本发明专利技术公开了一种晶圆测试设备自动精确喷油装置，该装置包括：精确供油装置和储油罐，精确供油装置用于控制储油罐的供油量，精确供油装置包括设置于壳体内的驱动轴和从动滚轮以及连接软管，从动滚轮在驱动轴的带动下绕驱动轴的轴心作圆周转动并间歇挤压连接软管，使得连接软管内部形成负压，将测试油从供油管抽出并压入出油管，之后流入储油罐，储油罐的一侧端连接高压气管，储油罐的底部接口连接喷嘴，高压气管内的气体输入到储油罐内并推动测试油经喷嘴喷涂到晶圆表面。本发明专利技术提供的晶圆测试设备自动精确喷油装置，能够实现晶圆表面测试油的自动化喷涂，具有自动化水平高、控油精确、操作简单、省时省力、节约成本的特点。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆测试设备自动精确喷油装置
本专利技术涉及二极管晶圆测试
，特别是涉及一种晶圆测试设备自动精确喷油装置。
技术介绍
目前，二极管晶圆测试反向电压时，常常因为高压作用将空气电离，产生打火现象，导致测试数据错误或损坏晶圆。当前采取防止打火的方法是向测试区域吹入氮气，该方法对电压值低于1200V时有效，但电压值高于1200V时吹氮气方法无效，此时需要手动对晶圆喷涂防电离测试油。手动喷涂测试油的弊端是需要人工操作，无法定量控制给油量，容易造成测试油的浪费，增加测试成本，也无法实现晶圆产品的自动化测试。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种晶圆测试设备自动精确喷油装置，能够实现晶圆表面测试油的自动化喷涂，具有自动化水平高、控油精确、操作简单、省时省力的特点。为实现上述目的，本专利技术提供了如下方案：一种晶圆测试设备自动精确喷油装置，该装置包括：精确供油装置和储油罐，所述精确供油装置用于控制所述储油罐的供油量，所述精确供油装置包括设置于壳体内的驱动轴和从动滚轮以及连接软管，所述驱动轴由步进电机驱动，所述连接软管的进口端与供油管相连接，所述从动滚轮与所述驱动轴的周壁固定连接，所述连接软管的出口端穿过所述从动滚轮与所述壳体内侧壁形成的间隙后经过出油管连接所述储油罐的顶部接口，所述从动滚轮在所述驱动轴的带动下绕所述驱动轴的轴心作圆周转动并间歇挤压所述连接软管，使得所述连接软管内部形成负压，将测试油从所述供油管抽出并压入所述出油管，之后流入所述储油罐，所述储油罐的一侧端连接高压气管，所述储油罐的底部接口连接喷嘴，所述高压气管内的气体输入到所述储油罐内并推动测试油经所述喷嘴喷涂到晶圆表面。可选的，所述连接软管的出口端安装有逆止阀，所述逆止阀用于确保测试油单向流动。可选的，所述从动滚轮设置为3个，3个所述从动滚轮围绕所述驱动轴的轴心均匀设置在所述驱动轴的周壁，3个所述从动滚轮在所述驱动轴的带动下转动，依次挤压所述连接软管。可选的，所述壳体上设置有进孔和出孔，所述连接软管的进口端和出口端分别固定设置在所述进孔和出孔。可选的，所述晶圆测试设备自动精确喷油装置还包括控制器，所述控制器与所述步进电机相连，所述步进电机控制所述步进电机的启停及转速。可选的，所述晶圆测试设备自动精确喷油装置还包括氮气供应装置，所述高压气管连接所述氮气供应装置，所述高压气管上设置有电磁阀，所述电磁阀与所述控制器相连接，所述控制器根据设定时间控制所述电磁阀的关闭，所述氮气供应装置中的氮气在所述电磁阀的控制下经所述高压气管输入到所述储油罐内。可选的，所述晶圆测试设备自动精确喷油装置还包括盛油容器，所述盛油容器通过所述供油管与所述精确供油装置相连接，所述盛油容器内部设置有低液位油量传感器，所述低液位油量传感器与所述控制器相连接，所述控制器通过所述低液位油量传感器监测所述盛油容器内部的油量。