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LED扩晶机制造技术

技术编号:19906561 阅读:29 留言:0更新日期:2018-12-26 03:53
本发明专利技术公开了一种LED扩晶机,包括基座、上料机构、LED扩晶机构及切割机构,所述LED扩晶机构包括用于固定晶片膜的固定装置和拉伸装置,所述上料机构包括可上下移动的上料盘、送料装置、抽气机构及用于驱动上料盘转动的第一驱动装置,所述上料盘设有多个圆孔,所述圆孔周围设有多个吸盘;所述切割机构包括边缘设有刀刃的压盖和驱动压盖上下移动的第二驱动机构,本发明专利技术自动化程度高,加工效率高,避免加工风险。

【技术实现步骤摘要】
LED扩晶机
本专利技术属于LED生产
,尤其是涉及一种LED扩晶机。
技术介绍
在现有技术中,在LED晶片的生产过程中,LED晶粒的检测和分选是一道十分重要的工序,为了易于对LED晶粒的检测和分选,必须对LED晶圆的载体——晶片膜进行扩张,使得贴在晶片膜上已经切割好的晶粒均匀扩张,一种LED扩晶机应需而生。现有的LED扩晶机大多需要人工将晶片膜放入扩晶盘,加工完成后,在人工取出。工作效率低,且人工取放存在一定危险性。
技术实现思路
本专利技术为了克服现有技术的不足,提供一种自动上料、工作效率高以及危险性低的LED扩晶机。为了实现上述目的,本专利技术采用以下技术方案:一种LED扩晶机,包括基座、上料机构、LED扩晶机构及切割机构,所述LED扩晶机构包括用于固定晶片膜的固定装置和拉伸装置,所述上料机构包括可上下移动的上料盘、送料装置、抽气机构及用于驱动上料盘转动的第一驱动装置,所述上料盘设有多个圆孔,所述圆孔周围设有多个吸盘;所述切割机构包括边缘设有刀刃的压盖和驱动压盖上下移动的第二驱动机构;通过抽气机构抽气使吸盘具有强力吸力,将晶片膜固定在上料盘上,在通过第一驱动装置驱动上料盘转动,将晶片膜运送到固定装置进行固定,继而进行加工,达到了全自动上料,无需人工操作,大大加快了工作效率,而且避免了人工上料的风险。进一步,所述送料装置包括放置板、设有腔体的底座、设有凸台部的连接板、用于减缓放置板回弹速度的缓冲件及弹性件,所述底座设有延伸部,所述连接板可相对底座滑动,所述缓冲件一端固连于放置板,另一端固定连接于底座延伸部,所述弹性件一端固连于连接板底部,另一端固连于底座腔体底部;通过设置弹性件可以为送料装置提供良好的缓冲性能,既可以防止上下移动的上料盘损坏晶片膜,还可以使晶片膜和上料盘能保持紧贴,防止晶片膜发生褶皱,吸取晶片膜时晶圆不处于中心位置,加工时会损坏晶圆;通过延伸部和凸台以及放置板的配合可控制连接板上下移动范围,起到限位作用,通过设置波纹型的橡胶管,可以减缓放置板回弹速度,防止晶片膜由于惯性离开放置板,晶片膜位置发生移动,影响加工效果。进一步,所述缓冲件为橡胶波纹管,所述橡胶波纹管的侧壁设有开口;放置板回弹时,会压缩橡胶波纹管,由于橡胶波纹管侧壁只设有一个开口,波纹管内的空气会排除较慢,放置板的回弹速度会减慢,防止晶片膜由于惯性离开放置板,晶片膜位置发生移动,影响加工效果。进一步,所述吸盘包括连接管、盘体及固定连接于盘体底部上的隔离板,所述连接管和盘体相连通,所述多个吸盘沿圆孔圆周方向间隔均匀分布,所述隔离板表面均匀分布有多个吸孔;通过吸盘可以将晶片膜固定在上料盘下方,均匀分布的吸盘可以使固定效果更好,保证晶片膜加工时位置的精准性;设有圆孔的隔离板既可以加大吸盘吸力,还可以防止吸盘将晶片膜吸入吸盘内部,若晶片膜被吸入吸盘内,晶片膜的位置会发生偏移,晶圆的位置会偏离中心位置,影响拉伸效果。进一步,所述抽气装置包括设于所述上料盘上方的抽气泵、一端固连于所述抽气泵输出端的抽气管及设于所述上料盘内的通气管;所述抽气管另一端和所述通气管相连,所述连接管和通气管相连通;所述抽气管设有电磁阀和通气孔,所述通气孔设于电磁阀左侧;通过电磁阀可以控制抽气管开关,进而控制上料盘吸取晶片膜和丢弃废料,无需通过开关抽气泵来控制,避免抽气泵损坏;抽气泵一直保持工作状态,在电磁阀闭合时,抽气泵可通过抽气孔继续抽取空气,防止抽气泵损坏。进一步,所述固定装置包括设于基座上方的下压板和可上下移动的上压板,所述上压板设于下压板正上方,上压板和下压板的中部对应设置有通孔,所述上压板的直径小于所述圆孔的内径;通过上压板和下压板可对晶片膜固定,切上、下压板设有圆孔便于进行切割上压板的直径小于所述圆孔的内径,避免上料盘影响晶片膜固定。