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本发明公开了一种带有自清洁刷的晶圆片刷洗装置，解决了晶圆片刷洗中如何清洁刷套底部污渍的问题。在滚刷空心轴顶接圆柱套体（2）中活动设置有滚刷空心轴顶接圆柱（16），在滚刷空心轴顶接圆柱（16）中设置有清洁液进水水路（21），在滚刷空心轴顶接圆...
该专利属于中国电子科技集团公司第二研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第二研究所授权不得商用。

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