一种用于连接平面阴极的阳极水冷机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于连接平面阴极的阳极水冷机构，涉及磁控溅射技术领域。本实用新型专利技术包括冷水箱，所述冷水箱的内部固定连接有多个制冷片，且冷水箱上安装有输送组件，所述输送组件的输水端安装有冷却板，所述冷水箱的内部固定连接有过滤组件，所述冷却板的外侧开设有多个流通槽，所述输送组件包括固定连接在冷水箱顶部的小型水泵，需要对阳极进行降温时，可在输送组件的运转下，使得输送组件的内部构件将冷水箱内部冷水抽入冷却板内，并通过冷却板对阳极进行降温，随着冷水的输送量增大，使得冷却板内部水通过输送组件的内部构件进入冷水箱内，以此实现冷水循环，继而提高对阳极的降温效率。阳极的降温效率。阳极的降温效率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于连接平面阴极的阳极水冷机构


[0001]本技术涉及磁控溅射
，具体涉及一种用于连接平面阴极的阳极水冷机构。

技术介绍

[0002]圆形磁控阴极为磁控溅射的核心部件，在真空状态下通入氩气，阴极靶材加负偏压，从而电离氩气变成氩离子，氩离子轰击靶材，将靶材材料溅射出来，沉积到基片上，开始工作时，靶材表面会有挡板，让靶材溅射一段时间，将靶材表面的氧化层打掉,在长时间的溅射过程中，阳极的温度升高产生定量的热辐，在长时间的溅射过程中，阳极的温度升高产生一定量的热辐射，对靶材周围温度环境产生影响，间接影响溅射过程。
[0003]1.现有的阳极水冷机构对阳极降温效率较低，使得阳极升温过快，不便于磁控溅射工作的展开。
[0004]2.当该机构内部水长时间对阳极降温时，由于温度传导使得水的温度上升，继而使水中难免会产生细小垢物，而这些垢物若不及时处理，则影响水冷效果，继而降低了对阳极的降温效率。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于：为解决降温效率较低，使得阳极升温过快，不便于磁控溅射工作的展开，以及长时间对阳极降温时，使水中难免会产生细小垢物，而这些垢物若不及时处理，则影响水冷效果，继而降低了对阳极的降温效率的问题，本技术提供了一种用于连接平面阴极的阳极水冷机构。
[0006]本技术为了实现上述目的具体采用以下技术方案：
[0007]一种用于连接平面阴极的阳极水冷机构，包括冷水箱，所述冷水箱的内部固定连接有多个制冷片，且冷水箱上安装有输送组件，所述输送组件的输水端安装有冷却板，所述冷水箱的内部固定连接有过滤组件。
[0008]进一步地，所述冷却板的外侧开设有多个流通槽。
[0009]进一步地，所述输送组件包括固定连接在冷水箱顶部的小型水泵，所述小型水泵的出水端固定连接有第一输水管，所述第一输水管的一端固定连接有U型管，所述U型管的一端固定连接有第二输水管，且U型管上开设有多个出水孔，所述第二输水管的一端与冷水箱连通，所述冷却板的一侧固定连接有排污头，所述排污头的一端固定连接有排污管，所述排污管的一端与冷水箱连通。
[0010]进一步地，所述U型管位于冷却板的内部。
[0011]进一步地，所述过滤组件包括固定连接在冷水箱内部一侧的连接座，所述连接座的内侧两边均开设有安装槽，且连接座的顶部两侧均轴承连接有转柄，所述转柄上固定连接有限位杆，所述连接座上安装有过滤网板。
[0012]进一步地，所述过滤网板的外侧固定连接有连接套，所述连接套的两端均固定连
接有插接板，所述插接板位于安装槽的内部。
[0013]本技术的有益效果如下：
[0014]1、本技术，当需要对阳极进行降温时，可在输送组件的运转下，使得输送组件的内部构件将冷水箱内部冷水抽入冷却板内，并通过冷却板对阳极进行降温，随着冷水的输送量增大，使得冷却板内部水通过输送组件的内部构件进入冷水箱内，以此实现冷水循环，继而提高对阳极的降温效率。
[0015]2、本技术，当输送组件对冷却板内部输送水源时，使得冷却板内部水产生流动，继而对冷却板内部垢物进行带动，使其随着输送组件内部构件进入冷水箱内，并通过过滤组件对其进行过滤收集，以实现对冷却板内部细小垢物进行清理，避免影响降温效果。
附图说明
[0016]图1是本技术立体结构示意图；
[0017]图2是本技术中接头主体与连接盒的结构示意图；
[0018]图3是本技术中混合板的结构示意图；
[0019]图4是本技术中夹固组件的结构示意图。
