【技术实现步骤摘要】
带有自清洁刷的晶圆片刷洗装置
本专利技术涉及一种晶圆片刷洗装置，特别涉及一种刷体具有自清洁功能并可快速更换的晶圆片刷洗装置。
技术介绍
在晶圆片生产制造过程中，晶圆片经过化学机械抛光后，晶圆片表面会残留大量颗粒、有机物和金属离子，因此需要对晶圆片表面进行刷洗。现有的晶圆片刷洗装置有很多，如单面刷洗的及双面刷洗的，但基本原理是一样的，均是通过一个自转的圆柱形清洁刷在圆片形晶圆片的表面进行滚刷，在滚刷过程中，晶圆片表面的斜上方的喷淋装置，喷出清洁水到刷体和晶圆片表面上，实现对晶圆片表面的清洁；在整个洗刷过程中，晶圆片表面的大量颗粒、有机物和金属离子首先是进入到圆柱形清洁刷的刷套中，喷淋装置所喷淋出的水可以将刷套上的清洗出的颗粒大部分冲洗掉，但也有一部分会滞留在刷套的底部，带污渍的刷体对下一晶圆片的刷洗时，会影响到清洗质量；此外，刷套属消耗品，使用一段时间就需要更换，如何缩短更换时间，是提高现场工作效率的一个关键环节。
技术实现思路
本专利技术提供了一种带有自清洁刷的晶圆片刷洗装置及刷洗方法，解决了晶圆片刷洗中如何清洁刷套底部污渍的技术问题。本专利技术是通过以下技术方案解决...
【技术保护点】
1.一种带有自清洁刷的晶圆片刷洗装置，包括彼此平行设置的左支撑板（22）和右支撑板（23），在左支撑板（22）与右支撑板（23）之间设置有晶圆片传送皮带（24），在晶圆片传送皮带（24）上设置有晶圆片（25），在晶圆片（25）的后侧上方设置有清洁液喷淋管（32），在晶圆片（25）的前侧上方的左支撑板（22）上设置有滚刷驱动轴轴承（14），在晶圆片（25）的前侧上方的右支撑板（23）上设置有滚刷空心轴顶接圆柱套体（2），在滚刷驱动轴轴承（14）中穿接有滚刷驱动轴（9），其特征在于，在滚刷空心轴顶接圆柱套体（2）中活动设置有滚刷空心轴顶接圆柱（16），在滚刷空心轴顶接圆柱（16...
【技术特征摘要】
1.一种带有自清洁刷的晶圆片刷洗装置，包括彼此平行设置的左支撑板（22）和右支撑板（23），在左支撑板（22）与右支撑板（23）之间设置有晶圆片传送皮带（24），在晶圆片传送皮带（24）上设置有晶圆片（25），在晶圆片（25）的后侧上方设置有清洁液喷淋管（32），在晶圆片（25）的前侧上方的左支撑板（22）上设置有滚刷驱动轴轴承（14），在晶圆片（25）的前侧上方的右支撑板（23）上设置有滚刷空心轴顶接圆柱套体（2），在滚刷驱动轴轴承（14）中穿接有滚刷驱动轴（9），其特征在于，在滚刷空心轴顶接圆柱套体（2）中活动设置有滚刷空心轴顶接圆柱（16），在滚刷空心轴顶接圆柱（16）中设置有清洁液进水水路（21），在滚刷空心轴顶接圆柱（16）与滚刷驱动轴（9）之间连接有滚刷空心轴（7），在滚刷空心轴（7）的圆柱体上设置有出水口（18），出水口（18）与滚刷空心轴（7）的空心内腔（20）连通在一起，清洁液进水水路（21）与滚刷空心轴（7）的空心内腔（20）连通在一起，在滚刷空心轴（7）上套接有滚刷套（6）。2.根据权利要求1所述的一种带有自清洁刷的晶圆片刷洗装置，其特征在于，在滚刷空心轴顶接圆柱（16）的右端面与滚刷空心轴顶接圆柱套体（2）的右端盖之间设置有顶接螺...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙德全，师开鹏，张峰，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第二研究所，
类型：发明
国别省市：山西,14
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