监控系统及自动物料传送系统技术方案

本实用新型专利技术涉及监控系统及自动物料传送系统，提出一种监控系统，包括：故障报警装置、图像采集装置、第一处理单元、控制装置。故障报警装置用于在晶圆运输设备发生故障时生成包括标识信息和故障时间的报警信息；图像采集装置设置于晶圆运输设备上，用于采集轨道图像信息和抓放图像信息；第一处理单元存储有晶圆运输设备的标识信息，与图像采集装置连接，用于将晶圆运输设备的轨道图像信息和抓放图像信息与其标识信息相关联并生成影像信息；控制装置用于接收并储存影像信息，并在接收到故障报警装置发出的报警信息时，根据标识信息、故障时间整合并存储影像信息和报警信息。该监控系统可以帮助维修人员快速找到晶圆运输设备的故障原因，缩短维修时间。

Monitoring System and Automatic Material Transfer System

【技术实现步骤摘要】
监控系统及自动物料传送系统
本技术涉及半导体集成电路自动搬运
，尤其涉及一种监控系统及自动物料传送系统。
技术介绍
自动物料传送系统(AMHS，AutomatedMaterialHandlingSystem)一般包括有多个晶圆运输设备(OHT，OverheadHoistTransport)，该晶圆运输设备用于抓放晶圆盒并带动所述晶圆盒沿轨道移动。当晶圆运输设备出现故障时，会导致整个自动物料传送系统无法正常运转。相关技术中，通常通过故障报警装置监控每一个晶圆运输设备的运行状态，当任意一个晶圆运输设备出现故障时，该故障报警装置会发出报警信息，从而便于维修人员对故障晶圆运输设备进行维修。然而，相关技术中，维修人员对故障晶圆运输设备进行维修时，需要对故障现场进行勘察，该勘察过程费时费力。需要说明的是，在上述
技术介绍
部分技术的信息仅用于加强对本技术的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种监控系统及自动物料传送系统。该监控系统可以帮助维修人员快速找到晶圆运输设备的故障原因，缩短维修时间。本技术的其他特性和优点将通过下面的详细描述变得显然，或部分地通过本技术的实践而习得。根据本技术的一个方面，提供一种监控系统，用于监控多个晶圆运输设备，所述晶圆运输设备用于抓放晶圆盒并带动所述晶圆盒沿一轨道移动，所述监控系统包括：故障报警装置、图像采集装置、第一处理单元、控制装置。故障报警装置用于在所述晶圆运输设备发生故障时生成包括标识信息和故障时间的报警信息，每个所述晶圆运输设备具有唯一的标识信息；图像采集装置设置于所述晶圆运输设备上，用于采集所述晶圆运输设备沿所述轨道移动的轨道图像信息以及抓放晶圆盒的抓放图像信息；第一处理单元设置于所述晶圆运输设备上且存储有所述晶圆运输设备的标识信息，与所述图像采集装置连接，用于将所述晶圆运输设备的轨道图像信息和抓放图像信息与其标识信息相关联并生成包括所述标识信息、轨道图像信息和抓放图像信息的影像信息；控制装置用于接收并储存所述影像信息，并在接收到所述故障报警装置发出的报警信息时，根据所述标识信息、故障时间整合并存储所述影像信息和所述报警信息。本技术的一种示例性实施例中，所述监控系统还包括：无线信号发射器和桥接器。无线信号发射器与所述第一处理单元连接，用于无线发射所述影像信息；桥接器与所述无线信号发射器连接，用于无线接收所述影像信息并有线转发所述影像信息。本技术的一种示例性实施例中，所述监控系统还包括：集线器。集线器的输入端与所述桥接器连接，所述集线器的输出端与所述控制装置连接，用于将所述影像信息有线传输到所述控制装置。本技术的一种示例性实施例中，所述故障报警装置包括：故障检测单元和第二处理单元。故障检测单元用于检测所述晶圆运输设备的运行状态，并根据所述运行状态生成包括故障时间的故障信息；第二处理单元设置于所述晶圆运输设备上且存储有所述晶圆运输设备的标识信息，与所述故障检测单元连接，用于将所述晶圆运输设备的故障信息与其标识信息相关联并生成所述报警信息。本技术的一种示例性实施例中，所述报警信息还包括用于记录故障类型的故障代码，所述故障报警装置还包括：故障类别检测单元。故障类别检测单元用于根据所述晶圆运输设备的运行状态生成故障代码；所述第二处理单元还用于将所述晶圆运输设备的故障信息、所述标识信息和所述故障代码相关联并生成所述报警信息。本技术的一种示例性实施例中，所述报警信息还包括用于记录所述晶圆运输设备位置的位置信息，所述故障报警装置还包括：位置传感器。位置传感器用于检测所述晶圆运输设备的位置信息；所述第二处理单元还用于将所述晶圆运输设备的故障信息、位置信息、所述标识信息和所述故障代码相关联并生成所述报警信息。本技术的一种示例性实施例中，所述图像采集装置包括：第一图像采集装置和第二图像采集装置。第一图像采集装置用于采集所述轨道图像信息；第二图像采集装置用于采集所述抓放图像信息。本技术的一种示例性实施例中，所述桥接器为一个或多个。本技术的一种示例性实施例中，所述图像采集装置为摄像机。本技术的一种示例性实施例中，所述晶圆运输设备包括设置于所述轨道上方的行走部件和设置于所述轨道下方的抓取部件，所述抓取部件用于抓放晶圆盒，所述行走部件用于在轨道上移动，所述第一图像采集装置设置于所述行走部件上，所述第二图像采集装置设置于所述抓取部件上。本技术的一种示例性实施例中，所述监控系统还包括：显示装置。显示装置与所述控制装置连接，用于显示所述影像信息和所述报警信息。本技术的一种示例性实施例中，所述无线信号发射器为无线网卡。根据本技术的一个方面，提供一种自动物料传送系统，包括多个晶圆运输设备以及上述的监控系统。本技术提供一种监控系统及自动物料传送系统。该监控系统包括：故障报警装置、图像采集装置、第一处理单元、控制装置。故障报警装置用于在所述晶圆运输设备发生故障时生成包括标识信息和故障时间的报警信息；图像采集装置设置于所述晶圆运输设备上，用于采集所述晶圆运输设备沿所述轨道移动的轨道图像信息以及抓放晶圆盒的抓放图像信息；第一处理单元设置于所述晶圆运输设备上且存储有所述晶圆运输设备的标识信息，与所述图像采集装置连接，用于将所述晶圆运输设备的轨道图像信息和抓放图像信息与其标识信息相关联并生成包括所述标识信息、轨道图像信息和抓放图像信息的影像信息；控制装置用于接收并储存所述影像信息，并在接收到所述故障报警装置发出的报警信息时，根据所述标识信息、故障时间整合并存储所述影像信息和所述报警信息。一方面，该监控系统可以整合并储存所述影像信息和报警信息，维修人员可以根据整合后的信息快速查看故障晶圆运输设备发生故障的图像信息，从而减少维修人员检查晶圆运输设备轨道行走故障和抓放晶圆盒故障所需时间以及维修人员人力，提高维修效率；另一方面，该监控系统结构简单，成本较低。应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本技术。附图说明此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本技术的实施例，并与说明书一起用于解释本技术的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本公开监控系统一种示例性实施例的功能结构框图；图2为本公开监控系统的结构示意图；图3为本公开监控系统一种示例性实施例中控制装置的结构示意图；图4本公开监控系统一种示例性实施例的功能结构框图；图5为本公开监控系统一种示例性实施例中图像采集装置结构示意图；图6为本公开监控系统一种示例性实施例中晶圆运输设备的局部放大图；图7为本公开监控系统一种示例性实施例中故障报警装置的结构示意图。具体实施方式现在将参考附图更全面地描述示例实施例。然而，示例实施例能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的范例；相反，提供这些实施例使得本技术将更加全面和完整，并将示例实施例的构思全面地传达给本领域的技术人员。图中相同的附图标记表示相同或类似的结构，因而将省略它们的详本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种监控系统，用于监控多个晶圆运输设备，所述晶圆运输设备用于抓放晶圆盒并带动所述晶圆盒沿一轨道移动，其特征在于，所述监控系统包括：故障报警装置，所述故障报警装置用于在所述晶圆运输设备发生故障时生成包括标识信息和故障时间的报警信息，每个所述晶圆运输设备具有唯一的标识信息；图像采集装置，所述图像采集装置设置于所述晶圆运输设备上，用于采集所述晶圆运输设备沿所述轨道移动的轨道图像信息以及抓放晶圆盒的抓放图像信息；第一处理单元，所述第一处理单元设置于所述晶圆运输设备上且存储有所述晶圆运输设备的所述标识信息，所述第一处理单元与所述图像采集装置连接，用于将所述晶圆运输设备的所述轨道图像信息和所述抓放图像信息与其标识信息相关联并生成包括所述标识信息、轨道图像信息和抓放图像信息的影像信息；控制装置，所述控制装置用于接收并储存所述影像信息，并在接收到所述故障报警装置发出的所述报警信息时，根据所述标识信息和所述故障时间整合并存储所述影像信息和所述报警信息。

