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本申请涉及一种废旧石墨坩埚的回收利用方法和高纯碳粉,属于半导体材料领域。该废旧石墨坩埚的回收利用方法通过将废旧石墨坩埚破碎、筛分、酸洗、水洗和干燥后制得高纯碳粉。本申请解决了废旧石墨坩埚回收利用问题,使现有资源被更加充分地利用,同时降低了高...该专利属于山东天岳先进材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过山东天岳先进材料科技有限公司授权不得商用。
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