化学气相沉积设备及其机械手制造技术

本申请实施例提供了一种化学气相沉积设备及其机械手。该化学气相沉积设备的机械手包括并列设置的两个以上的托杆；所述两个以上的托杆的顶部为承载面，用于承载玻璃基板；所述托杆包括一个以上的连接组件和两个以上的子托杆，所述两个以上的子托杆依次连接设置，并且任意两相邻的子托杆之间通过所述连接组件固定连接。本申请实施例实现了机械手在满足耐高温和平坦的基础上进行了增长，使得该机械手可以适用于液晶领域高世代线中，不仅提高了本申请提供的机械手的适用范围，而且有效的解决了大尺寸玻璃基板的搬运问题。

Chemical Vapor Deposition Equipment and Its Manipulator

The embodiment of the application provides a chemical vapor deposition device and a manipulator thereof. The manipulator of the chemical vapor deposition equipment comprises two or more brackets arranged side by side; the top of the two or more brackets is a bearing surface for carrying glass substrate; the bracket comprises more than one connecting component and two or more sub-brackets, the two or more sub-brackets are connected and arranged in turn, and any two adjacent sub-brackets pass through the connecting group. Fixed connection. The embodiment of the application realizes the growth of the manipulator on the basis of meeting the requirements of high temperature resistance and flatness, so that the manipulator can be applied to the advanced generation line in the field of liquid crystal. It not only enhances the scope of application of the manipulator provided in the application, but also effectively solves the handling problem of large size glass substrates.

