湿式处理系统用工件装载器技术方案

此处技术提供一种用于传送及电化学沉积的工件搬运及装载设备，该设备用于装载、卸除和搬运相对挠性及薄的基板。此种系统在递送筒或匣与工件固持器之间辅助工件固持器交换。实施例包含一工件搬运器，其是配置成对一给定工件提供气垫，及操纵至可边缘夹持该工件的一给定工件固持器。

Workpiece Loader for Wet Processing System

The technology provides a workpiece handling and loading device for transporting and electrochemical deposition, which is used for loading, unloading and transporting relatively flexible and thin substrates. This system is used to exchange auxiliary workpiece holders between delivery drum or box and workpiece holder. The embodiment includes a workpiece carrier configured to provide an air cushion for a given workpiece and a fixed workpiece holder operated to edge-clamp the workpiece.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】湿式处理系统用工件装载器
相关申请案的交互参照：本申请案是关于且主张于2016年6月27日申请的美国专利申请案序号第15/193,890号的优先权，其全部内容于此藉由参照纳入本案揭示内容。本专利技术关于电化学沉积的方法及系统，该电化学沉积包含半导体基板的电镀。更具体而言，本专利技术关于用于固持、搬运、及传送薄基板的系统及方法。
技术介绍
电化学沉积以及其他制程是作为将膜涂布至各种结构及表面（诸如涂布至半导体晶圆、硅工件、或薄面板）的制造技术。此等膜可包含锡银、镍、铜、或其他金属层。电化学沉积包含将基板配置在包含金属离子的溶液之内，及接着施加电流以使金属离子自该溶液在基板上加以沉积。通常，电流在二电极之间（即在阴极与阳极之间）流动。当基板是作为阴极时，金属可在其上加以沉积。电镀溶液可包含一种以上金属离子类型、酸、螯合剂、错合剂、及有助于电镀特定金属的一些其他类型的添加剂的其中任一者。沉积的金属膜可包含金属及金属合金，诸如锡、银、镍、铜等及其合金。
技术实现思路
电化学沉积系统通常包含将基板传送至电镀流体的槽，藉由电流在基板上镀覆一种以上金属，且接着自该槽移除基板以进一步处理。各种基板的有效传送及搬运是有利于适当地置放基板及防止对基板的损坏。取决于基板尺寸、厚度、挠性等，传送及固持各种类型的基板可为挑战性的。两种传统类型的基板几何形状包含半导体晶圆及面板类型的几何形状，前者的特征在于相对刚性的硅圆盘，后者的特征在于通常较大及较具挠性的矩形基板。此处技术提供一种用于传送及电化学沉积的工件搬运及装载设备，其可装载、卸除和搬运/固持相对挠性及薄的基板。此种系统可例如在递送筒或匣（magazine）与工件固持器之间辅助工件固持器交换，用于后续传送。实施例包含一工件搬运器，其是配置成对一给定工件提供气垫，及操纵该给定工件至一工件固持器。一实施例包含一种搬运工件的设备。该设备包含具有平行板的一装载器模块。该等平行板具有面向彼此的平坦表面。该等平行板的每一平坦表面包含一气体出口阵列。该装载器模块是配置成接收具有相反平坦表面的一挠性工件。该装载器模块是配置成将该挠性工件配置在该装载器模块的该等平行板之间，使得该挠性工件的该等相反平坦表面面向该等平行板的该等平坦表面。该等平行板的每一者是配置成供应一气垫，该气垫是足以平坦化该挠性工件且将该挠性工件固持在该等平行板之间而没有使该挠性工件接触该等平行板的平坦表面。一工件固持器是配置成对齐该装载器模块。