一种削角磁钢的磁控溅射阴极制造技术

本实用新型专利技术公开了一种削角磁钢的磁控溅射阴极，包括主体及三道磁钢组件，所述主体的底部设置有第一支撑板，所述主体的顶部设置有上底板，所述主体的内部设置有三道磁钢组件，所述三道磁钢组件由第一削角磁钢、磁轭及第二削角磁钢组成；本实用新型专利技术结构简单，设置有第一削角磁钢和第二削角磁钢，这种磁钢结构会将相邻磁钢的临近尖端拉远，磁力线到达靶材表面时形状会是一个倒写的U字型，磁力线顶端越平整，即磁场的平行分量越多，靶材利用率越高，所以该专利磁钢结构可以有效提高靶材的利用率。

A Magnetron Sputtering Cathode for Angled Magnets

The utility model discloses a magnetron sputtering cathode for angle-cutting magnet steel, which comprises a main body and three magnetic steel assemblies. The bottom of the main body is provided with a first supporting plate, the top of the main body is provided with an upper bottom plate, and the inner part of the main body is provided with three magnetic steel assemblies. The three magnetic steel assemblies are composed of a first angle-cutting magnet steel, a magnetic yoke and a second angle-cutting magnet steel. Simple, with the first and second angle-cutting magnets, this kind of magnetic steel structure will stretch the adjacent tip of the adjacent magnets. When the magnetic line reaches the surface of the target, the shape will be an inverted U-shaped. The smoother the top of the magnetic line is, the more parallel components of the magnetic field, the higher the utilization rate of the target. Therefore, the patented magnetic steel structure can effectively improve the utilization rate of the target.

【技术实现步骤摘要】
一种削角磁钢的磁控溅射阴极
本技术涉及真空镀膜行业，具体是一种削角磁钢的磁控溅射阴极。
技术介绍
随着社会发展，人们对产品的性能要求越来越高，因此应用而生镀膜技术，镀膜是现有社会经常用到的一种技术，镀膜实际上是在物质表面镀上非常薄的薄膜，使该物质具有耐磨、润滑、导电、光学、装饰等功能。镀膜最普遍的做法就是通过镀膜机镀膜，而使用较多的就是溅射类镀膜，在磁控溅射阴极产品中有一个很重要的指标：靶材利用率，即将一块靶材放到磁控阴极上，用过之后还剩下多少，剩下的越少，说明使用的越多，效果越好，也就是靶材利用率越高。在授权公告号为“CN206736351U”的中国技术专利中，公开了一种高靶材利用率的矩形磁控溅射阴极，包括磁钢和磁轭，一个阴极包括七道磁钢，一个磁轭与七道磁钢连接等，该技术的设置有七道磁钢，传统的三道磁钢组件的磁场为“V”字形，而该技术会使得磁场转变为U字型，能够对靶面进行更大面积的刻蚀，从而提升了靶材的利用率；但是该技术具有以下问题：1、采用七道磁钢，磁钢的成本会提高；2、不适用于靶材比较窄的产品，因为没有空间放；3、磁场调节麻烦，因为磁钢的磁场相互关联，调整任何一个都需要对其他的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种削角磁钢的磁控溅射阴极，包括主体(6)和三道磁钢组件(9)，其特征在于，所述主体(6)的底部设置有第一支撑板(5)，所述主体(6)的顶部设置有上底板(7)，所述上底板(7)的表面设置有第一螺栓(8)，所述主体(6)的内部设置有三道磁钢组件(9)，所述三道磁钢组件(9)由第一削角磁钢(2)、磁轭(3)及第二削角磁钢(4)组成，两个第一削角磁钢(2)远离第二削角磁钢(4)的一侧设置有阳极(11)，所述第一削角磁钢(2)和第二削角磁钢(4)上端于主体(6)的内部设置有隔膜板(14)，所述隔膜板(14)的下方设置有冷却水道(12)，所述冷却水道(12)的顶部两侧与隔膜板(14)的底部连接处设置...

【技术特征摘要】
1.一种削角磁钢的磁控溅射阴极，包括主体(6)和三道磁钢组件(9)，其特征在于，所述主体(6)的底部设置有第一支撑板(5)，所述主体(6)的顶部设置有上底板(7)，所述上底板(7)的表面设置有第一螺栓(8)，所述主体(6)的内部设置有三道磁钢组件(9)，所述三道磁钢组件(9)由第一削角磁钢(2)、磁轭(3)及第二削角磁钢(4)组成，两个第一削角磁钢(2)远离第二削角磁钢(4)的一侧设置有阳极(11)，所述第一削角磁钢(2)和第二削角磁钢(4)上端于主体(6)的内部设置有隔膜板(14)，所述隔膜板(14)的下方设置有冷却水道(12)，所述冷却水...

【专利技术属性】
技术研发人员：张奇龙，李伟，
申请(专利权)人：杭州朗为科技有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33