一种端头绝缘磁场可调的旋转阴极制造技术

本发明专利技术属于磁控溅射镀膜技术领域，具体的说是一种端头绝缘磁场可调的旋转阴极，包括转轴；所述转轴上固接有从动轮；所述从动轮上啮合有传动皮带；所述传动皮带另一侧啮合有驱动轮；所述驱动轮固接在电机的输出端；所述转轴的一侧固接有磁路壁；通过在磁路壁侧面设置磁场调节机构，旋转机构内的调节螺母，使得螺杆带动磁铁靠近或远离靶材的结构设计,实现了可对磁场的大小进行调节的功能，解决了现有的旋转阴极在使用的过程中，由于磁场的大小无法调节，使得镀膜工艺的局限性较大，更换磁铁的工艺较为繁琐，使得镀膜的效率较低，且可镀膜的范围很小的问题。范围很小的问题。范围很小的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种端头绝缘磁场可调的旋转阴极


[0001]本专利技术涉及磁控溅射镀膜
，具体是一种端头绝缘磁场可调的旋转阴极。

技术介绍

[0002]旋转阴极是磁控溅射镀膜机内部的转动构件，对于磁控溅射镀膜机具有至关重要的作用。
[0003]旋转溅射阴极，在光伏制造、ITO触屏等行业内，有着较为广泛的应用。
[0004]现有的旋转阴极在使用的过程中，由于磁场的大小无法调节，在镀膜时，需要更换内部转动的磁铁，由于更换磁铁的工艺较为繁琐，使得镀膜工艺的整体效率较低，且可镀膜的范围很小；因此，针对上述问题提出一种端头绝缘磁场可调的旋转阴极。