工件固持器包含夹持机构，当装载器模块是承载挠性工件时，该夹持机构是配置成足够开以接收挠性工件的相对边缘。该夹持机构是配置成在挠性工件的相反的平坦表面上在挠性工件的边缘处加以闭合，使得挠性工件是在工件固持器的第一和第二腿部构件之间加以固持。工件固持器是配置成与装载器模块分离。另一实施例包含一种搬运工件的方法。一挠性工件是在装载器模块的平行板之间加以配置。该等平行板具有彼此面对的平坦表面。该等平行板的每一平坦表面包含气体出口的阵列。该挠性工件具有相反的平坦表面。该挠性工件是加以配置，使得该挠性工件的相反的平坦表面面对该等平行板的平坦表面。气垫是从该等平行板的每一者加以供应，使得挠性工件是藉由气垫加以平坦化且在该等平行板之间加以固持而没有接触该等平行板的平坦表面。装载器模块是与工件固持器对齐，使得挠性工件的相对边缘是在夹持机构处加以定位，该夹持机构是足够开以接收挠性工件的相对边缘。该夹持机构是在挠性工件的相反的平坦表面上在挠性工件的边缘处加以闭合，使得挠性工件是在工件固持器的第一和第二腿部构件之间加以固持。工件固持器可与装载器模块分离。当然，为了清楚起见，呈现如此处描述的不同步骤的讨论顺序。通常，这些步骤可以任何适当的顺序加以执行。此外，虽然此处各个不同的特征、技术、配置等可在本揭示内容的不同地方加以讨论，但各个概念可彼此独立或彼此结合而加以实行。因此，本专利技术可以许多不同的方式体现及审视。注意此
技术实现思路
章节未明确指出本揭示内容或所请专利技术的各个实施例及/或增加的新颖实施态样。取而代之的是，此
技术实现思路
仅提供不同实施例的初步讨论，及优于习知技术的新颖性对应点。对于本专利技术及实施例的额外细节及/或可能的看法，读者可参照下方进一步讨论的实施方式章节及本揭示内容的相对应的图示。附图说明本专利技术的各种实施例的更完整的理解及伴随其中的许多优点，参照以下详细说明，特别是结合随附图式考虑时，将更容易理解。图式未必按照比例，而是将重点放在说明特征、原理及概念上。图1是根据本文揭示的实施例的工件搬运设备的透视图。图2是根据本文揭示的实施例的工件搬运设备及工件固持器的透视图。图3A是根据本文揭示的实施例的工件搬运设备的透视图。图3B是根据本文揭示的实施例的工件搬运设备的前视图。图4A是根据本文揭示的实施例的工件搬运设备的透视图。图4B是根据本文揭示的实施例的工件搬运设备的前视图。图5A是根据本文揭示的实施例的工件搬运设备的透视图。图5B是根据本文揭示的实施例的工件搬运设备的前视图。图6是根据本文揭示的实施例的工件搬运板的透视图。图7是根据本文揭示的实施例的工件搬运板的顶视图。图8是根据本文揭示的实施例的工件搬运设备的侧视图。图9是根据本文揭示的实施例的工件搬运设备的侧视图。图10A是根据本文揭示的实施例的显示工件装载的工件搬运设备及工件固持器的透视图。图10B是根据本文揭示的实施例的显示工件装载的工件搬运设备及工件固持器的侧视图。图11A是根据本文揭示的实施例的显示工件装载的工件搬运设备及工件固持器的透视图。图11B是根据本文揭示的实施例的显示工件装载的工件搬运设备及工件固持器的侧视图。图12A是根据本文揭示的实施例的显示工件搬运的工件搬运设备及工件固持器的透视图。图12B是根据本文揭示的实施例的显示工件搬运的工件搬运设备及工件固持器的侧视图。图13A是根据本文揭示的实施例的显示工件搬运的工件搬运设备及工件固持器的透视图。图13B是根据本文揭示的实施例的显示工件搬运的工件搬运设备及工件固持器的侧视图。图14A是根据本文揭示的实施例的显示工件搬运的工件搬运设备及工件固持器的透视图。图14B是根据本文揭示的实施例的显示工件搬运的工件搬运设备及工件固持器的侧视图。图15A是根据本文揭示的实施例的显示工件装载的工件搬运设备及工件固持器的透视图。图15B是根据本文揭示的实施例的显示工件装载的工件搬运设备及工件固持器的侧视图。图16A是根据本文揭示的实施例的显示工件装载的工件搬运设备及工件固持器的透视图。图16B是根据本文揭示的实施例的显示工件装载的工件搬运设备及工件固持器的侧视图。图17A是根据本文揭示的实施例的显示工件装载的工件搬运设备及工件固持器的透视图。