一种具有充气功能的圆形平面阴极制造技术

本实用新型专利技术公开了一种具有充气功能的圆形平面阴极，涉及磁控溅射技术领域。本实用新型专利技术包括环形阴极底板，所述环形阴极底板的顶部固定连接有环形阴极主体，所述环形阴极主体的顶部四周均开设有卡接槽，且环形阴极主体的圆弧内侧固定连接有放置板，所述放置板上安装有靶材板，所述环形阴极主体的顶部安装有可拆卸式的固定板，所述固定板的四角均安装有卡接组件，所述环形阴极主体的内部安装有连接板，当对靶材板上的磁场强度进行调节时，可将外接气管与气顶组件连接，通过对气顶组件进行输气，使得气顶组件内部构件对磁板进行顶置，继而调节磁板与靶材板之间的间距，以便于对靶材板上的磁场进行调节，以提高膜层的均匀性，保证了镀膜产品的产品质量。镀膜产品的产品质量。镀膜产品的产品质量。

【技术实现步骤摘要】
一种具有充气功能的圆形平面阴极


[0001]本技术涉及磁控溅射
，具体涉及一种具有充气功能的圆形平面阴极。

技术介绍

[0002]磁控阴极为磁控溅射的核心部件，在真空状态下通过氩气，阴极靶材加负偏压，从而电离氩气变成氩离子，氩离子轰击靶材，将靶材材料溅射出来，沉积到基片上。
[0003]1.现有的平面阴极不便于对靶材表面的磁场进行调节，继而影响沉淀出来的膜的均匀性。
[0004]2.当靶材消耗完毕时，由于阴极对靶材安装固定较为麻烦，不便于对靶材进行拆卸更换。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于：为解决不便于对靶材表面的磁场进行调节，继而影响沉淀出来的膜的均匀性，以及对阴极对靶材安装固定较为麻烦，不便于对靶材进行拆卸更换的问题，本技术提供了一种具有充气功能的圆形平面阴极。
[0006]本技术为了实现上述目的具体采用以下技术方案：
[0007]一种具有充气功能的圆形平面阴极，包括环形阴极底板，所述环形阴极底板的顶部固定连接有环形阴极主体，所述环形阴极主体的顶部四周均开设有卡接槽，且环形阴极主体的圆弧内侧固定连接有放置板，所述放置板上安装有靶材板，所述环形阴极主体的顶部安装有可拆卸式的固定板，所述固定板的四角均安装有卡接组件，所述环形阴极主体的内部安装有连接板，所述连接板的底部固定连接有磁板，所述环形阴极主体的内侧底部固定连接有气顶组件。
[0008]进一步地，所述环形阴极主体的圆弧内部两侧均开设有滑槽，所述滑槽的内侧顶部固定连接有弹簧，所述连接板的两端均固定连接有导板，所述导板位于滑槽的内部，所述弹簧的一端与导板相互抵触。
[0009]进一步地，所述气顶组件包括固定连接在环形阴极主体内侧底部的顶置气囊，所述顶置气囊的底部固定连接有相互对称的输气阀，且顶置气囊的底部一侧固定连接有泄气阀。
[0010]进一步地，所述卡接组件包括固定连接在固定板底部一侧的收纳盒，所述收纳盒的内部螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆的一端固定连接有转柄，且螺纹杆的另一端轴承连接有挤压块，所述收纳盒的开口两端均固定连接有弹性片，所述弹性片的底端一侧固定连接有卡接块。
[0011]进一步地，所述卡接块嵌入与卡接槽的内部。
[0012]进一步地，所述连接板的顶部固定连接有冷却槽板。
[0013]本技术的有益效果如下：
[0014]1、本技术，当对靶材板上的磁场强度进行调节时，可将外接气管与气顶组件连接，通过对气顶组件进行输气，使得气顶组件内部构件对磁板进行顶置，继而调节磁板与靶材板之间的间距，以便于对靶材板上的磁场进行调节，以提高膜层的均匀性，保证了镀膜产品的产品质量。
[0015]2、本技术，当靶材板消耗殆尽时，可通过手动对卡接组件进行操作，使得卡接组件的内部构件对环形阴极主体断开卡接固定状态，继而使固定板与环形阴极主体分离，以实现对靶材板进行拆卸，且操作步骤简便，便于人们对靶材板进行更换。
附图说明
[0016]图1是本技术立体结构示意图；
[0017]图2是本技术的剖视图；
[0018]图3是本技术中卡接组件的结构示意图。
[0019]附图标记：1、环形阴极底板；2、环形阴极主体；3、固定板；4、卡接组件；5、靶材板；6、气顶组件；7、磁板；8、连接板；9、冷却槽板；21、放置板；22、滑槽；23、弹簧；24、卡接槽；41、转柄；42、螺纹杆；43、挤压块；44、弹性片；45、卡接块；46、收纳盒；61、输气阀；62、泄气阀；63、顶置气囊；81、导板。
具体实施方式
[0020]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