进一步,所述上压板边缘设置有第一橡胶条,所述下压板设置有第二橡胶条,所述第一橡胶条和第二橡胶条均设有凹槽和凸部,所述第一橡胶条的凸部和第二橡胶条的凹槽可相互配合;由于固定晶片膜时上压板需要进行下压,具有较大的冲击力,设置橡胶可以减小冲击力,防止设备损坏;橡胶条设有凹槽,且上压板和下压板的橡胶条可以相互啮合,增大橡胶条与晶片膜的接触面积,提高了固定力,防止晶片膜在加工时左右移动。进一步,所述拉伸装置包括扩晶盘、设于扩晶盘下表面中部的凸台及驱动扩晶盘上下移动的气缸,所述扩晶盘上表面设有阶梯;扩晶盘上表面设有的阶梯便于切割。进一步,所述阶梯的直径等于压盖的内径,所述刀刃横切面为直角三角形;刀刃横截面为直角三角形可以使刀刃紧贴扩晶盘外壁,切割更加简单,且切割会更加平整。进一步,述取料吸盘由橡胶制成,所述压盖上设有与取料吸盘连通的气管,所述气管通过一螺旋状的导气管连接有气泵,所述导气管与气管连接的一端设有第一凸部和第二凸部,所述气管与导气管连接的一端设有与第一凸部、第二凸部相配合的第三凸部;通过取料吸盘可以将切割完成后的晶片膜取出;所述取料吸盘有软性橡胶制成,压盖在下压切割时,取料吸盘随之发生形变,将晶片膜吸附,无需提供额外的驱动力;通过第一、第二凸部和第三、第四凸部配合,可以使波纹管内卡与气管,防止压盖在移动过程中,波纹管被拔出;导气管螺旋设置,可以使导气管跟随压盖移动,且初始状态的导气管不会影响上压板固定晶片膜。综上所述,本专利技术通过抽气机构抽气使吸盘具有强力吸力,将晶片膜固定在上料盘上,在通过第一驱动装置驱动上料盘转动,将晶片膜运送到固定装置进行固定,继而进行加工,达到了全自动上料,无需人工操作,大大加快了工作效率,而且避免了人工上料的风险。附图说明图1为本专利技术的结构示意图。图2为本专利技术送料装置的结构示意图。图3为本专利技术上料盘的剖视图。图4为本专利技术隔离板的结构示意图。图5为本专利技术压盖的结构示意图。图6为图3的A处的放大图。图7为本专利技术上料盘的结构示意图。图8为图5的B处的放大图。图9为本专利技术上压板的剖视图。图10为本专利技术下压板的剖视图。图11为图2的C处的放大示意图。图12为导气管的部分结构示意图。图13为气管的部分结构示意图。图14为本专利技术拉伸装置的结构示意图。图15为本专利技术第二种实施例的结构示意图。图16为本专利技术校准装置的结构示意图。图17为校准装置的剖视图。图18为本专利技术第二传送带的结构示意图。图19为本专利技术出料盘的结构示意图。图20为本专利技术出料盘的剖视图。图21为图20的A出的放大图。图22为本专利技术第一隔离板的结构示意图。图23为图20的C出的放大图。图24为本专利技术第三种实施例的结构示意图。图25为本专利技术送料部件的剖视图。图26为图25的C处的放大图。具体实施方式为了使本
的人员更好的理解本专利技术方案,下面将结合本专利技术实施例中的附图,对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述。如图1-14所示,一种LED扩晶机,包括基座1、上料机构、LED扩晶机构及切割机构,基座用于固定整体结构,并充当工作台;所述上料机构包括上料盘2、送料装置3、抽气机构及用于驱动上料盘转动的第一驱动装置,所述上料盘2用于移动晶片膜,所述送料装置3用于和上料盘相配合,便于上料盘吸取晶片膜;所述抽气机构用于为上料盘吸取晶片膜提供动力,所述第一驱动装置用于驱动上料盘转动,实现上料功能;所述上料盘设有多个圆孔21,圆孔周围设有多个吸盘22,通本文档来自技高网
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【技术保护点】
1.一种LED扩晶机,包括基座(1)、上料机构、LED扩晶机构及切割机构,所述LED扩晶机构包括用于固定晶片膜的固定装置和拉伸装置,其特征在于:所述上料机构包括可上下移动的上料盘(2)、与所述上料盘配合的送料装置(3)、抽气装置及用于驱动上料盘转动的第一驱动装置,所述上料盘设有多个圆孔(21),所述圆孔周围设有多个吸盘(22);所述切割机构包括边缘设有刀刃(41)的压盖(4)和驱动压盖上下移动的第二驱动装置,所述压盖(4)内设有取料吸盘(42)。

