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本实用新型公开了一种具有充气功能的圆形平面阴极，涉及磁控溅射技术领域。本实用新型包括环形阴极底板，所述环形阴极底板的顶部固定连接有环形阴极主体，所述环形阴极主体的顶部四周均开设有卡接槽，且环形阴极主体的圆弧内侧固定连接有放置板，所述放置板上...
该专利属于杭州朗为科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州朗为科技有限公司授权不得商用。

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