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此处技术提供一种用于传送及电化学沉积的工件搬运及装载设备，该设备用于装载、卸除和搬运相对挠性及薄的基板。此种系统在递送筒或匣与工件固持器之间辅助工件固持器交换。实施例包含一工件搬运器，其是配置成对一给定工件提供气垫，及操纵至可边缘夹持该工件...
该专利属于先进尼克斯有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过先进尼克斯有限公司授权不得商用。

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