一种具有充气功能的圆形平面阴极制造技术

本实用新型专利技术公开了一种具有充气功能的圆形平面阴极，涉及磁控溅射技术领域。本实用新型专利技术包括环形阴极底板，所述环形阴极底板的顶部固定连接有环形阴极主体，所述环形阴极主体的顶部四周均开设有卡接槽，且环形阴极主体的圆弧内侧固定连接有放置板，所述放置板上安装有靶材板，所述环形阴极主体的顶部安装有可拆卸式的固定板，所述固定板的四角均安装有卡接组件，所述环形阴极主体的内部安装有连接板，当对靶材板上的磁场强度进行调节时，可将外接气管与气顶组件连接，通过对气顶组件进行输气，使得气顶组件内部构件对磁板进行顶置，继而调节磁板与靶材板之间的间距，以便于对靶材板上的磁场进行调节，以提高膜层的均匀性，保证了镀膜产品的产品质量。镀膜产品的产品质量。镀膜产品的产品质量。

【技术实现步骤摘要】
一种具有充气功能的圆形平面阴极


[0001]本技术涉及磁控溅射
，具体涉及一种具有充气功能的圆形平面阴极。

技术介绍

[0002]磁控阴极为磁控溅射的核心部件，在真空状态下通过氩气，阴极靶材加负偏压，从而电离氩气变成氩离子，氩离子轰击靶材，将靶材材料溅射出来，沉积到基片上。
[0003]1.现有的平面阴极不便于对靶材表面的磁场进行调节，继而影响沉淀出来的膜的均匀性。
[0004]2.当靶材消耗完毕时，由于阴极对靶材安装固定较为麻烦，不便于对靶材进行拆卸更换。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于：为解决不便于对靶材表面的磁场进行调节，继而影响沉淀出来的膜的均匀性，以及对阴极对靶材安装固定较为麻烦，不便于对靶材进行拆卸更换的问题，本技术提供了一种具有充气功能的圆形平面阴极。
[0006]本技术为了实现上述目的具体采用以下技术方案：
[0007]一种具有充气功能的圆形平面阴极，包括环形阴极底板，所述环形阴极底板的顶部固定连接有环形阴极主体，所述环形阴极主体的顶部四周均开设有卡接槽，且环形阴极主本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有充气功能的圆形平面阴极，包括环形阴极底板(1)，其特征在于，所述环形阴极底板(1)的顶部固定连接有环形阴极主体(2)，所述环形阴极主体(2)的顶部四周均开设有卡接槽(24)，且环形阴极主体(2)的圆弧内侧固定连接有放置板(21)，所述放置板(21)上安装有靶材板(5)，所述环形阴极主体(2)的顶部安装有可拆卸式的固定板(3)，所述固定板(3)的四角均安装有卡接组件(4)，所述环形阴极主体(2)的内部安装有连接板(8)，所述连接板(8)的底部固定连接有磁板(7)，所述环形阴极主体(2)的内侧底部固定连接有气顶组件(6)。2.根据权利要求1所述的一种具有充气功能的圆形平面阴极，其特征在于，所述环形阴极主体(2)的圆弧内部两侧均开设有滑槽(22)，所述滑槽(22)的内侧顶部固定连接有弹簧(23)，所述连接板(8)的两端均固定连接有导板(81)，所述导板(81)位于滑槽(22)的内部，所述弹簧(23)的一端与导板(81)相互抵触。3.根据权利要求1所述的一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：张奇龙，李伟，
申请(专利权)人：杭州朗为科技有限公司，
类型：新型
国别省市：