涂布器和涂布装置制造方法及图纸

提供涂布器，其具有：提供口，其提供涂布液；缝，其喷出涂布液，形成为在一个方向上较长；多个歧管，它们至少包含与所述提供口连接的上游侧歧管以及与所述缝连接的下游侧歧管，形成为在所述一个方向上较长；以及节流流路，其在所述一个方向上较长，将相邻的所述歧管之间连接起来，所述提供口与所述上游侧歧管在所述一个方向的中央连接，关于所述上游侧歧管的与所述一个方向垂直的截面上的截面积，所述一个方向的端部处的该截面积小于该一个方向的中央部处的该截面积，在将所述上游侧歧管与该上游侧歧管的相邻的所述歧管之间连接起来的所述节流流路中，所述端部处的流路长度大于等于所述中央部处的流路长度。

Coater and Coating Device

A coating device is provided, which has: a supply port providing coating liquid; a seam ejecting coating liquid forming a longer coating liquid in one direction; a plurality of manifolds comprising at least an upstream side manifold connected with the supply port and a downstream side manifold connected with the seam forming a longer coating liquid in one direction; and a throttling path, which is longer in the one direction, will be provided. Connecting the adjacent manifolds, the supply port and the upstream manifold are centrally connected in one direction. With respect to the cross-section area of the upstream manifold and the cross-section perpendicular to the one direction, the cross-section area at the end of the one direction is smaller than the cross-section area at the central part of the one direction, and the upstream manifold is disagreed with the upstream side. In the throttle path connected between adjacent manifolds of the tube, the length of the flow path at the end is greater than or equal to the length of the flow path at the central part.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】涂布器和涂布装置
本专利技术涉及喷出涂布液的涂布器和具有该涂布器的涂布装置。
技术介绍
作为用于对玻璃基板或膜等被涂布部件涂布涂布液的装置，例如已知有专利文献1所述的涂布装置，该涂布装置具备涂布器，该涂布器形成有喷出涂布液的缝。该涂布装置除了所述涂布器之外，还具有：送液单元，其对该涂布器输送涂布液；以及移动单元，其使涂布器与被涂布部件相对地移动。涂布器构成为在一个方向(以下称为Y轴方向)上较长，缝也形成为沿着Y轴方向较长。在该涂布器中还设置有：提供口，其从所述送液单元提供涂布液；以及在Y轴方向上较长的歧管(腔室)，其与该提供口连接，缝的一端侧(下游侧)作为与被涂布部件对置的喷出口，缝的另一端侧(上游侧)与歧管连接。