图17B是根据本文揭示的实施例的显示工件装载的工件搬运设备及工件固持器的侧视图。图18A是根据本文揭示的实施例的显示工件搬运的工件搬运设备及工件固持器的透视图。图18B是根据本文揭示的实施例的显示工件搬运的工件搬运设备及工件固持器的侧视图。图19是根据本文揭示的实施例的显示双面气垫的工件搬运设备的示意横剖面图。具体实施方式此处技术提供一种用于传送及电化学沉积的工件搬运及装载设备，其可装载、卸除和搬运相对挠性及薄的基板。此种系统可例如在递送筒或匣（magazine）与工件本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种搬运工件的设备，其特征在于，该设备包含：具有平行板的一装载器模块，该等平行板具有面向彼此的平坦表面，该等平行板的每一平坦表面包含一气体出口阵列，该装载器模块是配置成接收具有相反平坦表面的一工件，该装载器模块是配置成将该工件配置在该装载器模块的该等平行板之间，使得该工件的该等相反平坦表面面向该等平行板的该等平坦表面；该等平行板的每一者是配置成供应一气垫，该气垫是足以平坦化该工件且将该工件固持在该等平行板之间而没有使该工件接触该等平行板的平坦表面；该装载器模块是配置成对齐一工件固持器，该工件固持器包含一夹持机构，当该装载器模块是承载该工件时，该夹持机构是配置成足够开以接收该工件的相对边缘；该夹持机构是配置成在该工件的该等相反平坦表面上在该工件的边缘处加以闭合，使得该工件是在该工件固持器的第一和第二腿部构件之间加以固持；及该工件固持器是配置成与该装载器模块分离。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.06.27 US 15/193,8901.一种搬运工件的设备，其特征在于，该设备包含：具有平行板的一装载器模块，该等平行板具有面向彼此的平坦表面，该等平行板的每一平坦表面包含一气体出口阵列，该装载器模块是配置成接收具有相反平坦表面的一工件，该装载器模块是配置成将该工件配置在该装载器模块的该等平行板之间，使得该工件的该等相反平坦表面面向该等平行板的该等平坦表面；该等平行板的每一者是配置成供应一气垫，该气垫是足以平坦化该工件且将该工件固持在该等平行板之间而没有使该工件接触该等平行板的平坦表面；该装载器模块是配置成对齐一工件固持器，该工件固持器包含一夹持机构，当该装载器模块是承载该工件时，该夹持机构是配置成足够开以接收该工件的相对边缘；该夹持机构是配置成在该工件的该等相反平坦表面上在该工件的边缘处加以闭合，使得该工件是在该工件固持器的第一和第二腿部构件之间加以固持；及该工件固持器是配置成与该装载器模块分离。2.如权利要求1所述的搬运工件的设备，其特征在于，其中，该装载器模块是配置成将气体流经该等平行板的每一平坦表面的该气体出口阵列以提供该气垫。3.如权利要求2所述的搬运工件的设备，其特征在于，其中，该等平行板的每一平坦表面的该气体出口阵列是配置成供应足够的空气压力，以将该工件平坦化至小于2毫米的挠曲，该工件是一挠性工件。4.如权利要求1所述的搬运工件的设备，其特征在于，其中，该等平行板具有小于该工件的一工件宽度的一板宽度，使得当该工件是在该装载器模块内加以配置时，该工件的该等相对边缘延伸超过各平行板的相对边缘。5.如权利要求1所述的搬运工件的设备，其特征在于，其中，该装载器模块是配置成当供应该气垫时缩短该等平行板之间的距离，该等平行板包含支撑件，该等支撑件是在该等平行板的一工件接收边缘上加以配置且是配置成维持在该等平行板之间的一预定间隙距离。6.如权利要求1所述的搬运工件的设备，其特征在于，更包含气动减震器，该等气动减震器是配置成使在该装载器模块之内的该工件对齐。7.如权利要求1所述的搬运工件的设备，其特征在于，其中，该装载器模块是配置成加以枢轴转动，且将该工件固持在一垂直位置且对齐该工件固持器。8.如权利要求1所述的搬运工件的设备，其特征在于，更包含多个升降销，该多个升降销是配置成突...

【专利技术属性】
技术研发人员：阿瑟·凯格勒，弗里曼·费雪，丹尼尔·古德曼，
申请(专利权)人：先进尼克斯有限公司，
类型：发明
国别省市：美国,US