【技术实现步骤摘要】
一种用于光电零部件的退火炉
本技术涉及光电零部件加工设备
，具体涉及一种用于光电零部件的退火炉。
技术介绍
光电
使用的零部件，往往对清洁度的要求较高，微小的杂质和尘埃都会影响半导体的性能。因此在光电领域内清洗、清洁技术是非常重要的一系列技术，很多工艺要在洁净室完成。退火炉是半导体光电零部件制造中使用的一种工艺设备，是热处理炉中的一种，主要用于表面淬火件回火，焊件消除应力退火、时效等热处理工艺。加热方式有电加热、燃油、燃气、燃煤和热风循环。现有技术中的用于半导体光电零部件的退火炉通常采用电加热的方式，消耗大量的电能，造成企业生产成本高，而且燃烧后的尾气含有大量的热量直接排出既造成环境污染的同时也造成能量的浪费；同时有的退火炉为了降低能耗通常会采用保温隔热技术，但是现有技术中的保温隔热结构通常是嵌设在炉壁内层结构中，拆卸更换麻烦设置不可拆卸。
技术实现思路
为解决上述存在的问题，本技术的目的在于提供一种用于光电零部件的退火炉。为达到上述目的，本技术采用的技术方案是：一种用于光电零部件的退火炉，包括炉体，所述炉体为正面开口结构且正面开口位置处设有密封门，所述炉体一...
【技术保护点】
1.一种用于光电零部件的退火炉，其特征在于，包括炉体，所述炉体为正面开口结构且正面开口位置处设有密封门，所述炉体一分为二包括第一炉体和第二炉体，所述第一炉体和第二炉体中间设有保温隔板层，所述炉体内壁四周均设有保温结构层；所述第一炉体底端连接有进气管，所述进气管和第一过滤器一端连接，所述第一过滤器另一端通过出气管连接，所述出气管和蓄热燃烧装置的出风端口连接，所述蓄热燃烧装置和鼓风机连接，所述第一炉体顶端连接有排气管，所述排气管上设有第二过滤器，所述排气管和蓄热燃烧装置的第二进气端口连接，所述蓄热燃烧装置上还设有第一进气端口且和天然气管连通；所述第二炉体两侧内壁上均匀设有若干电...
【技术特征摘要】
1.一种用于光电零部件的退火炉，其特征在于，包括炉体，所述炉体为正面开口结构且正面开口位置处设有密封门，所述炉体一分为二包括第一炉体和第二炉体，所述第一炉体和第二炉体中间设有保温隔板层，所述炉体内壁四周均设有保温结构层；所述第一炉体底端连接有进气管，所述进气管和第一过滤器一端连接，所述第一过滤器另一端通过出气管连接，所述出气管和蓄热燃烧装置的出风端口连接，所述蓄热燃烧装置和鼓风机连接，所述第一炉体顶端连接有排气管，所述排气管上设有第二过滤器，所述排气管和蓄热燃烧装置的第二进气端口连接，所述蓄热燃烧装置上还设有第一进气端口且和天然气管连通；所述第二炉体两侧内壁上均匀设有若干电加热片；所述第一炉体顶端面设有第一温度传感器，所述第二炉体顶端面设有第二温度传感器。2.根据权利要求1所述的一种用于光电零部件的退火炉，其特征在于，所述第一炉体为高温炉体，所述第二炉体为低温炉体。3.根据权利要求1所述的一种用于光电零部件的退火炉，其特征在于，所述保温结构层包括上保温结构层、下保温结构层、侧保温结构层和内保温结构层，所述上保温结构层设置于所述炉体内顶板上，所述下保温结构层设置在炉体内底板上，...
【专利技术属性】
技术研发人员：范银波，
申请(专利权)人：苏州珮凯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32
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