[0021]如图1
‑
图3所示，一种具有充气功能的圆形平面阴极，包括环形阴极底板1，同时环形阴极底板1的顶部固定连接有环形阴极主体2，并且环形阴极主体2的顶部四周均开设有卡接槽24，且环形阴极主体2的圆弧内侧固定连接有放置板21，而放置板21上安装有靶材板5，同时环形阴极主体2的顶部安装有可拆卸式的固定板3，而固定板3的四角均安装有卡接组件4，同时环形阴极主体2的内部安装有连接板8，并且连接板8的底部固定连接有磁板7，而环形阴极主体2的内侧底部固定连接有气顶组件6，在一些实施例中，当对靶材板5上的磁场强度进行调节时，可将外接气管与气顶组件6连接，通过对气顶组件6进行输气，使得气顶组件6内部构件对磁板7进行顶置，继而调节磁板7与靶材板5之间的间距，以便于对靶材板5上的磁场进行调节，以提高膜层的均匀性，保证了镀膜产品的产品质量，当靶材板5消耗殆尽时，可通过手动对卡接组件4进行操作，使得卡接组件4的内部构件对环形阴极主体2断开卡接固定状态，继而使固定板3与环形阴极主体2分离，以实现对靶材板5进行拆卸，且操作步骤简便，便于人们对靶材板5进行更换，更具体的为，当该阴极进行使用时，可通过将外接气管与气顶组件6连接，通过对气顶组件6进行输气，使得气顶组件6内部构件对磁板7进行顶置，继而调节磁板7与靶材板5之间的间距，以便于对靶材板5上的磁场进行调节，以提高膜层的均匀性，当需要对靶材板5进行更换时，可通过手动对卡接组件4进行操作，使得卡接组件4的内部构件对环形阴极主体2断开卡接固定状态，继而、实现对靶材板5进行拆卸，操作步骤简便方便人们对靶材板5进行更换。
[0022]如图2所示，在一些实施例中，环形阴极主体2的圆弧内部两侧均开设有滑槽22，同时滑槽22的内侧顶部固定连接有弹簧23，并且连接板8的两端均固定连接有导板81，同时导
板81位于滑槽22的内部，而弹簧23的一端与导板81相互抵触，更具体的为，当气顶组件6对磁板7进行顶置时，可带动磁板7顶部的连接板8进行移动，继而改变磁板7的位置，当连接板8进行移动时，可带动导板81在滑槽22内滑动，继而通过导板81可对连接板8进行引导，提高连接板8移动的平滑度，以便于对磁板7进行位置调节。
[0023]如图2所示，在一些实施例中，气顶组件6包括固定连接在环形阴极主体2内侧底部的顶置气囊63，同时顶置气囊63的底部固定连接有相互对称的输气阀61，且顶置气囊63的底部一侧固定连接有泄气阀62，更具体的为，将外接气管与输气阀61连接，可将输气阀61打开，使得外接气管对顶置气囊63进行气体输送，继而使顶置气囊63内部充盈，使得顶置气囊63对磁板7进行顶置，通过泄气阀62可对顶置气囊63内部气体进行泄出，以实现对磁板7的位置进行调节。
[0024]如图3所示，在一些实施例中，卡接组件4包括固定连接在固定板3底部一侧的收纳盒46，同时收纳盒46的内部螺纹连接有螺纹杆42，并且螺纹杆42的一端固定连接有转柄41，且螺纹杆42的另一端轴承连接有挤压块43，而收纳盒46的开口两端均固定连接有弹性片44，同时弹性片44的底端一侧固定连接有卡接块45，更具体的为，当对靶材板5进行拆本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有充气功能的圆形平面阴极，包括环形阴极底板(1)，其特征在于，所述环形阴极底板(1)的顶部固定连接有环形阴极主体(2)，所述环形阴极主体(2)的顶部四周均开设有卡接槽(24)，且环形阴极主体(2)的圆弧内侧固定连接有放置板(21)，所述放置板(21)上安装有靶材板(5)，所述环形阴极主体(2)的顶部安装有可拆卸式的固定板(3)，所述固定板(3)的四角均安装有卡接组件(4)，所述环形阴极主体(2)的内部安装有连接板(8)，所述连接板(8)的底部固定连接有磁板(7)，所述环形阴极主体(2)的内侧底部固定连接有气顶组件(6)。2.根据权利要求1所述的一种具有充气功能的圆形平面阴极，其特征在于，所述环形阴极主体(2)的圆弧内部两侧均开设有滑槽(22)，所述滑槽(22)的内侧顶部固定连接有弹簧(23)，所述连接板(8)的两端均固定连接有导板(81)，所述导板(81)位于滑槽(22)的内部，所述弹簧(23)的一端与导板(81)相互抵触。3.根据权利要求1所述的一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：张奇龙，李伟，
申请(专利权)人：杭州朗为科技有限公司，
类型：新型
国别省市：