The utility model provides a simple and effective base which can prevent liquid reflux, including a sucker mechanism, a base, a rotating mechanism and a water retaining mechanism. The rotating mechanism includes a rotating platform and a driving unit. The central position of the base is provided with a central hole, and the water retaining mechanism includes a fixing frame, an adjusting unit and a water retaining plate. A water retaining mechanism is installed on the base, and the wafer is adsorbed on the sucker mechanism, and then the sucker mechanism is driven to rotate by the rotating mechanism. Therefore, the wafer is rotated and cleaned. If the cleaning fluid is returned to the back of the wafer, it will be diverted to the water-retaining plate through the water-retaining mechanism, and then the cleaning fluid will be guided to the outside of the base through the fixture, effectively avoiding the reflux of the cleaning fluid to the back of the wafer, ensuring the cleaning efficiency of the wafer and improving the service life of the base.
【技术实现步骤摘要】
一种简便有效可防止液体回流的底座
本技术涉及机械结构领域,尤其涉及一种简便有效可防止液体回流的底座。
技术介绍
在制作晶圆的工序中,其中一道工序需要对晶圆的正面进行清洗,在进行旋转清洗的过程中,有部分清洗液会回流到晶圆的背面造成脏污,进而还会导致清洗的机台进水,使得机台的使用寿命降低,造成生产成本较高。
技术实现思路
为此,需要提供一种简便有效可防止液体回流的底座,解决现有晶圆清洗机台具有清洗液回流至晶圆背面的问题。为实现上述目的,专利技术人提供了一种简便有效可防止液体回流的底座,包括吸盘机构、底座、旋转机构和挡水机构;所述旋转机构包括旋转台和驱动单元,所述底座的中心位置设置有中心孔,吸盘机构的导管设置在中心孔内,吸盘机构设置在旋转台上,驱动单元设置在旋转台的底面上;所述挡水机构包括固定架、调整单元和挡水板块,固定架设置在底座的顶面上,固定架位于底座的中心孔的一侧,调整单元设置在固定架上,挡水板块设置在调整单元上;所述吸盘机构的顶面相对于底座之间的间距大于挡水机构的顶面相对于底座之间的间距,挡水机构用于阻挡位于吸盘上的晶圆的清洗液回流至晶圆的底面和/或流入底座内。进一步地,所述调整单元包括螺栓和弹簧,所述固定架的顶面设置有螺纹孔,挡水板块设置在螺栓上,螺栓设置在螺纹孔内,所述弹簧套设在螺栓上,且弹簧位于挡水板块与固定架之间。进一步地,所述吸盘机构包括吸盘、真空泵和导管,吸盘设置在导管一端的端口上,导管套设于底座的中心孔内,导管的另一端与真空泵的吸气口管连接设置,真空泵设置在旋转台上。进一步地,所述导管与底座的中心孔之间设置有轴承。进一步地,所述吸盘机构的顶面与挡水 ...
【技术保护点】
1.一种简便有效可防止液体回流的底座,其特征在于:包括吸盘机构、底座、旋转机构和挡水机构;所述旋转机构包括旋转台和驱动单元,所述底座的中心位置设置有中心孔,吸盘机构的导管设置在中心孔内,吸盘机构设置在旋转台上,驱动单元设置在旋转台的底面上;所述挡水机构包括固定架、调整单元和挡水板块,固定架设置在底座的顶面上,固定架位于底座的中心孔的一侧,调整单元设置在固定架上,挡水板块设置在调整单元上;所述吸盘机构的顶面相对于底座之间的间距大于挡水机构的顶面相对于底座之间的间距,挡水机构用于阻挡位于吸盘上的晶圆的清洗液回流至晶圆的底面和/或流入底座内。
【技术特征摘要】
1.一种简便有效可防止液体回流的底座,其特征在于:包括吸盘机构、底座、旋转机构和挡水机构;所述旋转机构包括旋转台和驱动单元,所述底座的中心位置设置有中心孔,吸盘机构的导管设置在中心孔内,吸盘机构设置在旋转台上,驱动单元设置在旋转台的底面上;所述挡水机构包括固定架、调整单元和挡水板块,固定架设置在底座的顶面上,固定架位于底座的中心孔的一侧,调整单元设置在固定架上,挡水板块设置在调整单元上;所述吸盘机构的顶面相对于底座之间的间距大于挡水机构的顶面相对于底座之间的间距,挡水机构用于阻挡位于吸盘上的晶圆的清洗液回流至晶圆的底面和/或流入底座内。2.根据权利要求1所述的一种简便有效可防止液体回流的底座,其特征在于:所述调整...
【专利技术属性】
技术研发人员:汤建兴,许哲维,
申请(专利权)人:福建省福联集成电路有限公司,
类型:新型
国别省市:福建,35
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