可选的，所述晶圆测试设备自动精确喷油装置还包括报警器，所述报警器与所述控制器相连接，当所述低液位油量传感器采集的数值达到设定值，所述控制器控制所述报警器发出报警信号。根据本专利技术提供的具体实施例，本专利技术公开了以下技术效果：本专利技术提供的晶圆测试设备自动精确喷油装置，设置有精确供油装置，精确供油装置由步进电机、驱动轴、从动滚轮等组成，在步进电机驱动下，从动滚轮在驱动轴带动下转动，间歇性挤压连接软管，使得连接软管内部形成负压，将测试油从供油管抽出并压入出油管，从而利用管道蠕动技术，将微量测试油传输到储油罐内，可以做到每次供油0.01ml，实现供油量的精确控制；从动滚轮能够绕其轴心自动转动，减小了与连接软管之间的摩擦；通过控制器可以精确控制步进电机的转速，转速越高，供油量越大；采用高压氮气作为喷油动力，在喷油的同时喷气，实现晶圆表面和空气介质的双重隔离保护；通过电磁阀进行高压氮气的通断控制，操作简单，省时省力；进入储油罐的测试油在高压氮气推动下经喷嘴喷涂到晶圆表面，实现测试油的自动化喷涂，且测试油被喷嘴雾化，进一步提高喷涂效果。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术实施例晶圆测试设备自动精确喷油装置结构示意图；图2为本专利技术实施例精确供油装置结构示意图；附图标记说明：1、供油管；2、精确供油装置；3、出油管；4、储油罐；5、高压气管；6、喷嘴；7、晶圆；8、驱动轴；9、从动滚轮；10、连接软管；11、壳体。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。本专利技术的目的是提供一种晶圆测试设备自动精确喷油装置，能够实现晶圆产品测试油的自动化喷涂，具有自动化水平高、控油精确、操作简单、省时省力、节约成本的特点。为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本专利技术作进一步详细的说明。图1为本专利技术实施例晶圆测试设备自动精确喷油装置结构示意图，图2为本专利技术实施例精确供油装置结构示意图，如图1-2所示，本专利技术实施例提供的晶圆测试设备自动精确喷油装置，包括：精确供油装置2和储油罐4，所述精确供油装置2用于控制所述储油罐7的供油量，所述精确供油装置2包括设置于壳体内的驱动轴8和从动滚轮9以及连接软管10，所述驱动轴8由步进电机驱动，所述连接软管10的进口端与供油管1相连接，所述从动滚轮9与所述驱动轴8的周壁固定连接，所述连接软管10的出口端穿过所述从动滚轮9与所述壳体11内侧壁形成的间隙后经过出油管3连接所述储油罐4的顶部接口，所述从动滚轮9在所述驱动轴8的带动下绕所述驱动轴8的轴心作圆周转动并间歇挤压所述连接软管10，使得所述连接软管10内部形成负压，将测试油从所述供油管1抽出并压入所述出油管3，之后流入所述储油罐4，所述储油罐4的一侧端连接高压气管5，所述储油罐4的底部接口连接喷嘴6，所述高压气管5内的气体输入到所述储油罐4内并推动测试油经所述喷嘴6喷涂到晶圆表面；所述连接软管10的出口端安装有逆止阀，所述逆止阀用于确保测试油单向流动；所述从动滚轮9设置为3个，3个所述从动滚轮9围绕所述驱动轴8的中心均匀设置在所述驱动轴8的周壁，3个所述从动滚轮9在所述驱动轴8的带动下转动，依次挤压所述连接软管10；所述壳体11上设置有进孔和出孔，所述连接软管10的进口端和出口端分别固定设置在所述进孔和出孔；所述晶圆测试设备自动精确喷油装置还包括控制器，所