【技术特征摘要】
1.一种LED扩晶机,包括基座(1)、上料机构、LED扩晶机构及切割机构,所述LED扩晶机构包括用于固定晶片膜的固定装置和拉伸装置,其特征在于:所述上料机构包括可上下移动的上料盘(2)、与所述上料盘配合的送料装置(3)、抽气装置及用于驱动上料盘转动的第一驱动装置,所述上料盘设有多个圆孔(21),所述圆孔周围设有多个吸盘(22);所述切割机构包括边缘设有刀刃(41)的压盖(4)和驱动压盖上下移动的第二驱动装置,所述压盖(4)内设有取料吸盘(42)。2.根据权利要求1所述的LED扩晶机,其特征在于:所述送料装置(3)包括放置板(31)、设有腔体的底座(33)、设有凸台部(321)的连接板(32)、用于减缓放置板回弹速度的缓冲件(35)及弹性件(34),所述底座设有延伸部,所述连接板(32)可相对底座滑动,所述缓冲件一端固连于放置板(31),另一端固定连接于底座延伸部,所述弹性件(34)一端固连于连接板底部,另一端固连于底座腔体底部。3.根据权利要求1所述的LED扩晶机,其特征在于:所述缓冲件(35)为橡胶波纹管,所述橡胶波纹管的侧壁设有开口(351)。4.根据权利要求1所述的LED扩晶机,其特征在于:所述吸盘(22)包括连接管(221)、盘体(222)及固定连接于盘体底部上的隔离板(223),所述连接管(221)和盘体(222)相连通,所述多个吸盘沿圆孔圆周方向间隔均匀分布,所述隔离板表面均匀分布有多个吸孔(224)。5.根据权利要求1所述的LED扩晶机,其特征在于:所述抽气装置包括设于所述上料盘(2)上方的抽气泵(6)、一端固连于所述抽气泵(6)输出端的抽...

【专利技术属性】
技术研发人员:戴先富
申请(专利权)人:戴先富
类型:发明
国别省市:浙江,33

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