司,
类型:发明
国别省市:中国台湾,71
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