所述提供口与歧管在Y轴方向的中央部连接，从该提供口被提供至歧管的涂布液朝向Y轴方向的两侧扩宽(分散)，在歧管内临时贮存之后(成为充满状态之后)通过缝，并从喷出口对被涂布部件喷出。一边通过所述移动单元使涂布器与被涂布部件相对地移动一边进行该喷出的动作，由此，能够在被涂布部件上形成涂膜。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2008-246464号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题如上所述，提供口与歧管在Y轴方向的中央部连接。因此，特别是当歧管在Y轴方向上变长时，有时从提供口流入至歧管的涂布液无法充分扩宽至Y轴方向的两个端部。在该情况下，容易在歧管的Y轴方向的两个端部滞留涂布液，歧管端部的液置换性变差。当在涂布器内液置换性较差时，涂布液有可能产生粘性变高或劣化等变性，由于该原因，有时给形成于被涂布部件的涂膜带来不良影响。因此，考虑通过改变歧管的形状而提高液置换性。但是，当改变歧管的形状时，预想到涂布液在歧管中的流动的情况会因此而发生变化。当涂布液在歧管中的流动的情况发生变化时，担心该变化会给缝中的涂布液流动带来影响，从而使形成于被涂布部件的涂膜的膜厚精度降低。例如，当为了使歧管的Y轴方向的两个端部的液置换性优化而采用用于提高该两个端部的流速的结构时，会产生如下的问题：歧管内的流速发生变化，从而对从缝喷出的涂布液的流量带来影响，所形成的膜厚的均匀性受损。因此，本专利技术的目的在于，使涂布器的歧管的端部的液置换性优化，并且防止形成于被涂布部件的涂膜的膜厚精度降低。用于解决课题的手段本专利技术的涂布器具有：提供口，其提供涂布液；缝，其喷出涂布液，形成为在一个方向上较长；多个歧管，它们至少包含与所述提供口连接的上游侧歧管以及与所述缝连接的下游侧歧管，形成为在所述一个方向上较长；以及节流流路，其在所述一个方向上较长，将相邻的所述歧管之间连接起来，所述提供口与所述上游侧歧管在所述一个方向的中央连接，关于所述上游侧歧管的与所述一个方向垂直的截面上的截面积，所述一个方向的端部处的该截面积小于该一个方向的中央部处的该截面积，在将所述上游侧歧管与该上游侧歧管的相邻的所述歧管之间连接起来的所述节流流路中，所述端部处的流路长度大于等于所述中央部处的流路长度。根据该涂布器，上游侧歧管的截面积在端部变小，因此在歧管内的涂液的扩宽性会降低，但截面积在歧管端部较小，因此即使流动的涂布液为少量的流量，也可确保流速，即能够使涂液置换性优化。在一般的歧管为一级的涂布器中，当在歧管内的涂布液的扩宽性降低时，产生如下的问题：从缝喷出的涂布液的流量在中央与端部不同，形成于被涂布部件的膜厚的均匀性受损，但根据该涂布器，歧管为多级，因此从提供口提供至上游侧歧管的涂布液在上游侧歧管中扩宽(分散)，通过节流流路进而在该上游侧歧管的相邻的歧管中扩宽(分散)，临时贮存于该歧管中。并且，涂布液最终从缝喷出。因此，能够使从缝喷出的涂布液的喷出状态(流量)在一个方向全长范围内尽可能地一样，能够使形成于被涂布部件的膜厚均匀。另外，在节流流路中，端部的流路长度大于等于中央部的流路长度，因此对于通过的涂布液而言，流动容易性在端部与中央部相同或者与中央部相比在端部不容易流动。因此，通过该节流流路的涂布液在歧管中不容易向阻碍扩宽的方向流动。即，能够维持歧管中的扩宽的作用。另外，所述流路长度是从上游侧歧管朝向该上游侧歧管的相邻的歧管的方向上的长度，例如在将上游侧歧管配置在上方、将该上游侧歧管的相邻的歧管配置在下方的涂布器的情况下，所述方向是上下方向。另外，在所述节流流路的所述端部的流路长度与所述中央部的流路长度相同的情况下，在节流流路中，对于通过的涂布液而言，流动容易性在端部与中央部相同。因此，能够维持歧管中的扩宽的作用。另外，在该情况下，优选所述上游侧歧管的上端的高度沿着所述一个方向是恒定的，并且该上游侧歧管的高度方向的尺寸在所述一个方向的全长范围内是恒定的。在该情况下，在上游侧歧管和该上游侧歧管的相邻的歧管中，通过涂布液向两侧扩展的作用(扩宽作用)，容易使有可能混入这些歧管的气泡集中于两个端部。因此，在这些歧管的两个端部分别设置用于排出空气的排气孔，从而容易将空气排出至涂布器外。