[0020]附图标记：1、冷水箱；2、输送组件；3、冷却板；4、过滤组件；11、制冷片；21、小型水泵；22、第一输水管；23、U型管；24、出水孔；25、第二输水管；26、排污头；27、排污管；31、流通槽；41、连接座；42、安装槽；43、转柄；44、限位杆；45、过滤网板；46、连接套；47、插接板。
具体实施方式
[0021]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
[0022]如图1
‑
图4所示，一种用于连接平面阴极的阳极水冷机构，包括冷水箱1，同时冷水箱1的内部固定连接有多个制冷片11，且冷水箱1上安装有输送组件2，并且输送组件2的输水端安装有冷却板3，而冷水箱1的内部固定连接有过滤组件4，在一些实施例中，当需要对阳极进行降温时，可在输送组件2的运转下，使得输送组件2的内部构件将冷水箱1内部冷水抽入冷却板3内，并通过冷却板3对阳极进行降温，随着冷水的输送量增大，使得冷却板3内部水通过输送组件2的内部构件进入冷水箱1内，以此实现冷水循环，继而提高对阳极的降温效率，当输送组件2对冷却板3内部输送水源时，使得冷却板3内部水产生流动，继而对冷却板3内部垢物进行带动，使其随着输送组件2内部构件进入冷水箱1内，并通过过滤组件4对其进行过滤收集，以实现对冷却板3内部细小垢物进行清理，避免影响降温效果，更具体的为，当需要对阳极进行检测时，可将水倒入冷水箱1内，并通过制冷片11可对水进行降温处理，以此得出冷水，并在输送组件2的运转下，使得输送组件2内部构件将冷水箱1内部水抽入至冷却板3内，通过冷却板3对阳极进行降温，随着冷水的输送量增大，使得冷却板3内部水通过输送组件2的内部构件进入冷水箱1内，以此实现冷水循环，继而提高对阳极的降温效率，当冷却板3内部水进行循环时，可对冷却板3内部产生的垢物进行带动，继而将其带入冷水箱1内，通过过滤组件4对其进行过滤收集，以此对冷却板3内部垢物进行清除，以提高降温效率。
[0023]如图1所示，在一些实施例中，冷却板3的外侧开设有多个流通槽31，更具体的为，
当冷却板3与阳极进行抵触降温时，阳极产生的热气可从流通槽31流通，以提高散热效率。
[0024]如图2所示，在一些实施例中，输送组件2包括固定连接在冷水箱1顶部的小型水泵21，同时小型水泵21的出水端固定连接有第一输水管22，而第一输水管22的一端固定连接有U型管23，同时U型管23的一端固定连接有第二输水管25，且U型管23上开设有多个出水孔24，而第二输水管25的一端与冷水箱1连通，并且冷却板3的一侧固定连接有排污头26，同时排污头26的一端固定连接有排污管27，而排污管27的一端与冷水箱1连通，更具体的为，当对冷水箱1内部冷水进行输送时，可在小型水泵21的运转下，将冷水箱1内部冷水抽入第一输水管22内，并通过第一输水管22将其输送至U型管23内，并由出水孔24将冷水喷入冷却板3的内部，以便于冷却板3对阳极进行降温。
[0025]如图2所示，在一些实施例中，U型管23位于冷却板3的内部，更具体的为，当U型管23通过出水孔24将水喷入冷却板3内时，使得冷却板3内部水产生拨动，继而使冷却板3内部水带动垢物进入排污头26内，并通过排污管27进入冷水箱1内，通过过本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于连接平面阴极的阳极水冷机构，包括冷水箱(1)，其特征在于，所述冷水箱(1)的内部固定连接有多个制冷片(11)，且冷水箱(1)上安装有输送组件(2)，所述输送组件(2)的输水端安装有冷却板(3)，所述冷水箱(1)的内部固定连接有过滤组件(4)。2.根据权利要求1所述的一种用于连接平面阴极的阳极水冷机构，其特征在于，所述冷却板(3)的外侧开设有多个流通槽(31)。3.根据权利要求1所述的一种用于连接平面阴极的阳极水冷机构，其特征在于，所述输送组件(2)包括固定连接在冷水箱(1)顶部的小型水泵(21)，所述小型水泵(21)的出水端固定连接有第一输水管(22)，所述第一输水管(22)的一端固定连接有U型管(23)，所述U型管(23)的一端固定连接有第二输水管(25)，且U型管(23)上开设有多个出水孔(24)，所述第二输水管(25)的一端与冷水箱(1)连通，所述冷却板(3)的一侧固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：张奇龙，李伟，
申请(专利权)人：杭州朗为科技有限公司，
类型：新型
国别省市：