述控制器与所述步进电机相连，所述步进电机控制所述步进电机的启停及转速；所述晶圆测试设备自动精确喷油装置还包括氮气供应装置，所述高压气管5连接所述氮气供应装置，所述高压气管5上设置有电磁阀，所述电磁阀与所述控制器相连接，所述控制器根据设定时间控制所述电磁阀的关闭，所述氮气供应装置中的氮气在所述电磁阀的控制下经所述高压气管5输入到所述储油罐4内，所述设定时间可以根据出油管3的输油频率设置本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种晶圆测试设备自动精确喷油装置，其特征在于，包括：精确供油装置(2)和储油罐(4)，所述精确供油装置(2)用于控制所述储油罐(7)的供油量，所述精确供油装置(2)包括设置于壳体内的驱动轴(8)和从动滚轮(9)以及连接软管(10)，所述驱动轴(8)由步进电机驱动，所述连接软管(10)的进口端与供油管(1)相连接，所述从动滚轮(9)与所述驱动轴(8)的周壁固定连接，所述连接软管(10)的出口端穿过所述从动滚轮(9)与所述壳体(11)内侧壁形成的间隙后经过出油管(3)连接所述储油罐(4)的顶部接口，所述从动滚轮(9)在所述驱动轴(8)的带动下绕所述驱动轴(8)的轴心作圆周转动并间歇挤压所述连接软管(10)，使得所述连接软管(10)内部形成负压，将测试油从所述供油管(1)抽出并压入所述出油管(3)，之后流入所述储油罐(4)，所述储油罐(4)的一侧端连接高压气管(5)，所述储油罐(4)的底部接口连接喷嘴(6)，所述高压气管(5)内的气体输入到所述储油罐(4)内并推动测试油经所述喷嘴(6)喷涂到晶圆表面。
【技术特征摘要】
1.一种晶圆测试设备自动精确喷油装置，其特征在于，包括：精确供油装置(2)和储油罐(4)，所述精确供油装置(2)用于控制所述储油罐(7)的供油量，所述精确供油装置(2)包括设置于壳体内的驱动轴(8)和从动滚轮(9)以及连接软管(10)，所述驱动轴(8)由步进电机驱动，所述连接软管(10)的进口端与供油管(1)相连接，所述从动滚轮(9)与所述驱动轴(8)的周壁固定连接，所述连接软管(10)的出口端穿过所述从动滚轮(9)与所述壳体(11)内侧壁形成的间隙后经过出油管(3)连接所述储油罐(4)的顶部接口，所述从动滚轮(9)在所述驱动轴(8)的带动下绕所述驱动轴(8)的轴心作圆周转动并间歇挤压所述连接软管(10)，使得所述连接软管(10)内部形成负压，将测试油从所述供油管(1)抽出并压入所述出油管(3)，之后流入所述储油罐(4)，所述储油罐(4)的一侧端连接高压气管(5)，所述储油罐(4)的底部接口连接喷嘴(6)，所述高压气管(5)内的气体输入到所述储油罐(4)内并推动测试油经所述喷嘴(6)喷涂到晶圆表面。2.根据权利要求1所述的晶圆测试设备自动精确喷油装置，其特征在于，所述连接软管(10)的出口端安装有逆止阀，所述逆止阀用于确保测试油单向流动。3.根据权利要求1所述的晶圆测试设备自动精确喷油装置，其特征在于，所述从动滚轮(9)设置为3个，3个所述从动滚轮(9)围绕所述驱动轴(8)的轴心均匀设置在所述驱动轴(8)的周壁，3个所述从动滚轮(9)在所述驱动轴(8)的带动下转动...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘红军，单宏，杨刚，郑金宝，唐永年，李强，刘宵婵，高今朝，
申请(专利权)人：秦皇岛视听机械研究所有限公司，
类型：发明
国别省市：河北,13
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