一种晶圆流片用散热性能检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及晶圆流片检测装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆流片用散热性能检测装置，其可节约水资源，提高使用性；同时方便移动检测头使其与样品进行接触，提高使用效果；且减轻余热对样品散热效果的影响，提高使用可靠性；同时方便将样品从限位环内取出，提高使用效果；包括工作台、支撑架、三组检测头、三组显示器、进水管、出水管和三组限位环，三组显示器分别与三组检测头电连接；还包括连通管、抽液泵和加热器，进水管输入端和出水管输出端分别与抽液泵输入端和加热器输出端连接；支撑架包括四组第一伸缩电机和顶板；还包括放置盒和调节件，放置盒底端与工作台顶端接触；还包括移动件，限位环底端与放置槽内底壁接触。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆流片用散热性能检测装置
本专利技术涉及晶圆流片检测装置的
，特别是涉及一种晶圆流片用散热性能检测装置。
技术介绍
众所周知，晶圆流片用散热性能检测装置是一种用于晶圆流片生产过程中，对其散热性能进行检测，以保证其质量的辅助装置，其在晶圆流片质检领域中得到广泛的使用；现有的晶圆流片用散热性能检测装置包括工作台、支撑架、三组检测头、三组显示器、进水管、出水管和三组限位环，支撑架设置在工作台顶端，三组检测头分别设置在支撑架内顶壁左半区域、右半区域和中部上，三组显示器分别设置在支撑架顶端左半区域、右半区域和中部上，且三组显示器分别与三组检测头电连接，三组限位环分别设置在工作台顶端左半区域、右半区域和中部上，且三组限位环分别位于三组检测头正下方，工作台上半区域上设置有放置腔，进水管和出水管分别设置在工作台右端上侧和左端上侧上，且进水管和出水管均与放置腔相通；现有的晶圆流片用散热性能检测装置使用时只需将三组检测样品分别放入三组限位环内进行固定，并使三组检测头分别与三组检测样品接触，之后通过进水管内放置腔内输入热水，使热水的热量传送到检测样品上，同时通过检测头对样品温度进行检测，当达到本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆流片用散热性能检测装置，包括工作台（1）、支撑架、三组检测头（2）、三组显示器（3）、进水管（4）、出水管（5）和三组限位环（6），支撑架设置在工作台顶端，三组检测头分别设置在支撑架内顶壁左半区域、右半区域和中部上，三组显示器分别设置在支撑架顶端左半区域、右半区域和中部上，且三组显示器分别与三组检测头电连接，三组限位环分别位于三组检测头正下方，工作台上半区域上设置有放置腔，进水管和出水管分别设置在工作台右端上侧和左端上侧上，且进水管和出水管均与放置腔相通；其特征在于，还包括连通管（7）、抽液泵（8）和加热器（9），抽液泵和加热器分别设置在工作台左端上半区域和右端上半区域上，且进水管...

【技术特征摘要】
1.一种晶圆流片用散热性能检测装置，包括工作台（1）、支撑架、三组检测头（2）、三组显示器（3）、进水管（4）、出水管（5）和三组限位环（6），支撑架设置在工作台顶端，三组检测头分别设置在支撑架内顶壁左半区域、右半区域和中部上，三组显示器分别设置在支撑架顶端左半区域、右半区域和中部上，且三组显示器分别与三组检测头电连接，三组限位环分别位于三组检测头正下方，工作台上半区域上设置有放置腔，进水管和出水管分别设置在工作台右端上侧和左端上侧上，且进水管和出水管均与放置腔相通；其特征在于，还包括连通管（7）、抽液泵（8）和加热器（9），抽液泵和加热器分别设置在工作台左端上半区域和右端上半区域上，且进水管输入端和出水管输出端分别与抽液泵输入端和加热器输出端连接，连通管设置在抽液泵的底部输出端上，且连通管与加热器相通；所述支撑架包括四组第一伸缩电机（10）和顶板（11），四组第一伸缩电机分别设置在工作台顶端左前侧、左后侧、右前侧和右后侧上，并在四组第一伸缩电机的顶部输出端上均设置有第一驱动杆（12），且四组第一驱动杆顶端分别与顶板底端左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接；还包括放置盒（13）和调节件，调节件设置在顶板上，放置盒设置在调节件上，放置盒顶端设置有放置槽，且放置盒底端与工作台顶端接触；还包括移动件（14），移动件设置在放置槽内，且移动件与限位环连接，限位环底端与放置槽内底壁接触。2.如权利要求1所述的一种晶圆流片用散热性能检测装置，其特征在于，所述调节件包括四组第二伸缩电机（15），四组第二伸缩电机分别设置在顶板底端左前区域、左后区域、右前区域和右后区域上，并在四组第二伸缩电机的底部输出端上均设置有第二驱动杆（16），且四组第二驱动杆底端分别与放置盒顶端前侧左半区域和右半区域以及顶端后侧左半区域和右半区域连接。...

【专利技术属性】
技术研发人员：王昌华，
申请(专利权)人：江苏英锐半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32