【技术特征摘要】
1.一种监控系统，用于监控多个晶圆运输设备，所述晶圆运输设备用于抓放晶圆盒并带动所述晶圆盒沿一轨道移动，其特征在于，所述监控系统包括：故障报警装置，所述故障报警装置用于在所述晶圆运输设备发生故障时生成包括标识信息和故障时间的报警信息，每个所述晶圆运输设备具有唯一的标识信息；图像采集装置，所述图像采集装置设置于所述晶圆运输设备上，用于采集所述晶圆运输设备沿所述轨道移动的轨道图像信息以及抓放晶圆盒的抓放图像信息；第一处理单元，所述第一处理单元设置于所述晶圆运输设备上且存储有所述晶圆运输设备的所述标识信息，所述第一处理单元与所述图像采集装置连接，用于将所述晶圆运输设备的所述轨道图像信息和所述抓放图像信息与其标识信息相关联并生成包括所述标识信息、轨道图像信息和抓放图像信息的影像信息；控制装置，所述控制装置用于接收并储存所述影像信息，并在接收到所述故障报警装置发出的所述报警信息时，根据所述标识信息和所述故障时间整合并存储所述影像信息和所述报警信息。2.根据权利要求1所述的监控系统，其特征在于，所述监控系统还包括：无线信号发射器，所述无线信号发射器与所述第一处理单元连接，用于无线发射所述影像信息；桥接器，与所述无线信号发射器连接，用于无线接收所述影像信息并有线转发所述影像信息。3.根据权利要求2所述的监控系统，其特征在于，所述监控系统还包括：集线器，所述集线器的输入端与所述桥接器连接，所述集线器的输出端与所述控制装置连接，用于将所述影像信息有线传输到所述控制装置。4.根据权利要求1所述的监控系统，其特征在于，所述故障报警装置包括：故障检测单元，所述故障检测单元用于检测所述晶圆运输设备的运行状态，并根据所述运行状态生成包括故障时间的故障信息；第二处理单元，所述第二处理单元设置于所述晶圆运输设备上且存储有所述晶圆运输设备的所述标识信息，所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：路通，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34