The present application relates to a recycling method of waste graphite crucible and high purity carbon powder, belonging to the field of semiconductor materials. The recycling method of the waste graphite crucible is to prepare high purity carbon powder by crushing, screening, pickling, washing and drying the waste graphite crucible. The application solves the problem of recycling waste graphite crucible, makes the existing resources more fully utilized, and reduces the cost of high-purity carbon powder. The method is low carbon, environmental protection and energy saving; the waste graphite crucible has been used at high temperature for many times, the impurity content is low, and the cost of preparing high-purity carbon powder is low; the high-purity carbon powder has high purity, wide particle size distribution, and can be used to prepare semiconductor grade carbon. Silicon carbide powder.
【技术实现步骤摘要】
废旧石墨坩埚的回收利用和高纯碳粉
本申请涉及一种废旧石墨坩埚的回收利用和高纯碳粉，属于半导体材料领域。
技术介绍
作为最重要的第三代半导体材料之一，碳化硅单晶因其宽带隙、抗电压击穿能力强、热导率高、饱和电子迁移速率高等优点，而被广泛应用于民用灯光照明、屏幕显示、航空航天、高温辐射环境、石油勘探、雷达通信与汽车电子化等领域。碳化硅单晶通常通过升华法由碳化硅粉料制备而成，因此升华法所使用的碳化硅粉料的纯度、粒度以及晶型均对碳化硅单晶质量有着显著影响。目前生产中最常用的SiC粉料合成方法为自蔓延高温合成法，是在中频电磁感应炉中将高纯的碳粉和硅粉加热到2000℃以上，在氩气或氦气气氛(或氩气与氦气的混合气氛)下合成碳化硅粉料，碳粉和硅粉的纯度要求很高。随着第三代半导体技术的发展，第三代半导体碳化硅材料的生产规模正逐步扩大。由于第三代半导体碳化硅的合成主要是在石墨坩埚内进行，这些石墨坩埚在经过多次使用后被淘汰，因此造成石墨坩埚废旧品存量巨大的问题。中国专利申请CN103579624A公开了一种改性锂电池石墨坩埚废料负极材料及其制备方法与应用，该专利通过将粉碎的石墨坩埚废料和...
【技术保护点】
1.一种废旧石墨坩埚的回收利用方法，其特征在于，该方法包括将废旧石墨坩埚破碎、筛分、酸洗、水洗和干燥后，制得高纯碳粉。
【技术特征摘要】
1.一种废旧石墨坩埚的回收利用方法，其特征在于，该方法包括将废旧石墨坩埚破碎、筛分、酸洗、水洗和干燥后，制得高纯碳粉。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括将制备得到的高纯碳粉用于制备第一碳化物的步骤；优选的，所述高纯碳粉包含第一碳化物和碳元素；优选地，所述第一碳化物为碳化硅。3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述筛分后的粒径为100μm-1000μm；优选地，所述筛分使用的筛网为非金属材质；更优选地，所述筛分使用的筛网为尼龙材质。4.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述酸洗使用的酸洗液包括盐酸和氢氟酸；优选地，所述酸洗液包括体积比为0.8-1.2:1:30-50的盐酸、氢氟酸和水，所述盐酸的浓度为5％-20％，所述氢氟酸的浓度为30％-50％；更优选地，所述酸洗液包括体积比为1:1:30-50的盐酸、氢氟酸和水，所述盐酸的浓度为5％-20％，所述氢氟酸的浓度为30％-50％。5.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述水洗和/或酸...
【专利技术属性】
技术研发人员：靳婉琪，耶夫亨·布乐琴科，王震，
申请(专利权)人：山东天岳先进材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：山东,37
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