【技术实现步骤摘要】
化学气相沉积设备及其机械手
本申请涉及化学气相沉积设备
，具体而言，本申请涉及一种化学气相沉积设备及其机械手。
技术介绍
目前在液晶领域的高世代线中，化学气相沉积设备的机械手需要在高温及真空的环境下工作，现有技术中的机械手一般采用陶瓷工艺制成。但是随着液晶领域的世代线的不断升级，玻璃基板的尺寸越来越大，因此对于机械手的长度要求越来越高，然而现有的陶瓷工艺已经无法增长机械手，无法满足液晶领域高世代线对于机械手长度的需求。
技术实现思路
本申请针对现有方式的缺点，提出一种化学气相沉积设备及其机械手，用以解决现有技术存在的机械手难以在满足耐高温和平坦的基础上进行增长的缺陷。第一个方面，本申请实施例提供了一种化学也相沉积设备的机械手，包括并列设置的两个以上的托杆；所述两个以上的托杆的顶部为承载面，用于承载玻璃基板；所述托杆包括一个以上的连接组件和两个以上的子托杆，所述两个以上的子托杆依次连接设置，并且任意两相邻的子托杆之间通过所述连接组件固定连接。于本申请的一实施例中，所述连接组件呈套筒结构，所述套筒结构的两端分别套设于所述两相邻的子托杆的端部上，并且所述套筒结构的顶部厚度略高于所述承载面。于本申请的一实施例中，所述套筒结构与所述两相邻的子托杆之间的连接方式为卡接、粘接或焊接。于本申请的一实施例中，所述连接组件包括第一组件及第二组件，所述第一组件固定设置于所述两相邻的子托杆的顶部，所述第二组件固定设置于所述两相邻的子托杆的底部。于本申请的一实施例中，所述第一组件的顶面高于所述承载面，且所述顶面与所述承载面之间的高度差在预设的高度差范围内。于本申请的一实施例中，所述第二组件包括依次连接的连接部、竖直部及支撑部，所述连接部及支撑部分别与两相邻的子托杆固定连接；所述竖直部的顶端与所述连接部相连，所述竖直部的底端与所述支撑部相连，并且所述竖直部与所述支撑部之间的夹角小于90度。于本申请的一实施例中，所述第一组件及第二组件与所述两相邻的子托杆之间的连接方式为粘接或焊接。于本申请的一实施例中，所述子托杆为陶瓷材质的子托杆。第二个方面，本申请实施例提供了一种化学气相沉积设备，包括驱动机构以及如本申请的第一个方面提供的化学气相沉积设备的机械手，所述机械手固定设置于所述驱动部上，所述驱动机构用于带动所述机械手移动。于本申请的一实施例中，所述机械手为两个以上，且所述两个以上的机械手沿垂直方向层叠设置。本申请实施例提供的技术方案带来的有益技术效果是：本申请通过设置有两个以上的子托杆组成的托杆，并且在两相邻的子托杆之间采用连接组件固定连接，可以有效的防止机械手随着长度的增加，由于边缘重力的影响而导致的弯曲，实现了机械手在满足耐高温和平坦的基础上进行了增长，使得本申请实施例在搬运玻璃基板的过程中性能更加稳定，不易弯曲从而有效提高了本申请实施例的使用寿命。另外本申请可以适用于液晶领域高世代线中，不仅提高了本申请的适用范围，而且有效的解决了大尺寸玻璃基板的搬运问题。本申请附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，这些将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。附图说明本申请上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：图1为本申请实施例提供的一种化学气相沉积设备的机械手的俯视示意图；图2为本申请实施例提供的一种托杆的侧视示意图；图3为本申请实施例提供的另一种托杆的侧视示意图；图4为本申请实施例提供的另一种托杆的局部放大的侧视示意图；图5为本申请实施例提供的一种化学气相沉积设备的侧视示意图。具体实施方式下面详细描述本申请，本申请的实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的部件或具有相同或类似功能的部件。此外，如果已知技术的详细描述对于示出的本申请的特征是不必要的，则将其省略。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本申请，而不能解释为对本申请的限制。本
技术人员可以理解，除非另外定义，这里使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)，具有与本申请所属领域中的普通技术人员的一般理解相同的意义。还应该理解的是，诸如通用字典中定义的那些术语，应该被理解为具有与现有技术的上下文中的意义一致的意义，并且除非像这里一样被特定定义，否则不会用理想化或过于正式的含义来解释。本
技术人员可以理解，除非特意声明，这里使用的单数形式“一”、“一个”、“所述”和“该”也可包括复数形式。应该进一步理解的是，本申请的说明书中使用的措辞“包括”是指存在所述特征、整数、步骤、操作、元件和/或组件，但是并不排除存在或添加一个或多个其他特征、整数、步骤、操作、元件、组件和/或它们的组。下面以具体地实施例对本申请的技术方案以及本申请的技术方案如何解决上述技术问题进行详细说明。本申请实施例提供了一种化学气相沉积设备的机械手，该机械手的结构示意图如图1及图2所示，包括：包括并列设置的两个以上的托杆1；两个以上的托杆1的顶部为承载面2，用于承载玻璃基板；托杆1包括一个以上的连接组件3和两个以上的子托杆4，两个以上的子托杆4依次连接设置，并且任意两相邻的子托杆4之间通过连接组件3固定连接。如图1所示，机械手可以包括两个托杆，两个托杆1的顶部可以为承载面2，用于承载玻璃基板。由于托杆在高温真空的环境下使用，因此其可以采用陶瓷材质制成，但是本申请并不以此为限。如图2所示，托杆1可以包括一个连接组件3以及两个子托杆4，两个子托杆4之间可以通过连接组件3固定连接。需要说明的是本申请并不限定子托杆及连接组件的数量，例如子托杆数量可以为多个，但是两相邻的子托杆之间均通过连接组件固定连接。本申请通过设置有两个以上的子托杆组成的托杆，并且在两相邻的子托杆之间采用连接组件固定连接，可以有效的防止机械手随着长度的增加，由于边缘重力的影响而导致的弯曲，实现了机械手在满足耐高温和平坦的基础上进行了增长，使得本申请实施例在搬运玻璃基板的过程中性能更加稳定，不易弯曲从而有效提高了本申请实施例的使用寿命。另外本申请可以适用于液晶领域高世代线中，不仅提高了本申请的适用范围，而且有效的解决了大尺寸玻璃基板的搬运问题。于本申请的一实施例中，连接组件3呈套筒结构，套筒结构的两端分别套设于两相邻的子托杆4的端部上，并且套筒结构的顶部厚度略高于承载面2。可选地，连接组件3可以采用金属材质或者陶瓷材质制成的套筒结构，两相邻的子托杆4可以分别套设于连接组件3的两端部内，从而实现将两个子托杆固定连接。由于承载面2用于承载玻璃基板，因此连接组件3的顶部厚度可以略高于承载面2，而且为了使结构更为稳定，连接组件3除顶部外的其它部分的厚度可以设置的略厚。采用上述设计，可以使得本申请实施例的结构简单耐用，并且可以有效降低使用及给护成本。需要说明的是，本申请实施例并不限限定连接组件3的具体材质以及连接组件的厚度，本领域技术人员可以根据实际情况自行选择。于本申请的一实施例中，套筒结构与两相邻的子托杆4之间的连接方式为卡接、粘接或焊接。当连接组件3为套筒结构时，连接组件与两相邻的子托杆4之间的连接方式可以采用上述连接方式的任意一种或组合。例如可以采用卡接之后再进行粘接，或者采用卡接之后再进行焊接。本申请实施例对此并不进行限定。于本申请的一实本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种化学气相沉积设备的机械手，其特征在于，包括并列设置的两个以上的托杆；所述两个以上的托杆的顶部为承载面，用于承载玻璃基板；所述托杆包括一个以上的连接组件和两个以上的子托杆，所述两个以上的子托杆依次连接设置，并且任意两相邻的子托杆之间通过所述连接组件固定连接。

【技术特征摘要】
1.一种化学气相沉积设备的机械手，其特征在于，包括并列设置的两个以上的托杆；所述两个以上的托杆的顶部为承载面，用于承载玻璃基板；所述托杆包括一个以上的连接组件和两个以上的子托杆，所述两个以上的子托杆依次连接设置，并且任意两相邻的子托杆之间通过所述连接组件固定连接。2.如权利要求1所述的化学气相沉积设备的机械手，其特征在于，所述连接组件呈套筒结构，所述套筒结构的两端分别套设于所述两相邻的子托杆的端部上，并且所述套筒结构的顶部厚度略高于所述承载面。3.如权利要求2所述的化学气相沉积设备的机械手，其特征在于，所述套筒结构与所述两相邻的子托杆之间的连接方式为卡接、粘接或焊接。4.如权利要求1所述的化学气相沉积设备的机械手，其特征在于，所述连接组件包括第一组件及第二组件，所述第一组件固定设置于所述两相邻的子托杆的顶部，所述第二组件固定设置于所述两相邻的子托杆的底部。5.如权利要求4所述的化学气相沉积设备的机械手，其特征在于，所述第一组件的顶面高于所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：金憘槻，王明，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11