技术实现思路

[0005]为了弥补现有技术的不足，现有的旋转阴极在使用的过程中，由于磁场的大小无法调节，在镀膜时，需要更换内部转动的磁铁，由于更换磁铁的工艺较为繁琐，使得镀膜工艺的整体效率较低，且可镀膜的范围很小的问题，本专利技术提出一种端头绝缘磁场可调的旋转阴极。
[0006]本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：本专利技术所述的一种端头绝缘磁场可调的旋转阴极，包括转轴；所述转轴上固接有从动轮；所述从动轮上啮合有传动皮带；所述传动皮带另一侧啮合有驱动轮；所述驱动轮固接在电机的输出端；所述转轴的一侧固接有磁路壁；所述磁路壁上设置有磁场调节机构；所述磁场调节机构的端部固接有磁钢盒；所述磁钢盒的内部安装有磁铁；所述磁铁的外部安装有靶材；所述转轴的另一侧固接有电刷；所述电刷另一侧与电极接触；当需要镀膜时，可打开电机，使电机通过驱动轮带动传动皮带，进而带动转轴转动，当转轴转动时，可带动磁路壁，进而带动磁铁在靶材的周边转动，磁钢盒可把磁铁固定住，在磁铁在靶材内部转动时，通过磁控溅射远离把靶材镀在物体的表面，当需要调节磁场的大小时，可通过调节磁场调节机构，来调节磁场调节机构与靶材的距离，进而调整磁场的大小，解决了现有的旋转阴极在使用的过程中，由于磁场的大小无法调节，使得镀膜工艺的局限性较大，更换磁铁的工艺较为繁琐，使得镀膜的效率较低，且可镀膜的范围很小的问题。
[0007]优选的，所述磁场调节机构包括螺杆；靠近所述螺杆端部的位置螺纹连接有调节螺母；所述调节螺母外部罩有盖板；所述盖板通过固定螺栓连接在磁路壁内部；所述螺杆端部固接在磁铁的内部；当需要调节磁场大小时，可拧出固定螺栓，拆下盖板，进而调节调节螺母，通过调节螺母调节螺杆的位置，来调节磁铁与靶材的距离，进而可实现调节磁场大小的功能，使得调节磁场大小较为方便。
[0008]优选的，所述电机底部固接有固定座；所述固定座端部固接在装置的侧壁上；当电机转动时，固定座可限制住电机，使得电机的旋转力只会通过输出端输出，防止电机出现空转的现象，减少动能的浪费。
[0009]优选的，所述磁铁的侧面安装有轭铁；所述轭铁与磁铁长短一致；在磁铁的侧面安装轭铁，可增加磁铁与靶材的吸合力，使得磁铁转动产生的磁感线封闭在磁铁与靶材的内部，可提高磁铁转动产生磁力的效率。
[0010]优选的，所述转轴的一侧开设有进水口；所述转轴的顶部开设有出水口；所述进水口与出水口之间为水路；所述水路穿过转轴、磁路壁以及磁钢盒的外侧，通向出水口的位置；在镀膜的过程中，可通过进水口向装置腔内注入冷却水，冷却水可提供恒流、恒温和恒压的环境，来使得镀膜工作在最适宜的条件下进行，提高了镀膜工作的效率。
[0011]优选的，所述转轴的外部套设有密封壳；所述转轴与密封壳之间安装有轴承；所述轴承外侧安装有油封；当向装置内部注入冷却水时，密封壳可减少冷却水渗出的可能性，使得冷却水只会在装置的内部运动，轴承可使得密封壳不会影响转轴的转动，油封可使得冷却水较少的与轴承接触，减少轴承氧化生锈的可能性，增加了装置的使用寿命。
[0012]优选的，所述磁路壁的一侧安装有前密封端盖；所述磁路壁的另一侧安装有后密封端盖；所述前密封端盖转动连接在固定套壳的内部；所述固定套壳与前密封端盖之间开腔安装有滚珠；前密封端盖与后密封端盖可减少磁路壁内部的水流出，使得水只会在磁路壁的内部流动，减少资源浪费的同时，可使得磁路壁内部的散热效率增加，固定套壳底部可安装支撑部件，使得转轴与磁路壁连接处不处于悬空的状态，有效的减少转轴与磁路壁连接处断裂的可能性，前密封端盖转动连接在固定套壳的内部，可降低固定套壳对转轴与磁路壁转动的影响，同时，滚珠可使得前密封端盖与固定套壳之间的摩擦从滑动变为滚动，使得摩擦力减小，减少了前密封端盖与固定套壳的磨损，增加了装置的使用寿命。
[0013]优选的，所述固定套壳内侧壁上固接有油腔；所述油腔内部滑动连接有滑块；所述滑块端部固接有吸水棉；所述滑块另一端固接有弹簧；所述弹簧端部固接在固定套壳内侧壁上；所述油腔侧壁上开设有出油孔；所述滑块内部开设有输油腔；所述输油腔开设在对应出油孔的位置；向油腔内部注入润滑油，当在固定套壳内部转动时，会挤压滑块，使滑块向弹簧方向移动，当输油腔与出油孔贴合时，油腔内部的润滑油会通过输油腔流出，进而打湿吸水棉，当吸水棉被打湿后，可使得固定套壳腔内与表面更加润滑，减少固定套壳与之间的摩擦力，使得转动时损失的动能降低，且可使得固定套壳与之间的震动减少，进而使得噪音降低，使得工作环境更加的安静。
[0014]本专利技术的有益之处在于：
[0015]1.本专利技术通过在磁路壁侧面设置磁场调节机构，旋转机构内的调节螺母，使得螺杆带动磁铁靠近或远离靶材的结构设计,实现了可对磁场的大小进行调节的功能，解决了现有的旋转阴极在使用的过程中，由于磁场的大小无法调节，使得镀膜工艺的局限性较大，更换磁铁的工艺较为繁琐，使得镀膜的效率较低，且可镀膜的范围很小的问题。
[0016]2.本专利技术通过在装置的内部开设水路，水路贯通整个装置的内部，在水路内部通入冷却水，使得冷却水流经装置内部的结构设计,实现了对镀膜操作时，提供恒流、恒温、恒压的环境的功能，解决了温度、压力等会对镀膜工艺造成影响的问题。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本
专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0018]图1为实施例一的主视图；
[0019]图2为图1中A处的放大图；
[0020]图3为图1中B处的放大图；
[0021]图4为磁场调节机构的立体图；
[0022]图5为图1中C处的放大图；
[0023]图6为实施例一的固定套壳的剖视图；
[0024]图7为图6中D处的放大图；
[0025]图8为实施例二的封闭塞的结构示意图。
[0026]图中：1、电机；2、驱动轮；3、传动皮带；4、从动轮；5、转轴；6、磁路壁；7、磁场调节机构；8、磁铁；9、磁钢盒；10、靶材；11、电刷；12、螺杆；13、调节螺母；14、盖板；15、固定螺栓；16、固定座；17、轭铁；18、前密封端盖；19本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种端头绝缘磁场可调的旋转阴极，其特征在于：包括转轴(5)；所述转轴(5)上固接有从动轮(4)；所述从动轮(4)上啮合有传动皮带(3)；所述传动皮带(3)另一侧啮合有驱动轮(2)；所述驱动轮(2)固接在电机(1)的输出端；所述转轴(5)的一侧固接有磁路壁(6)；所述磁路壁(6)上设置有磁场调节机构(7)；所述磁场调节机构(7)的端部固接有磁钢盒(9)；所述磁钢盒(9)的内部安装有磁铁(8)；所述磁铁(8)的外部安装有靶材(10)；所述转轴(5)的另一侧固接有电刷(11)；所述电刷(11)另一侧与电极(23)接触。2.根据权利要求1所述的一种端头绝缘磁场可调的旋转阴极，其特征在于：所述磁场调节机构(7)包括螺杆(12)；靠近所述螺杆(12)端部的位置螺纹连接有调节螺母(13)；所述调节螺母(13)外部罩有盖板(14)；所述盖板(14)通过固定螺栓(15)连接在磁路壁(6)内部；所述螺杆(12)端部固接在磁铁(8)的内部。3.根据权利要求2所述的一种端头绝缘磁场可调的旋转阴极，其特征在于：所述电机(1)底部固接有固定座(16)；所述固定座(16)端部固接在装置的侧壁上。4.根据权利要求3所述的一种端头绝缘磁场可调的旋转阴极，其特征在于：所述磁铁(8)的侧面安装有轭铁(17)；所述轭铁(17)与磁铁(8)长短一致。5.根据权利要求4所述的一种端头绝缘磁场可调的旋转阴极...

【专利技术属性】
技术研发人员：张奇龙，李伟，
申请(专利权)人：杭州朗为科技有限公司，
类型：发明
国别省市：