分离装置及分离方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种分离装置及分离方法，能够扩大在粘接片上粘附的被粘物的相互间隔而不使该粘接片断裂。该分离装置具备：多个保持单元(20)，其保持粘附有被粘物(CP)的粘接片(AS)的端部；分离单元(30)，其使保持着粘接片(AS)的端部的保持单元(20)相对移动，对粘接片(AS)赋予张力而扩大被粘物(CP)的相互间隔；分离单元(30)重复进行由第一移动及第二移动实现的往复移动，并且扩大被粘物(CP)的相互间隔，该第一移动使保持单元(20)向将被粘物(CP)的相互间隔扩大的扩张方向相对移动，该第二移动使保持单元(20)向扩张方向的相反方向即抗扩张方向相对移动。

Separation device and method

The invention provides a separating device and a separating method, which can expand the interval between the adhesives adhering to the bonding sheet without causing the bonding sheet to break. The separating device has: a plurality of holding units (20), which maintain the end of the adhesive sheet (AS) attached to the adherent (CP); a separating unit (30), which makes the holding unit (20) at the end of the adhesive sheet (AS) move relatively, tension is given to the adhesive sheet (AS) to expand the interval between the adherents (CP); and a separating unit (30) which repeats. The first movement makes the holding unit (20) move relative to the expansion direction in which the interval between the sticky objects (CP) will be enlarged. The second movement makes the holding unit (20) move relative to the opposite direction in which the sticky objects (CP) will be enlarged, that is, the anti-expansion direction.

【技术实现步骤摘要】
分离装置及分离方法
本专利技术涉及分离装置及分离方法。
技术介绍
目前，已知有如下的分离装置，即，将粘附于粘接片上的多个被粘物的相互间隔扩大(例如，参照专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：(日本)特开2007－103649号公报但是，如专利文献1所记载的现有的分离装置中，相对于第一片材13(粘接片)，仅向芯片C(被粘物)的相互间隔扩大的方向施加作用力而将该被粘物的相互间隔扩张，故而存在如下的不良情况：当在粘接片的一部分(例如，粘接片中其与第一环状框架12的边界部、或粘接片中与扩张工作台3的角部接触的部分等)或整个粘接片上施加的应力变大时，该粘接片断裂，不能扩大被粘物的相互间隔。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供一种能够扩大在粘接片上粘附的被粘物的相互间隔而不使该粘接片断裂的分离装置及分离方法。本专利技术采用了权利要求中记载的结构。根据本专利技术，通过重复进行往复移动，能够缓和在粘接片的一部分或整个粘接片上施加的应力，同时扩大被粘物的相互间隔，能够扩大在粘接片上粘附的被粘物的相互间隔而不使该粘接片断裂。另外，如果具备应力测定单元，则能够使在粘接片的一部分或整个粘接片上施加本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种分离装置，其特征在于，具备：多个保持单元，其保持粘接片的端部，该粘接片在一面和另一面的至少一方粘附有多个被粘物或经分割而成为多个的被粘物；分离单元，其使保持着所述粘接片的端部的所述保持单元相对移动，对所述粘接片赋予张力而扩大所述被粘物的相互间隔；所述分离单元重复进行由第一移动及第二移动实现的往复移动，并且扩大所述被粘物的相互间隔，所述第一移动使所述保持单元向将所述被粘物的相互间隔扩大的扩张方向相对移动，所述第二移动使所述保持单元向所述扩张方向的相反方向即抗扩张方向相对移动。

【技术特征摘要】
2017.05.10 JP 2017-0939481.一种分离装置，其特征在于，具备：多个保持单元，其保持粘接片的端部，该粘接片在一面和另一面的至少一方粘附有多个被粘物或经分割而成为多个的被粘物；分离单元，其使保持着所述粘接片的端部的所述保持单元相对移动，对所述粘接片赋予张力而扩大所述被粘物的相互间隔；所述分离单元重复进行由第一移动及第二移动实现的往复移动，并且扩大所述被粘物的相互间隔，所述第一移动使所述保持单元向将所述被粘物的相互间隔扩大的扩张方向相对移动，所述第二移动使所述保持单元向所述扩张方向的相反方向即抗扩张方向相对移动。2.一种分离装置，其特征在于，具备：保持单元，其保持粘接片的端部，该粘接片在一面和另一面的至少一方粘附有多个被粘物或经分割而成为多个的被粘物；抵接单元，其在所述粘接片的比粘附有所述多个被粘物的被粘物粘接区域靠外侧、且在所述保持单元所保持的被保持区域的内侧，与该粘接片抵接；分离单元，其使保持着所述粘接片的端部的所述保持单元及所述抵接单元相对移动，对所述粘接片赋予张力而扩大所述被粘物的相互间隔；所述分离单元重复进行由第一移动及第二移动实现的往复移动，并且扩大所述被粘物的相互间隔，所述第一移动使所述保持单元及抵接单元向将所述被粘物的相互间隔扩大的扩张方向相对移动，所述第二移动使所述保持单元及抵接单元向所述扩张方向的相反方向即抗扩张方向相对移动。3.如权利要求1或2所述的分离装置，其特征在于，具备应力测定单元，该应力测定单元能够测定在所述粘接片上施加的应力，在所述分离单元向扩张方向的相对移动中，当所述应力测定单元检测在所述粘接片上施加的应力达到规定的上限值时，所述分离单元进行向抗扩张方向的相对移动。4.如权利要求1～3中任一...

【专利技术属性】
技术研发人员：杉下芳昭，
申请(专利权)人：琳得科株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP