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本发明涉及晶圆流片生产附属装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆流片生产用清洗装置，其可方便对酒精进行使用，提高使用性；同时方便对清洗后掉落的脏物进行清理，降低劳动程度；且可无需手按晶圆流片进行固定，使清洗刷和清洗棉球能同时进行使用，提高清洗效...
该专利属于江苏英锐半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏英锐半导体有限公司授权不得商用。

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