The utility model provides a rubber film lifting device, which comprises a sealing chamber, a vacuum pump, a loading platform, a rubber film boost-and-fall plate and a gas guide pipe. The sealing chamber comprises a body for placing objects, a sealing cover and a bearing. The rubber film boost-and-fall plate comprises a driving unit and a carrier pressure plate, and a valve is arranged on the gas guide pipe. Opening the driving unit drives the film booster and bucket plate to move up and down, which makes the film booster and bucket plate close to each other and releases vacuum through the air intake pipe, then the film can be uniformly adhered to the wafer surface, which greatly reduces the probability of gap bubbles between the film and the chip during the bonding process. Therefore, it can effectively avoid the errors caused by manual operation, and improve the controllability of stress on the surface of wafer. It can avoid the uncertain stress caused by manual operation when scraping off the bonding bubbles, thus destroying the device structure and improving the stability of the product.
【技术实现步骤摘要】
一种胶膜举离设备
本技术涉及机械领域,尤其涉及一种胶膜举离设备。
技术介绍
现有的半导体产业中,芯片金属化工艺系指在一待加工芯片上首先完成图像化工艺后,搭配物理汽相工艺沉积所需的金属于整片芯片上,再搭配光刻胶移除化学药品的湿法金属剥离工艺来去除图像化中不要的金属区块,进而完成在预期的区域中沉积所需的金属。而胶膜举离:一种采用人为操作贴附流程,把具黏性胶带均匀贴附待工物上后,先采用胶膜撕除的物理拉力来拉除不需要的金属区块,可有效增加单一湿法金属剥离工艺的良率。其中,胶膜剥离工艺多采用人为手动贴合搭配胶膜气泡刮除步骤,来进行胶膜与代工芯片间的贴合度,进而提升胶膜剥离工艺良率。
技术实现思路
为此,需要提供一种胶膜举离设备,解决人工贴合胶膜容易具有气泡,以及胶膜剥离工艺的优良率较低的问题。为实现上述目的,专利技术人提供了一种胶膜举离设备,包括密封腔室、真空泵、载物台、胶膜升降压板和导气管;所述密封腔室包括置物腔体、密封盖和轴承,密封盖的侧面转轴设置在置物腔体的侧面槽孔内,轴承设置在密封盖的转轴与槽孔之间,密封盖用于转动至置物腔体顶面的开口处对置物腔体进行密封;所述载物台设置在置物腔体的底面上,载物台用于放置晶圆;胶膜升降压板包括驱动单元和载物压板,驱动单元设置在密封盖的内部顶面上,载物压板设置在驱动单元的输出轴上,载物压板设置在载物台的正上方,载物压板用于放置胶置;所述真空泵的抽气端口与置物腔体的抽气口管连接设置,导气管的一端与置物腔体的进气口管连接设置,导气管上设置有阀门。进一步地,所述密封腔室还包括密封垫圈,所述密封垫圈设置在置物腔体的开口端面上。进一步地,还包括调 ...
【技术保护点】
1.一种胶膜举离设备,其特征在于:包括密封腔室、真空泵、载物台、胶膜升降压板和导气管;所述密封腔室包括置物腔体、密封盖和轴承,密封盖的侧面转轴设置在置物腔体的侧面槽孔内,轴承设置在密封盖的转轴与槽孔之间,密封盖用于转动至置物腔体顶面的开口处对置物腔体进行密封;所述载物台设置在置物腔体的底面上,载物台用于放置晶圆;胶膜升降压板包括驱动单元和载物压板,驱动单元设置在密封盖的内部顶面上,载物压板设置在驱动单元的输出轴上,载物压板设置在载物台的正上方,载物压板用于放置胶置;所述真空泵的抽气端口与置物腔体的抽气口管连接设置,导气管的一端与置物腔体的进气口管连接设置,导气管上设置有阀门。
【技术特征摘要】
1.一种胶膜举离设备,其特征在于:包括密封腔室、真空泵、载物台、胶膜升降压板和导气管;所述密封腔室包括置物腔体、密封盖和轴承,密封盖的侧面转轴设置在置物腔体的侧面槽孔内,轴承设置在密封盖的转轴与槽孔之间,密封盖用于转动至置物腔体顶面的开口处对置物腔体进行密封;所述载物台设置在置物腔体的底面上,载物台用于放置晶圆;胶膜升降压板包括驱动单元和载物压板,驱动单元设置在密封盖的内部顶面上,载物压板设置在驱动单元的输出轴上,载物压板设置在载物台的正上方,载物压板用于放置胶置;所述真空泵的抽气端口与置物腔体的抽气口管连接设置,导气管的一端与置物腔体的进气口管连接设置,导气管上设置有阀门。2.根据权利要求1所述的一种胶膜举离设备,其特征在于:所述密封腔室还包括密封垫圈,所述密封垫圈设置在置物腔体的开口端面上。3.根据权利要求1所述的一种...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈智广,许孟凯,吴淑芳,林伟铭,江汉声,
申请(专利权)人:福建省福联集成电路有限公司,
类型:新型
国别省市:福建,35
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