一种晶圆流片生产用清洗装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及晶圆流片生产附属装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆流片生产用清洗装置，其可方便对酒精进行使用，提高使用性；同时方便对清洗后掉落的脏物进行清理，降低劳动程度；且可无需手按晶圆流片进行固定，使清洗刷和清洗棉球能同时进行使用，提高清洗效率，增强使用效果；包括工作台、放置盒、放置架、清洗刷和多组清洗棉球；还包括按压泵，按压泵输出端位于放置架正上方；还包括盛放盒和支块，盛放盒顶端设置有盛放槽；还包括前支撑件和后支撑件，放置架包括左调节件、左固定件、左转动轴、右调节件、右固定件和右转动轴，左转动轴和右转动轴分别插入至左连接槽和右连接槽内部。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆流片生产用清洗装置
本专利技术涉及晶圆流片生产附属装置的
，特别是涉及一种晶圆流片生产用清洗装置。
技术介绍
众所周知，晶圆流片生产用清洗装置是一种用于晶圆流片生产过程中，对晶圆流片上沾染的油墨进行清洗，以便后续对其进行焊接的辅助装置，其在晶圆流片生产领域中得到广泛的使用；现有的晶圆流片生产用清洗装置包括工作台、放置盒、放置架、清洗刷和多组清洗棉球，放置架设置在工作台顶端前半区域上，放置盒设置在工作台顶端后侧，且放置盒内设置有放置腔，并在放置腔内盛放有酒精，放置盒顶端设置有取放口，并在取放口上设置有挡盖，清洗刷和多组清洗棉球均放置在工作台顶端；现有的晶圆流片生产用清洗装置使用时只需将晶圆流片放置在放置架上，然后一手按压晶圆流片进行固定，另一手用镊子夹住清洗棉球并沾取放置盒内的酒精，然后通过清洗棉球和清洗刷对晶圆流片上的油墨进行清洗即可；现有的晶圆流片生产用清洗装置使用中发现，为避免酒精快速挥发，清洗棉球每次沾取酒精时均需来回开闭挡盖，较为麻烦，使用性有限；并且清洗下来的脏物易直接落到工作台上，导致后续清洗时较为麻烦，劳动程度较高；且清洗时需有一手对晶圆流片进行按压固定，导致清洗刷和清洗棉球只能单独使用，不能同时进行使用，影响清洗效率，使用效果有限。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本专利技术提供一种可方便对酒精进行使用，提高使用性；同时方便对清洗后掉落的脏物进行清理，降低劳动程度；且可无需手按晶圆流片进行固定，使清洗刷和清洗棉球能同时进行使用，提高清洗效率，增强使用效果的晶圆流片生产用清洗装置。本专利技术的一种晶圆流片生产用清洗装置，包括工作台、放置盒、放置架、清洗刷和多组清洗棉球，放置架设置在工作台顶端前半区域上，放置盒设置在工作台顶端后侧，且放置盒内设置有放置腔，并在放置腔内盛放有酒精，放置盒顶端设置有取放口；还包括按压泵，所述按压泵设置在取放口上，且按压泵输出端位于放置架正上方，按压泵输入端位于放置腔内；还包括盛放盒和支块，所述支块设置在工作台顶端，盛放盒底端设置有插槽，且所述支块顶端插入至插槽内部，盛放盒顶端设置有盛放槽；还包括前支撑件和后支撑件，所述放置架包括左调节件、左固定件、左转动轴、右调节件、右固定件和右转动轴，左调节件和右调节件分别设置在工作台顶端左部区域和右部区域上，且左调节件和右调节件分别位于盛放盒左右两侧，所述左转动轴和右转动轴分别设置在左调节件和右调节件上，左固定件左端中部和右固定件右端中部分别设置有左连接槽和右连接槽，且所述左转动轴和右转动轴分别插入至左连接槽和右连接槽内部，左固定件左端外侧和右固定件右端外侧分别与左调节件和右调节件接触，所述前支撑件和后支撑件分别设置在工作台顶端前半区域和后半区域上。本专利技术的一种晶圆流片生产用清洗装置，所述前支撑件包括两组前螺纹管、两组前螺纹杆、两组前滚珠轴承和前支撑板，工作台顶端左前区域和右前区域上均设置有前安装槽，两组前滚珠轴承分别设置在两组前安装槽内，所述两组前螺纹管底端分别插入至两组前滚珠轴承内部，两组前螺纹杆底端分别插入并螺装在两组前螺纹管顶端内部，所述前支撑板位于盛放盒上方，且前支撑板底端左右两侧分别与两组前螺纹杆顶端连接。本专利技术的一种晶圆流片生产用清洗装置，所述后支撑件包括两组后螺纹管、两组后螺纹杆、两组后滚珠轴承和后支撑板，工作台顶端左后区域和右后区域上均设置有后安装槽，两组后滚珠轴承分别设置在两组后安装槽内，所述两组后螺纹管底端分别插入至两组后滚珠轴承内部，两组后螺纹杆底端分别插入并螺装在两组后螺纹管顶端内部，所述后支撑板位于盛放盒上方，且后支撑板底端左右两侧分别与两组后螺纹杆顶端连接。本专利技术的一种晶圆流片生产用清洗装置，所述左调节件包括左螺纹管、左螺纹杆、左滚珠轴承和左支块，工作台顶端左半区域上设置有左安装槽，左滚珠轴承设置在左安装槽内，所述左螺纹管底端插入至左滚珠轴承内部，左螺纹杆底端插入并螺装在左螺纹管顶端内部，所述左支块设置在左螺纹杆顶端，左转动轴设置在左支块右端。专利技术的一种晶圆流片生产用清洗装置，所述左固定件包括左连接块、左上连接板、左下连接板、第一螺纹杆、第一转动块和第一固定板，所述左连接块左端外侧与左支块右端外侧接触，左上连接板和左下连接板分别设置在左连接块顶端和底端上，所述左上连接板上设置有第一通孔，并在第一通孔内侧壁上设置有内螺纹结构，且所述第一螺纹杆底端穿过并螺装在第一通孔上，所述第一固定板位于左上连接板下方，且第一固定板顶端与第一螺纹杆底端连接，所述第一转动块设置在第一螺纹杆顶端。本专利技术的一种晶圆流片生产用清洗装置，所述右调节件包括右螺纹管、右螺纹杆、右滚珠轴承和右支块，工作台顶端右半区域上设置有右安装槽，右滚珠轴承设置在右安装槽内，所述右螺纹管底端插入至右滚珠轴承内部，右螺纹杆底端插入并螺装在右螺纹管顶端内部，所述右支块设置在右螺纹杆顶端，右转动轴设置在右支块右端。本专利技术的一种晶圆流片生产用清洗装置，所述右固定件包括右连接块、右上连接板、右下连接板、第二螺纹杆、第二转动块和第二固定板，所述右连接块右端外侧与右支块左端外侧接触，右上连接板和右下连接板分别设置在右连接块顶端和底端上，所述右上连接板上设置有第二通孔，并在第二通孔内侧壁上设置有内螺纹结构，所述第二螺纹杆底端穿过并螺装在第二通孔上，所述第二固定板位于右上连接板下方，且第二固定板顶端与第二螺纹杆底端连接，所述第二转动块设置在第二螺纹杆顶端。本专利技术的一种晶圆流片生产用清洗装置，还包括两组第一防滑板和两组第二防滑板，所述两组第一防滑板分别设置在左下连接板顶端和右下连接板顶端上，两组第二防滑板分别设置在第一固定板底端和第二固定板底端上。本专利技术的一种晶圆流片生产用清洗装置，还包括两组第一限位环、两组第二限位环和两组第三限位环，所述两组前螺纹管下半区域外侧壁上均设置有第一环形凹槽，两组第一限位环分别套装在两组第一环形凹槽上，且两组第一限位环底端外侧分别与工作台顶端左前区域和右前区域连接，所述两组后螺纹管下半区域外侧壁上均设置有第二环形凹槽，两组第二限位环分别套装在两组第二环形凹槽上，且两组第二限位环底端外侧分别与工作台顶端左后区域和右后区域连接，所述左螺纹管和右螺纹管下半区域外侧壁上均设置有第三环形凹槽，两组第三限位环分别套装在两组第三环形凹槽上，且两组第三限位环底端外侧分别与工作台顶端左半区域和右半区域连接。本专利技术的一种晶圆流片生产用清洗装置，还包括收纳盒和拉手，所述工作台前端上半区域上设置有放置槽，收纳盒放置在放置槽内，所述收纳盒顶端设置有收纳槽，清洗刷和多组清洗棉球均放置在收纳槽内，所述拉手设置在收纳盒前端，且拉手位于放置槽内。与现有技术相比本专利技术的有益效果为：其可通过下压按压泵使其将放置盒内的酒精抽出并通过其输出端喷出，从而方便对酒精进行使用，提高使用性；同时可通过盛放盒对清洗后掉落的脏物进行收集，并通过将盛放盒从工作台上取下，从而方便对其进行清理，降低劳动程度；且可通过左固定件和右固定件对晶圆流片进行固定，从而无需手按晶圆流片进行固定，使清洗刷和清洗棉球能同时进行使用，提高清洗效率，同时通过控制左调节件和右调节件对左固定件和右固定件位置进行调整，从而可根据需求对晶圆流片固定后的位置进行调整，增强使用效果。附图说明图1是本专利技术的结构本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆流片生产用清洗装置，包括工作台（1）、放置盒（2）、放置架、清洗刷（3）和多组清洗棉球（4），放置架设置在工作台顶端前半区域上，放置盒设置在工作台顶端后侧，且放置盒内设置有放置腔，并在放置腔内盛放有酒精，放置盒顶端设置有取放口；其特征在于，还包括按压泵（30），按压泵设置在取放口上，且按压泵输出端位于放置架正上方，按压泵输入端位于放置腔内；还包括盛放盒（5）和支块（6），支块设置在工作台顶端，盛放盒底端设置有插槽，且支块顶端插入至插槽内部，盛放盒顶端设置有盛放槽；还包括前支撑件和后支撑件（7），放置架包括左调节件（8）、左固定件、左转动轴（9）、右调节件、右固定件（10）和右转动轴，左调节件和右调节件分别设置在工作台顶端左部区域和右部区域上，且左调节件和右调节件分别位于盛放盒左右两侧，左转动轴和右转动轴分别设置在左调节件和右调节件上，左固定件左端中部和右固定件右端中部分别设置有左连接槽和右连接槽，且左转动轴和右转动轴分别插入至左连接槽和右连接槽内部，左固定件左端外侧和右固定件右端外侧分别与左调节件和右调节件接触，前支撑件和后支撑件分别设置在工作台顶端前半区域和后半区域上。

【技术特征摘要】
1.一种晶圆流片生产用清洗装置，包括工作台（1）、放置盒（2）、放置架、清洗刷（3）和多组清洗棉球（4），放置架设置在工作台顶端前半区域上，放置盒设置在工作台顶端后侧，且放置盒内设置有放置腔，并在放置腔内盛放有酒精，放置盒顶端设置有取放口；其特征在于，还包括按压泵（30），按压泵设置在取放口上，且按压泵输出端位于放置架正上方，按压泵输入端位于放置腔内；还包括盛放盒（5）和支块（6），支块设置在工作台顶端，盛放盒底端设置有插槽，且支块顶端插入至插槽内部，盛放盒顶端设置有盛放槽；还包括前支撑件和后支撑件（7），放置架包括左调节件（8）、左固定件、左转动轴（9）、右调节件、右固定件（10）和右转动轴，左调节件和右调节件分别设置在工作台顶端左部区域和右部区域上，且左调节件和右调节件分别位于盛放盒左右两侧，左转动轴和右转动轴分别设置在左调节件和右调节件上，左固定件左端中部和右固定件右端中部分别设置有左连接槽和右连接槽，且左转动轴和右转动轴分别插入至左连接槽和右连接槽内部，左固定件左端外侧和右固定件右端外侧分别与左调节件和右调节件接触，前支撑件和后支撑件分别设置在工作台顶端前半区域和后半区域上。2.如权利要求1所述的一种晶圆流片生产用清洗装置，其特征在于，所述前支撑件包括两组前螺纹管、两组前螺纹杆（11）、两组前滚珠轴承（12）和前支撑板（13），工作台顶端左前区域和右前区域上均设置有前安装槽，两组前滚珠轴承分别设置在两组前安装槽内，两组前螺纹管底端分别插入至两组前滚珠轴承内部，两组前螺纹杆底端分别插入并螺装在两组前螺纹管顶端内部，前支撑板位于盛放盒上方，且前支撑板底端左右两侧分别与两组前螺纹杆顶端连接。3.如权利要求2所述的一种晶圆流片生产用清洗装置，其特征在于，所述后支撑件包括两组后螺纹管（14）、两组后螺纹杆、两组后滚珠轴承和后支撑板（15），工作台顶端左后区域和右后区域上均设置有后安装槽，两组后滚珠轴承分别设置在两组后安装槽内，两组后螺纹管底端分别插入至两组后滚珠轴承内部，两组后螺纹杆底端分别插入并螺装在两组后螺纹管顶端内部，后支撑板位于盛放盒上方，且后支撑板底端左右两侧分别与两组后螺纹杆顶端连接。4.如权利要求3所述的一种晶圆流片生产用清洗装置，其特征在于，所述左调节件包括左螺纹管（16）、左螺纹杆、左滚珠轴承（17）和左支块，工作台顶端左半区域上设置有左安装槽，左滚珠轴承设置在左安装槽内，左螺纹管底端插入至左滚珠轴承内部，左螺纹杆底端插入并螺装在左螺纹管顶端内部，左支块设置在左螺纹杆顶端，左转动轴设置在左支块右端。5.如权利要求4所述的一种晶圆流片生产用清洗装置，其特征在于，所述左固定件包括左连接块、左上连接板（18...

【专利技术属性】
技术研发人员：王昌华，
申请(专利权)人：江苏英锐半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32