另外，优选在所述多个歧管的各个中，关于与所述一个方向垂直的断面的截面积，所述一个方向的端部处的该截面积小于所述一个方向的中央部处的该截面积。在该情况下，能够在多个歧管中分别使端部的液置换性优化。另外，优选在所述歧管设置有三个以上、所述节流流路设置有比该歧管的数量少一个的数量的情况下，在该节流流路的各个中，所述端部处的流路长度大于等于所述中央部处的流路长度。在该情况下，分别通过多个节流流路的涂布液在歧管中不容易向阻碍扩宽的方向流动。另外，为了对于通过节流流路的涂布液而言，使流动容易性在端部与中央部相同，使所述端部处的流路长度与所述中央部处的流路长度相同即可。另外，本专利技术的涂布装置具有：所述涂布器，其对被涂布部件喷出涂布液；送液单元，其对所述涂布器输送涂布液；以及移动单元，其使所述涂布器与所述被涂布部件相对地移动。根据该涂布装置，能够使涂布器的歧管中的液置换性优化，并且能够防止形成于被涂布部件的涂膜的膜厚精度降低。专利技术效果根据本专利技术，能够使涂布器所具有的歧管的端部中的液置换性优化，并且能够防止形成于被涂布部件的涂膜的膜厚精度降低，能够使用该被涂布部件得到高品质的制品。附图说明图1是示出涂布装置的一个实施方式的概略结构图。图2是从正面观察涂布器的情况下的剖视图。图3是图2所示的涂布器的A3向视的剖视图。图4是图2所示的涂布器的A4向视的剖视图。图5是示出涂布器的变形例的图，是中央部的剖视图。图6是示出涂布器的变形例的图，是端部的剖视图。图7是从正面观察其他方式的涂布器的情况下的剖视图。图8是图7所示的涂布器的A8向视的剖视图。图9是图7所示的涂布器的A9向视的剖视图。图10是示出涂布器的变形例的图，是中央部的剖视图。图11是示出涂布器的变形例的图，是端部的剖视图。图12是从正面观察涂布器的情况下的剖视图。图13是图12所示的涂布器的A12向视的剖视图。图14是图12所示的涂布器的A14向视的剖视图。图15是涂布装置的剖视图。具体实施方式以下，根据附图对本专利技术的实施方式进行说明。[关于涂布装置的整体结构]本专利技术的涂布装置例如是用于对玻璃制造的基板或膜等被涂布部件涂布涂布液的装置。在图1所示的方式中，被涂布部件为矩形的基板W，涂布装置1对矩形的基板W的上表面(被涂布面)涂布涂布液。为此，涂布装置本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种涂布器，其具有：提供口，其提供涂布液；缝，其喷出涂布液，形成为在一个方向上较长；多个歧管，它们至少包含与所述提供口连接的上游侧歧管以及与所述缝连接的下游侧歧管，形成为在所述一个方向上较长；以及节流流路，其在所述一个方向上较长，将相邻的所述歧管之间连接起来，所述提供口与所述上游侧歧管在所述一个方向的中央连接，关于所述上游侧歧管的与所述一个方向垂直的截面上的截面积，所述一个方向的端部处的该截面积小于该一个方向的中央部处的该截面积，在将所述上游侧歧管与该上游侧歧管的相邻的所述歧管之间连接起来的所述节流流路中，所述端部处的流路长度大于等于所述中央部处的流路长度。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.06.22 JP 2016-1236951.一种涂布器，其具有：提供口，其提供涂布液；缝，其喷出涂布液，形成为在一个方向上较长；多个歧管，它们至少包含与所述提供口连接的上游侧歧管以及与所述缝连接的下游侧歧管，形成为在所述一个方向上较长；以及节流流路，其在所述一个方向上较长，将相邻的所述歧管之间连接起来，所述提供口与所述上游侧歧管在所述一个方向的中央连接，关于所述上游侧歧管的与所述一个方向垂直的截面上的截面积，所述一个方向的端部处的该截面积小于该一个方向的中央部处的该截面积，在将所述上游侧歧管与该上游侧歧管的相邻的所述歧管之间连接起来的所述节流流路中，所述端部处的流路长度大于等于所述中央部处的流路长度。2.根据权利要求1所述的涂布器，其中，所述节流流路的所述端部处的流路长度与所述中央部处的流路长度...

【专利技术属性】
技术研发人员：堀内展雄，伊藤祯彦，谷野圣，西野聪，
申请(专利权)人：东丽工程株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP