The invention provides a separating device and a separating method, which can prevent the retained area of the adhesive sheet retained by the retaining component from bonding to the retaining component. The separating device has: a plurality of holding units, which keep the end of the bonding sheet by holding parts; a separating unit, which makes the holding unit at the end of the bonding sheet move relatively; the bonding force of the bonding sheet decreases by giving the prescribed energy to the bonding sheet, and the energy given to the bonding sheet by giving the prescribed energy to the bonding sheet is provided with a single sheet. The retaining component is composed of a retaining component on one side of the bonding sheet and a retaining component on the other side of the bonding sheet clamped and retained at the end of the bonding sheet. The energy granting unit clamps the bonding sheet on one side of the retaining component and the other side of the retaining component before being clamped by the retaining component. The maintained area is endowed with specified energy.
【技术实现步骤摘要】
分离装置及分离方法
本专利技术涉及分离装置及分离方法。
技术介绍
目前,已知有如下的分离装置,即,将粘附于粘接片上的多个被粘物的相互间隔扩大(例如,参照专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1:(日本)特开2016-127124号公报但是,如专利文献1所记载的现有的分离装置中,构成为,由下支承部件22(保持部件)和上支承部件24(保持部件)保持粘接片AS(粘接片),对该粘接片赋予张力而扩大芯片CP(被粘物)的相互间隔,故而,将导致如下的不良情况:由保持部件保持的粘接片的粘接面粘接于该保持部件,难以从保持部件将粘接片取下;需要进行用于将附着于保持部件上的粘接剂去除的作业。
技术实现思路
本专利技术的目的在于,提供一种能够防止由保持部件保持的粘接片的被保持区域粘接于该保持部件的分离装置及分离方法。本专利技术采用了权利要求中记载的结构。根据本专利技术,在由保持部件夹入前,能量赋予单元对粘接片的被保持区域赋予规定的能量,因而,对于通过被赋予规定的能量而其粘接力下降的粘接片,能够防止由保持部件保持的粘接片的被保持区域粘接于该保持部件。另外,如果能量赋予单元具备第一能量赋予单 ...
【技术保护点】
1.一种分离装置,其特征在于,具备:多个保持单元,其由保持部件保持粘接片的端部,该粘接片在一面和另一面的至少一方粘附有多个被粘物或经分割而成为多个的被粘物;分离单元,其使保持着所述粘接片的端部的所述保持单元相对移动,对所述粘接片赋予张力而扩大所述被粘物的相互间隔;所述粘接片的粘接力通过向所述粘接片赋予规定的能量而下降,具备能量赋予单元,该能量赋予单元对所述粘接片赋予所述规定的能量,所述保持部件构成为,由与所述粘接片的一面侧抵接的一侧保持部件、及与所述粘接片的另一面侧抵接的另一侧保持部件夹入并保持所述粘接片的端部,所述能量赋予单元在由所述保持部件夹入前,对由所述一侧保持部件及 ...
【技术特征摘要】
2017.05.10 JP 2017-0939501.一种分离装置,其特征在于,具备:多个保持单元,其由保持部件保持粘接片的端部,该粘接片在一面和另一面的至少一方粘附有多个被粘物或经分割而成为多个的被粘物;分离单元,其使保持着所述粘接片的端部的所述保持单元相对移动,对所述粘接片赋予张力而扩大所述被粘物的相互间隔;所述粘接片的粘接力通过向所述粘接片赋予规定的能量而下降,具备能量赋予单元,该能量赋予单元对所述粘接片赋予所述规定的能量,所述保持部件构成为,由与所述粘接片的一面侧抵接的一侧保持部件、及与所述粘接片的另一面侧抵接的另一侧保持部件夹入并保持所述粘接片的端部,所述能量赋予单元在由所述保持部件夹入前,对由所述一侧保持部件及另一侧保持部件夹入的所述粘接片的被保持区域赋予所述规定的能量。2.一种分离装置,其特征在于,具备:保持单元,其由保持部件保持粘接片的端部,该粘接片在一面和另一面的至少一方粘附有多个被粘物或经分割而成为多个的被粘物;抵接单元,其在所述粘接片的比粘附有所述多个被粘物的被粘物粘接区域靠外侧、且在所述保持单元所保持的被保持区域的内侧,与该粘接片抵接;分离单元,其使保持着所述粘接片的端部的所述保持单元及所述抵接单元相对移动,对所述粘接片赋予张力而扩大所述被粘物的相互间隔;所述粘接片的粘接力通过向所述粘接片赋予规定的能量而下降,具备能量赋予单元,该能量赋予单元对所述粘接片赋予所述规定的能量,所述保持部件构成为,由与所述粘接片的一面侧抵接的一侧保持部件、及与所述粘接片的另一面侧抵接的另一侧保持部件夹入并保持所述粘接片的端部,所述能量赋予单元在由所述保持部件夹入前,对由所述一侧保持部件及另一侧保持部件夹入的所述粘接片的被保持区域赋予所述规定的能量。3.如权利要求1或2所述的分离装置,其特征在于,所述能量赋予单元具备第一能量赋予单元和第二能量赋予单元,所述第一能...
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